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中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术
中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利
一种石墨烯转移方法技术
本发明涉及一种石墨烯转移方法,包括:石墨烯生长、应力层沉积、临时键合胶成膜、衬底贴附、剥离、与目标衬底范德华键合、解键合、清洗、应力层刻蚀。本发明可以获得无掺杂、金属痕迹残留、无破损、无褶皱、原子级平坦的石墨烯,可用于规模化生产、半导体...
基于二维封闭式光子晶体结构的二阶以上窄带通滤波器制造技术
本发明提供一种基于二维封闭式光子晶体结构的二阶以上窄带通滤波器,包括:第一金属板、金属柱阵列及第二金属板,金属柱阵列包括周围金属柱及缺陷金属柱;周围金属柱呈行和列等间距排布;缺陷金属柱呈列排布;缺陷金属柱两侧均与周围金属柱相邻;缺陷金属...
一种环栅晶体管结构及其制备方法技术
本发明提供一种环栅晶体管结构及其制备方法,结构包括:衬底层、绝缘层、顶半导体层、栅极、源极和漏极;绝缘层与顶半导体层之间设置有凹槽,凹槽两侧的半导体凸台的底面部分设置预掺杂层;悬空沟道表面包裹栅介质层,栅介质层表面包裹栅电极层,栅介质层...
全包围栅器件的制备方法技术
本发明提供一种全包围栅器件的制备方法,包括:提供具有内嵌空腔的绝缘体上半导体衬底;于空腔之上的顶半导体层上形成假栅结构,假栅结构在垂直投影方向上与空腔具有交叠;基于假栅结构形成自对准的源区和漏区;于假栅结构上方定义出沟道掩膜图形,基于沟...
一种咔唑三联吡啶钌配合物氧气检测探针及其制备方法与应用技术
本发明提供一种咔唑三联吡啶钌配合物或其盐、或其溶剂合物。本发明还提供一种咔唑三联吡啶钌配合物的合成方法。本发明进一步提供了一种探针。本发明更提供上述咔唑三联吡啶钌配合物或其盐、或其溶剂合物,和/或上述探针在检测氧气中的用途。本发明提供的...
一种用于锗硒及其掺杂合金的化学机械抛光组合物制造技术
本发明涉及一种用于锗硒及其掺杂合金的化学机械抛光组合物,包括0.1~3.0%氧化剂、0.01~1.0%碱金属添加剂、0.01~2.0%络合剂、0.1~2.0%第一缓蚀剂、0.2~2.0%第二缓蚀剂、0~5%磨料,其余为pH缓冲剂和去离子...
一种无人机协能通信网络中轨迹设计和功率分配方法组成比例
本发明涉及一种无人机协能通信网络中轨迹设计和功率分配方法,包括以下步骤:以节点最终虚拟剩余能量最接近节点的电池最大容量为目标建立功率分配模型;采用强化学习距离奖惩算法对所述功率分配模型进行求解,得到节点资源分配和剩余能量的优化方案。本发...
一种相变存储器及其制备方法技术
本发明涉及一种相变存储器及其制备方法,所述相变存储器设有衬底(1)和若干个电极单元;所述电极单元自下至上包括刀片电极层(2)、相变材料层(3)、第一黏附层(4)、选通管材料层(5)、第二黏附层(6)、顶电极层(7);所述电极单元之间留有...
单窄通二维封闭式表面波光子晶体结构制造技术
本发明提供一种单窄通二维封闭式表面波光子晶体结构,通过第一金属板、周围金属柱、缺陷金属柱及缺陷金属柱与第一金属板的间隔构成了表面波光子晶体结构,且通过第二金属板,形成封闭式表面波光子晶体结构,提高光子晶体的抗干扰能力;另外,通过使周围金...
半导体基底结构及器件制造技术
本发明提供一种半导体基底结构及器件,包括衬底、导电柱、横向绝缘层和竖向绝缘层,通过导电柱可以实现垂直电学导通,通过横向绝缘层及竖向绝缘层可实现电学绝缘;本发明的半导体基底结构可实现3D互联,具有工艺兼容性强、设计灵活、适于高温工艺等优点...
