中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本发明涉及微流控芯片技术领域,具体涉及一种3D打印树脂基翻转式芯片。本发明所述翻转式芯片通过热塑打印工艺制备核心区,正面流体微通道和反面流体微通道、正面流经式储液池和反面侧向式储液池,通过与透明3D打印上下片层贴合形成视野窗,从而完成结...
  • 本申请公开了一种异质结构制备方法,包括提供单晶功能材料基板和异质衬底基板;对单晶功能材料基板进行第一离子注入,以形成第一缺陷层,形成第一缺陷层的单晶功能材料基板呈现翘曲状态;对异质衬底基板进行翘曲调控处理,以形成翘曲调控层,形成翘曲调控...
  • 本发明提供一种超导集成电路及其制备方法,在绝缘层生长时引入两步生长法,或进一步的在电感外侧形成支撑件以提供绝缘层生长的合适间距,从而填补图形之间的间隙,形成良好的台阶覆盖性,克服因台阶阴影效应导致的台阶缝隙金属沉积现象,不但能够有效提升...
  • 本发明涉及一种应变补偿量子级联激光器材料的生长参数校准方法,所述的量子级联激光器材料有源区为In
  • 本发明涉及一种三维双向自选通存储器件及其制备方法。该存储器件包括:基板、条状第一堆叠结构、条状第二堆叠结构、环形双向选通单元层、电绝缘层和柱状电极;所述条状第一堆叠结构包括交替叠置的第一绝缘层和第一平面电极层,所述条状第二堆叠结构包括交...
  • 本实用新型涉及一种多层结构层间耦合器,包括:下波导部分,包括至少两层堆叠的波导层,每层波导层均包括依次连接的第一波导和第一渐变波导,沿第一波导指向第一渐变波导的方向,第一渐变波导的宽度逐渐变窄;第一渐变波导之间呈错层结构;上波导部分,包...
  • 本发明提供一种用于超导信号转换的接口电路包括:超导时钟模块将接收到的一路单磁通量子时钟信号复制成两路相同的单磁通量子时钟信号,分别作为接口电路的基准时钟以及用于校准的输出时钟;保护模块基于时钟基准对单磁通量子进行单向传输,并通过削弱回流...
  • 本发明涉及一种在液体中对超薄薄膜进行转移的转移工装及其制备方法,所述转移工装依次包括:第一界面改性层、基板、第二界面改性层;其中所述转移基板与界面改性层上设有阵列化通孔结构。界面改性层可对转移基板表面进行改性,使其与超薄薄膜更加贴合;通...
  • 本发明涉及一种采用高效碳基催化剂进行傅克反应的方法,包括如下步骤:以苯、卤代烃或酰卤作为反应底物,以石墨烯量子点作为反应催化剂;将所述苯、卤代烃或酰卤与石墨烯量子点混合,对混合体系施加紫外光以完成傅克反应。本发明采用的碳基傅克反应催化剂...
  • 本发明提供一种互补型超导周期比较器及模数转换器包括:输入模块将接收到的单磁通量子时钟信号进行单向传输,并阻止回流电流对前级电路进行干扰;互补型超导量子干涉模块的输入端与模拟信号及输入模块的输出端连接,使模拟信号工作在超导量子干涉模块内部...
  • 本发明涉及一种能量受限的行业物联网无线安全通信协作干扰方法,包括:集群内通信步骤,该步骤中通过集群的方式对节点间通信进行保护;集群间通信步骤,该步骤中利用遗传算法灵活选择确定每个传感器节点是否参与协作干扰以及参与干扰的传感器节点发送干扰...
  • 本发明提供一种HEMT器件及其制备方法,HEMT器件包括:部分被去除的衬底层;位于所述衬底层上的外延层,外延层包括成核层,成核层与衬底层接触;源电极区和漏电极区位于外延层上方的两侧;漏电极区设置有图形化得到的空白区域,空白区域贯通外延层...
  • 本发明涉及一种定向耦合装置。该定向耦合装置包括第一波导,所述第一波导包括依次连接的第一传输部、第一耦合部和第二传输部;第二波导,所述第二波导包括依次连接的第二耦合部和第四传输部;所述第一耦合部、第二耦合部为弯曲波导,两者组成耦合结构;所...
  • 本发明涉及一种辅助转移的转移工装及其应用,所述转移工装包括:转移基板、设于转移基板上表面的界面改性层,转移基板与界面改性层上设有阵列化的通孔结构。所述通孔可对所述转移工装表面溶液进行有效分流,减小了所述转移工装对溶液升降的阻力与薄膜的滑...
  • 本发明提供一种高速小信号放大电路,包括:差分放大模块包括至少一级依次级联的差分放大器;单端放大模块包括至少一级依次级联的单端放大器;差分放大模块对差分输入信号进行预放大;第一PMOS管的源极接电源电压,栅极接偏置电压,漏极连接第一NMO...
  • 本发明提供一种动磁式电磁驱动双轴光学扫描镜、阵列及其应用。该光学扫描镜包括光学镜面、永磁体、双轴扭转机构、驱动电磁铁;光学镜面与永磁体的一端相连接,永磁体中间与双轴扭转机构连接,驱动电磁铁产生的驱动磁场与永磁体的磁矩相交,永磁体受到电磁...
  • 本发明提供一种倒装芯片封装结构及其制备方法,该封装结构的倒装焊互连结构采用的凸点结构类似于高频传输同轴线结构,具体为:在互连基板上形成第一微带传输线结构,并在其上形成圆筒环套圆柱的同轴设置的第一信号凸点及第一地凸点,另外在倒装芯片上同样...
  • 本发明提供一种具有微流道的异质集成氧化镓场效应晶体管及制备方法,通过在氧化镓异质集成结构中直接制备嵌入式的微流道,可使得冷却介质直接靠近热源流过,从而实现高效的散热,降低场效应晶体管的沟道温度,优化器件的热性能。本发明的基于内嵌微流道和...
  • 本发明提供一种SQUID检测电路、传感器及多通道磁测量系统,包括:参考电阻及X个SQUID检测模块,各SQUID检测模块均包括反馈线圈及SQUID器件;各SQUID器件的第一端均连接公共端并引出,各SQUID器件的第二端分别作为一引出端...
  • 本实用新型提供了一种水中细菌检测装置,所述检测装置通过富集模块中第一通孔膜与第二通孔膜的设置可以实现水中大肠杆菌的快速富集且富集过程稳定,富集模块不易发生堵塞,然后利用反应试剂与大肠杆菌发生特异性反应,从而获得带有大肠杆菌的富集液,随后...