本发明提供一种SOI衬底、SOI衬底的制备方法及SOI器件，该SOI衬底包括：支撑衬底、中间埋氧层、中间导电层、顶层功能介质层及顶层半导体层，其中，中间埋氧层位于支撑衬底上方且包括至少一个自中间埋氧层顶面的开口的凹槽；中间导电层填充凹槽...

本发明提供一种单光子探测器、脉冲计数系统及方法，单光子探测器至少包括：不相交的第一超导纳米线及第二超导纳米线，探测外部光源并产生脉冲信号；其中，第一超导纳米线与第二超导纳米线的尺寸及电学性能参数相同。脉冲计数系统包括单光子探测器，还包括...

本发明提供一种SOI衬底、SOI衬底的制备方法及SOI器件，该SOI衬底包括：基底、第二埋氧层、中间层、功能介质层及顶层半导体层，其中，基底包括支撑衬底及第一埋氧层；第二埋氧层位于基底上方，且第二埋氧层中包括至少一个自第二埋氧层的底面开...

本发明提供一种互补型场效应晶体管的制备方法，利用具有内嵌空腔的绝缘体上半导体衬底，所述空腔介于第一绝缘层与顶半导体层之间且设置于第二绝缘层中，通过形成假栅结构，以假栅结构作为掩膜进行源区及漏区的自对准注入，可有效提高工艺稳定性以及注入精...

本发明提供一种包含背栅结构的SOI器件及其制备方法，制备方法包括以顶栅结构为掩模选择性刻蚀中间导电层，保留的中间导电层用作背栅电极，使得背栅电极与顶栅结构具有良好的对准精度，此种制备方法不仅可运用于先进工艺节点器件，也可用于对成熟工艺节...

本发明提供一种SOI衬底及其制备方法，衬底包括：衬底层、第一埋氧层、背栅调节层、第二埋氧层、顶半导体层，从下到上依次设置，背栅调节层内设置有绝缘隔离结构。本发明通过设置第一埋氧层为键合界面，使对第二埋氧层的厚度的调节自由度较大，以减低键...

本发明涉及一种柔性单晶硅片和柔性太阳电池及其制备方法。该制备方法包括：将单晶硅片制绒、清洗，在单晶硅片表面和背面制作金字塔减反射结构；利用等离子体刻蚀对单晶硅片的侧面以及边缘部分的正面和背面的金字塔、菱角、突刺和凹槽的峰和谷进行圆滑处理...

本发明提供一种基于绝缘体上半导体衬底上的全环绕栅器件及其制备方法，本发明的全环绕栅器件，顶栅部分与背栅部分具有较好的自对准精度，由此避免了背栅部分与源漏区域之间较大交叠区域，避免了顶栅过大而形成π沟道结构，而且背栅部分通过绝缘结构与源漏...

本发明涉及一种光伏背板、光伏背板的制作方法及光伏组件，光伏背板包括从内至外依次设置的胶膜层、内保护层、金属薄膜和外保护层，金属薄膜上开设有若干第一预制孔，胶膜层、内保护层和外保护层上开设有与第一预制孔一一对应的若干第二预制孔，第二预制孔...

本发明涉及一种相干接收硅光芯片及激光雷达系统，硅光芯片包括光端口、分束模块、混频模块、探测模块和电端口；所述光端口包括光输入端口、光输出端口、第一反射光输入端口和第二反射光输入端口；所述分束模块用于对从所述光输入端口进入的信号光进行分束...

本发明涉及一种基于粉末填充的低阻硅式TSV制造方法，包括：步骤S10，提供低阻硅片；步骤S20，在低阻硅片的第一面蚀刻形成环形盲孔；步骤S30，在环形盲孔中填充待固化粉末；步骤S40，清除低阻硅片表面残留的待固化粉末；步骤S50，对待固...

本发明涉及一种高弛豫率磁性碳量子点的制备方法，包括如下步骤：(1)将sp3前驱体和sp2前驱体溶解在溶剂中进行溶剂热反应，得到第一混合体系；(2)将反应产物重新分散在水中，抽滤，然后加入钆离子进行水热反应，得到第二混合体系；(3)将第二...

本发明一种MEMS芯片的封装方法及封装结构，该封装方法包括以下步骤：在MEMS晶圆上键合临时封装盖板，其中MEMS晶圆上包括多个间隔排列的MEMS芯片，临时封装盖板底面设有多个间隔排列的封环微结构使得每一MEMS芯片的上方形成一密封空腔...

本发明涉及一种非线性优化紧凑的大特征尺寸绝热功率分配器。该功率分配器自下而上包括衬底、埋氧层、顶层、包层，所述顶层的两侧进行刻蚀，所述刻蚀的厚度小于顶层厚度，从而形成脊波导，所述脊波导采用锥形交错波导结构，所述锥形交错波导结构包括上下两...

本申请实施例提供一种声表面波器件的仿真方法、装置、电子设备及存储介质，方法包括：对声表面波器件进行建模，得到声表面波器件模型；针对多个预设频率中的每个预设频率，执行：基于预设频率对核心单元模型进行解析处理，得到核心单元模型的系统矩阵方程...

本发明涉及一种移动机器人视听觉融合感知与导航方法，包括以下步骤：对移动机器人的视觉传感器系统与听觉传感器系统进行参数标定；利用视觉传感器系统和标定的参数构建导航栅格地图；使用视觉传感器系统获取交互对象的视频序列，并基于三维卷积和长短期记...

本发明提供一种基于屏蔽金属载板的芯片扇出封装结构及其制备方法，该制备方法包括：提供屏蔽金属载板；于屏蔽金属载板第一表面形成至少一个向屏蔽金属载板第二表面延伸的凹槽；于凹槽底壁上需要固定芯片的区域设置导电胶，放置芯片后烘烤加固，实现芯片黏...

本发明提供一种基于移动互联网的铁路道口安全通行管控系统和方法，包括监控管理终端和与监控管理终端通信连接的路侧设备、第一移动智能终端和第二移动智能终端；所述路侧设备用于获取道口信息及一定距离的道路信息，并发送所述道口信息和所述道路信息；所...

本发明涉及一种自选通存储器，包括上电极(2)、与上电极(2)相接触的上介质层(3)、下电极(6)、与下电极(6)相接触的下介质层(5)以及夹设于所述上介质层(3)和下介质层(5)之间的开关材料层(4)。本发明减少了非标工艺的数量，器件开...

本发明涉及一种自选通存储器，包括上电极(2)、与上电极(2)相接触的上介质层(3)、下电极(6)、与下电极(6)相接触的下介质层(5)以及夹设于所述上介质层(3)和下介质层(5)之间的开关材料层(4)。本发明减少了非标工艺的数量，器件开...