一种产生多模涡旋电磁波的自适应UCA布阵方法技术
本发明提供一种产生多模涡旋电磁波的自适应UCA布阵方法,包括:确定同心圆环的数量;确定半径最小的第一同心圆环的半径;将每两个相邻的同心圆环之间等间隔设置,且该间隔等于第一同心圆环的半径;根据第一同心圆环的阵元的个数N对所有同心圆环进行N...
一种柔性光电阵列及其制备方法技术
本发明涉及脑机接口技术领域,特别涉及一种柔性光电阵列及其制备方法。该柔性光电阵列包括:探针、光纤和固定结构;固定结构沿着水平方向延伸;探针和光纤沿着固定结构的延伸方向依次排列,探针的固定端连接于固定结构,光纤的固定端连接于探针和延伸面和...
一种柔性光纤及其制备方法技术
本发明涉及脑机接口技术领域,特别涉及一种柔性光纤及其制备方法。该柔性光纤包括柔性光纤本体、抗菌层和病毒载体层;柔性光纤本体用于传输光;柔性光纤本体由第一蛋白质组成;抗菌层包覆于柔性光纤本体的外表面;抗菌层由第二蛋白质和抗炎抗菌药物组成;...
一种UCA收发阵列及其排布与通信方法技术
本发明提供一种UCA收发阵列,其发射UCA和接收UCA的每个天线阵元均以指向平行于UCA所在平面的初始方向为旋转起点、以该天线阵元所在的垂直于UCA所在平面的方向为旋转轴,根据该天线阵元相对于其对应的UCA的中心轴线的方位角进行逆时针旋...
一种基于类脑超维计算的智慧农业监控方法技术
本发明提供一种基于类脑超维计算的智慧农业监控方法包括:利用传感器侧的设备应用层采集特征数据;把数据从传感器侧的设备应用层传输到边缘侧的设备应用层;利用边缘侧的设备应用层来检测其处于分析训练还是控制执行状态,相应把数据发往类脑智能层的类脑...
一种具有自对准结构的射频晶体管制备方法技术
本发明涉及一种具有自对准结构的射频晶体管制备方法,包括:石墨烯生长、旋涂两种光刻胶、沉积铝和金、Lift
基于单个超导纳米线单光子探测器的光子数分辨方法技术
本发明提供一种基于单个超导纳米线单光子探测器的光子数分辨方法,包括:提供一种超导纳米线单光子探测器的读出电路,其包括一个具有读出端口和接地端口的超导纳米线单光子探测器组件、与两个端口相连的一个恒流偏置源、以及与读出端口连接的第一读取电路...
感知通信一体化OFDM共享波形子载波的比特和功率分配方法组成比例
本发明涉及一种感知通信一体化OFDM共享波形子载波的比特和功率分配方法,包括以下步骤:建立发送信号模型;在总功率限制下,以条件互信息最大化为目标建立雷达探测模型;在总功率和BER限制下,以数据信息速率最大化为目标建立通信模型;基于所述雷...
一种微纳结构加载的基于槽型波导的超紧凑型波导结构制造技术
本实用新型涉及一种微纳结构加载的基于槽型波导的超紧凑型波导结构,通过在槽型波导的条形波导上构建微纳结构,使得条形波导的等频率线在光的传输方向上发生偏移,与槽型区域的等频率线无交叠,从而使得槽型波导的高折射率的条形波导区和低折射率的槽型区...
具有蒙特卡洛仿真功能的三维相变存储器1S1R模型制造技术
本发明涉及一种具有蒙特卡洛仿真功能的三维相变存储器1S1R模型,包括器件模型,所述器件模型包括串联的选通管模型和相变存储器模型,还包括:电压模块,用于向所述选通管模型和相变存储器模型提供电压;参数分布模块,用于提供带有统计特性的选通管模...
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