本发明提供一种基于MEMS技术的六合一单片集成传感器的制作方法，其包括在硅片上沉积隔离层，利用多晶硅制作牺牲层，沉积低应力氮化硅作为结构层和敏感膜片，在敏感膜片上制作敏感器件，使得XeF2气体透过敏感膜片上的腐蚀释放孔对牺牲层进行腐蚀，...

本发明涉及一种半超导TSV转接板结构及制造方法。该方法包括：(1)将铜晶圆机械加工，预留腔体空间；(2)另一芯片晶圆上生长铜柱，贴膜，切割；(3)将单颗芯片嵌入铜晶圆腔体内，塑封；(4)将晶圆机械研磨；(5)晶圆正面形成第1绝缘层图形；...

本发明涉及一种全超导TSV转接板结构及制造方法。该制造方法包括：(1)选择超导载体晶圆，机械加工；(2)在晶圆平整面一侧贴上一层耐高温膜，塑封；(3)对晶圆正面研磨，形成TSV柱+线路的结构，清洗；(4)晶圆正面形成绝缘层的图形层，光刻...

本发明提供一种超导量子干涉仪电流放大单元、放大器及芯片，包括：超导环串联结构，包括串联导线及至少2个SQUID超导环；各SQUID超导环串联在所述串联导线上，并依次交替分布在所述串联导线的两侧，相邻两个SQUID超导环关于两者之间串联导...

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种声学谐振器及其制备方法、滤波器。该声学谐振器包括由下至上依次设置的支撑衬底、压电薄膜层和叉指电极结构，支撑衬底内设有多边形空腔；支撑衬底为{111}单晶硅衬底；多边形空腔的周面包括硅<...

本发明涉及一种片外光发射器件，包括：衬底；下包层，位于所述衬底的上表面，且内部埋设有金属镜；波导层，位于所述下包层的上表面，包括波导和M级同心半圆光栅；上包层，位于所述波导层的上表面；所述波导用于引导光进入所述M级同心半圆光栅；所述金属...

本申请涉及芯片领域，本申请公开了一种晶圆键合方法、结构及半导体器件，该方法包括：提供第一晶圆及第二晶圆，其中，第一晶圆具有第一键合面，第二晶圆具有第二键合面；在第一晶圆的第一键合面上刻蚀，得到第一凹凸结构；第一凹凸结构包含第一凸起和第一...

本发明提供一种场效晶体管的制备方法，涉及半导体制造技术领域，包括：获取硅晶圆，所述硅晶圆的第一表面形成有第一键合介质层；在所述硅晶圆内的预设深度形成缺陷层；获取碳化硅晶圆，将所述硅晶圆的所述第一键合介质层与所述碳化硅晶圆的第一表面键合形...

本发明提供一种富陷阱绝缘体上硅结构及其制备方法，其中富陷阱绝缘体上硅结构的制备方法包括以下步骤：提供第一衬底，所述第一衬底具有正面，通过沉积工艺在所述正面形成钉扎层；以及通过干法刻蚀工艺均匀化处理所述钉扎层的表面，以调整所述钉扎层的厚度...

本发明涉及一种利用极低场磁共振检测肿瘤氧化还原微环境的方法，包括在半胱氨酸盐酸盐中先后加入水、聚乙二醇、硝酸钆进行水热反应，得到第四混合体系；分别加入等体积的模拟肿瘤微环境和水，记为实验组与对照组；在极低场磁共振系统中检测实验组与对照组...

本发明提供一种无线传感器网络分簇路由方法及装置、存储介质和终端，其中方法包括：获取待分簇无线传感器网络；基于生物地理学优化算法从待分簇无线传感器网络中筛选出初始簇首节点集合，将初始簇首节点集合中簇首作为初始聚类中心，基于预设聚类算法从待...

本发明提供一种硅纳米线传感器的饱和电流响应标定测试方法，利用硅纳米线传感器的电流响应饱和值对标准溶液的电流响应值进行归一化处理，建立硅纳米线传感器对含有目标物溶液的响应标准曲线，利用测试获取所需要的待测样品和标定溶液的电流响应值，基于标...

本公开涉及一种氮化镓HEMT器件及其制备方法，该方法包括：对第一碳化硅衬底进行离子注入，在预设深度形成缺陷层，得到离子注入后的第一碳化硅衬底；对离子注入后的第一碳化硅衬底的表面进行反型掺杂，在表面形成第一绝缘层，得到反型掺杂后的第一碳化...

本发明涉及微电子器件领域，特别涉及一种声波谐振器的制备方法及声波谐振器。通过利用同一种工艺制备得到两个压电结构；每个压电结构包括由下至上依次设置的支撑衬底和压电薄膜层；两个压电薄膜层的厚度的差值小于或者等于20％的预设压电薄膜层的厚度；...

本发明涉及一种硅基光吸收器件及其应用，包括底层介质层、金属光栅和顶层介质层组成的三明治型导模共振强吸收结构。本发明的器件结构具有如下优势：(1)微纳结构周围的近场极其接近表面的等离子激元的共振频率；(2)光栅阵列的优化使得介质光栅支持波...

本发明涉及一种通感算一体时频资源动态优化接入冲突消除方法和装置，其中网关侧以频段宽度将可用通信频段划分为若干相互独立频段，在每个独立频段内，以若干个动态可变的时隙组成一段接入请求处理时间窗；同时维护独立频段编号、对应独立频段内时隙状态、...

本发明涉及一种基于多模态知识图谱的智能问答方法，包括以下步骤：基于互联网的文本数据和图像数据构建多模态知识图谱；获取非结构化的自然语言问题，从所述自然语言问题中分析出语义信息，并基于所述语义信息生成查询语句，根据所述查询语句在所述多模态...

本发明提供一种发射光栅有效发射长度的测量系统及测量方法，所述测量系统包括：进光耦合器、光分束器、第一出光耦合器及第二出光耦合器；其中，进光耦合器用于接收入射光束；光分束器与所述进光耦合器连接，并具有第一分光端及第二分光端，并且第一分光端...

本发明提供一种磁探测元件、芯片、磁场旋度及磁梯度张量探测模块，包括：设置于同一平面上的第一、第二梯度线圈，均包括沿主对称轴对称分布的第一、第二超导线圈；第一、第二超导线圈绕向相反；第一超导线圈的第一端与第二超导线圈的第一端相连，第二端在...

本发明涉及一种并联式仿生眼的绝对位置获取装置，包括传感器部件；基板，固定于传感器部件的下方；转盘组件，包括依次设置的三个转盘，第一转盘的上方设有上固定基座，第三转盘的下方设有下固定基座，三个转盘可相对于上固定基座和下固定基座转动；三个连...