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中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术
中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利
一种可贴合类器官进行信号采集的神经电极及其制备方法技术
本发明提供一种可贴合类器官进行信号采集的神经电极,包括图案化镂空柔性衬底和图案化镂空柔性封装层彼此贴合而形成的多个旋转对称部分,每个旋转对称部分包括沿着第一方向依次排布的四周边缘部、第一电极固定部、中心电极部和第二电极固定部,所述中心电...
绝缘体上硅衬底上单晶AlN薄膜及其制备方法技术
本发明提供一种绝缘体上硅衬底上单晶AlN薄膜及其制备方法,所述制备方法包括:提供一绝缘体上硅衬底,绝缘体上硅衬底包括位于顶层硅、埋氧层、背衬底中的任一者中或任意相邻两者之间的界面处的多个空腔;在第一生长温度下于顶层硅上外延生长AlN缓冲...
一种基于轨迹预测的卫星条件切换方法技术
本发明涉及一种基于轨迹预测的卫星条件切换方法,包括:步骤S1用户接入当前服务卫星后,每间隔预设时隙,向当前服务卫星上报位置信息;步骤S2,根据用户的位置信息,判断用户类型;步骤S3,根据所述用户类型,获取卫星覆盖时刻矩阵;步骤S4,根据...
一种硅基绝缘体上玻璃衬底结构及其制作方法技术
本发明提供一种硅基绝缘体上玻璃衬底结构及其制作方法,包括以下步骤:提供一第一晶圆,所述第一晶圆的上表层设有第一键合层;提供一第二晶圆,所述第二晶圆的下表层设有第二键合层;将所述第一键合层的上表面与所述第二键合层的下表面进行键合,键合后,...
一种层状结构、制备方法及传感器件技术
本申请公开了一种层状结构、制备方法及传感器件,包括提供基底;在基底的表面施加惰性材料,形成惰性薄膜;对惰性薄膜进行图案化处理,得到图案化掩膜;在基底具有图案化掩膜的一面施加目标材料,形成目标材料层;所述惰性材料与所述目标材料之间存在化学...
大偏转角的光偏转器件制造技术
本发明提供一种大偏转角的光偏转器件,由中心向外依次包括:反射平面,两个第一柔性连接装置,两个第一致动传感装置,解耦平面,四个第二柔性连接装置及两个第二致动传感装置;每个第一柔性连接装置的一端与反射平面的边缘连接;两个第一致动传感装置的一...
相变存储材料、相变存储单元和相变存储器制造技术
本申请提供了一种相变存储材料、相变存储单元和相变存储器。该相变存储材料包括Nb
一种气体吸附仪制造技术
本申请公开了一种气体吸附仪,所述气体吸附仪包括:气体输送装置、测试腔、悬臂梁以及频率获取装置;气体输送装置与测试腔连通设置,用于向测试腔内输送目标气体;悬臂梁设置在测试腔内,悬臂梁能够在测试腔内振动;悬臂梁上设置有待测材料,待测材料能够...
一种柔性电极及其制备方法技术
本申请公开了一种柔性电极及其制备方法,所述柔性电极包括蛋白微针,设有至少一个植入部;柔性神经电极,包括至少一个植入探针,所述植入探针至少部分与所述植入部固定连接;所述植入部的数量与所述植入探针的数量一一对应;本申请通过将蛋白微针的植入部...
一种超导硅通孔转接板及其制备方法技术
本发明提供一种超导硅通孔转接板及其制备方法,所述超导硅通孔转接板包括:上凹槽、下凹槽、凹槽埋层及超导金属柱;其中,所述上凹槽及所述下凹槽分别对应设置在所述基板的上表面及下表面,且所述通孔贯穿所述上凹槽及所述下凹槽;所述凹槽埋层形成在所述...
一种气体吸附量的测试方法技术
本申请公开了一种气体吸附量的测试方法,基于气体吸附仪实现,气体吸附仪包括测试腔、悬臂梁以及频率获取装置;所述方法包括:将测试腔内的温度调节至预设温度,将悬臂梁置于测试腔内;基于频率获取装置,分别测试悬臂梁在平衡气下的第一频率以及在目标混...
基于多层自对准工艺的双栅高频有机晶体管及其制备方法技术
本发明提供一种基于多层自对准工艺的双栅高频有机晶体管,包括自下而上依次堆叠的透明衬底、底部栅极、栅极介质层、自对准源漏接触、有机半导体层、绝缘层、和自对准顶部栅极;自对准源漏接触的底面部分与透明衬底接触,部分与栅极介质层接触,其顶面与有...
一种基于碳化硅的调制器件制备方法及调制器件技术
本申请涉及信息功能材料技术领域,尤其涉及一种基于碳化硅的调制器件制备方法及调制器件。方法包括:在碳化硅外延基底上制备外延碳化硅薄膜层;对外延碳化硅薄膜层中的预设区域进行重掺杂,并在重掺杂区域中制备调制器件结构;制备第一器件保护层,并将第...
一种用于异质集成的三层耦合器结构及其制备方法技术
本发明涉及一种用于异质集成的三层耦合器结构及其制备方法,由下至上包括第一波导层、第二波导层和第三波导层。本发明可以利用不同材料之间相对参数选择的灵活性,为相关异质集成器件或异质集成平台增加一个设计维度,进一步拓展器件的实际应用。进一步拓...
一种调频连续波激光雷达光源的非线性校准系统和方法技术方案
本发明涉及一种调频连续波激光雷达光源的非线性校准系统和方法,其中,系统包括:驱动模块用于基于待校准信号的采样点产生方波信号,并将方波信号作用于激光器;拍频模块包括耦合部和探测部,耦合部将激光器产生的光信号转换为类似两个不同幅值的直流信号...
基于自监督神经网络的视觉-惯导-雷达融合自定位方法技术
本发明涉及一种基于自监督神经网络的视觉
磁控装置制造方法及图纸
本发明提供一种磁控装置,包括:线圈组件;线圈组件用于套设于单晶硅设备外侧,线圈组件沿单晶硅设备的轴向可移动;线圈组件包括多个主线圈,多个主线圈沿单晶硅设备的周向排布,其中,主线圈产生的磁场沿单晶硅设备径向分量强度大于其沿单晶硅设备的轴向...
一种基于YOLOv5改进算法的火灾预警方法及系统技术方案
本发明涉及一种基于YOLOv5改进算法的火灾预警方法,包括以下步骤:S1.获取流媒体数据;S2.对所述流媒体数据进行预处理得到待测图像序列;S3.利用火灾检测模型对所述待测图像序列进行检测,获得检测结果;所述火灾检测模型基于YOLOv5...
一种基于碳化硅载流子的光调制器制备方法及光调制器技术
本发明涉及半导体技术领域,特别涉及一种基于碳化硅载流子的光调制器制备方法及光调制器。通过基于碳化硅衬底进行同质外延得到N型低掺杂碳化硅薄膜层,后续对N型低掺杂碳化硅薄膜层再进行N型不同浓度的掺杂以及P型掺杂,以形成能够实现载流子色散效应...
一种折射光学元件与超表面复合构型的光学器件制造技术
本发明提供一种折射光学元件与超表面复合构型的光学器件,光学器件由折射光学元件和超表面级联构成,折射光学元件在目标工作波段内的至少一个波长上的相位分布满足光学器件的成像要求,超表面的相位分布使超表面对折射光学元件在目标工作波段内的色差进行...
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