中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本发明提供一种基于金属粉末填充的互连结构制造方法,包括步骤:提供基底,所述基底中形成有用于制造互连结构的空腔;于空腔中填充金属粉末;将金属粉末固化成导电柱而形成互连结构。采用本发明,可以极大降低TSV通孔填充的难度、缩短填充时间、降低了...
  • 本发明涉及一种双T型栅的制备方法,采用光刻以及湿法刻蚀工艺就能实现亚微米尺寸的双T型栅的制造,降低了双T型栅的制备难度,采用盐酸溶液刻蚀也基本不会影响AlGaN表面的粗糙度;相较于传统T型栅,双T型栅的设计使得导体的表面积增加,有助于提...
  • 本发明涉及一种基于参考图像的图像超分辨率方法,包括以下步骤:接收待处理图片和参考图片,其中,所述参考图片的分辨率高于所述待处理图片的分辨率;采用扩散模型对所述待处理图片进行细节上的增强,得到增强图片;分别对所述增强图片和参考图片进行特征...
  • 本申请公开了一种拉伸蛋白膜及其制备方法,该方法通过将蛋白膜进行湿润处理,得到湿润后的蛋白膜;将辅助拉伸膜与湿润后的蛋白膜中的任一膜面进行贴合,得到贴合后的蛋白膜;对贴合后的蛋白膜进行拉伸处理,得到拉伸蛋白膜;拉伸蛋白膜中的辅助拉伸膜和蛋...
  • 本发明提供一种近场光学显微镜系统及成像方法至少包括:微反射镜阵列、光路模块及显微镜模块,其中:微反射镜阵列、光路模块均与显微镜模块连接;微反射镜阵列接收所述光路模块产生的激光信号,通过调节微反射镜阵列中每一个微反射镜的方向,调整激光信号...
  • 本发明提供一种单晶压电薄膜体声波谐振器的制备方法,包括:在第一衬底上生长至少一层压电薄膜;形成第一电极;图形化第一电极和压电薄膜,再形成键合层;刻蚀键合层,形成第一开口;将键合层与第二衬底键合固定,所述第一开口形成空腔结构;去除第一衬底...
  • 本发明提供一种超导单光子探测器双端读出电路、读出方法及探测系统,用于对M个超导单光子探测器的脉冲信号进行读出,M为大于等于1的整数,包括:传输光波导和M个电光调制结构;各电光调制结构与各超导单光子探测器一一对应设置,用于将脉冲信号转为携...
  • 本发明涉及一种基于射频转发的电磁空间感知和构建方法,包括以下步骤:构建无线传输网络,包括管理中心和多个终端设备;所述管理中心将感知任务和构建任务部署给所述终端设备;执行感知任务的所述终端设备在第一频段进行侦测,并将侦收到的非合作辐射源发...
  • 本发明涉及一种基于D‑S证据理论的节点信任度评估方法,包括以下步骤:使用D‑S证据理论计算待评估节点的直接信任值,并通过证据间距离进行修正;将本节点与中间节点的直接信任值和中间节点与待评估节点的直接信任值通过D‑S组合规则进行组合得到间...
  • 本发明涉及一种细胞培养监测系统,包括相连的微型显微镜和控制装置,所述微型显微镜设置为获取生物芯片内的细胞的放大图像并将所述细胞的放大图像发送至所述控制装置,所述控制装置设置为接收并显示所述细胞的放大图像。本发明的细胞培养监测系统,无需将...
  • 本发明提供一种超导X射线探测装置及系统,包括超导X射线探测器、双端读出电路和低温腔体;所述超导X射线探测器包括曲折蜿蜒成一定光敏面积大小的超导微米线条,所述超导X射线探测器用于在吸收X射线的光子后产生两个正负脉冲信号分别传向微米线两端;...
  • 本申请涉及半导体技术领域,尤其涉及一种
  • 本申请涉及半导体技术领域,尤其涉及一种
  • 本发明涉及一种基于翘区的异质集成剥离方法,包括:步骤
  • 本发明提供一种步态分析系统,所述步态分析系统包括:压力传感器
  • 本发明涉及一种基于窄波段滤光的自适应补光系统和方法,其中,系统包括:图像获取模块,用于获取目标物体的图像;所述图像获取模块的镜头前设置有窄波段滤光片;窄波段补光模块,用于对所述目标物体提供窄波段的补光光源;所述窄波段补光模块发出的光的波...
  • 本发明提供一种大面积二维材料及其制备方法,制备方法包括:提供一单晶基底;于单晶基底上形成单晶热导层,单晶热导层的热导率至少大于蓝宝石基底的热导率;于单晶热导层上形成二维材料层
  • 本发明涉及一种基于改进
  • 本发明提供一种绝缘衬底上高精度电子束套刻标记及制备方法,该制备方法包括:提供绝缘衬底,绝缘衬底上设置有抗蚀剂层和导电胶层;采用电子束曝光法图形化抗蚀剂层和导电层形成第一开口;于第一开口中形成标记金属层,并去除导电胶层和抗蚀剂层;于绝缘衬...
  • 本发明涉及一种基于轻型