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中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术
中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利
一种无线自组网中的并发调度和资源分配方法组成比例
本发明涉及一种无线自组网中的并发调度和资源分配方法,包括:初始化移动自组网,所述移动自组网在每一个时间周期内,每条传输链路都有一次传输机会;基于最大独立集的思想,将当前时间周期内所有的传输链路调度分配到不同并发集中;在调度分配时最大化每...
一种面入射型SACM结构雪崩光电探测器制造技术
本发明涉及一种面入射型SACM结构雪崩光电探测器。该光电探测器从上至下依次为具有内应力的氮化硅层、第一电极层、光吸收层、场控制层、倍增层、第二电极层、具有内应力的氮化硅层以及衬底层。该光电探测器引入氮化硅作为应力源改变了锗材料的能带结构...
一种用于波长相关的3D光开关的微纳结构制造技术
本发明涉及一种用于波长相关的3D光开关的微纳结构,包括:衬底;两条硅纳米柱子链,平行设置在所述衬底上;每条硅纳米柱子链包括高度相同的普通柱和缺陷柱,所述普通柱和缺陷柱排成一列,所述缺陷柱设置在所述硅纳米柱子链末端的第一根和第三根的位置;...
一种MEMS热电堆器件及其制作方法技术
本发明提供一种MEMS热电堆器件及其制作方法,该器件包括单晶硅衬底、隔热空腔、多个单晶硅热偶对及支撑膜;隔热空腔位于单晶硅衬底内;多个单晶硅热偶对串联且悬设于隔热空腔之上,单晶硅热偶对包括N型热偶及P型热偶,串联后的多个单晶硅热偶对的一...
一种土壤温湿度传感器及其制备方法技术
本发明涉及一种土壤温湿度传感器及其制备方法,包括湿度敏感单元、温度敏感单元、对温湿度敏感单元进行封装的覆盖层和与温湿度敏感单元相连接的印刷电路板。本发明通过MEMS金属溅射工艺,将金属溅射在玻璃上形成电极,可以有效的减少芯片的面积,且使...
一种全氮化镓集成功率转换模块制造技术
本发明涉及一种全氮化镓集成功率转换模块,包括低边驱动电路、高边驱动电路和半桥模块,所述半桥模块包括第一氮化镓功率器件和第二氮化镓功率器件,所述第一氮化镓功率器件的漏极连接高电压HV,源极连接所述第二氮化镓功率器件的漏极,栅极连接所述高边...
一种血管串联的多器官芯片模型及其应用方法技术
本发明涉及一种血管串联的多器官芯片模型及其应用方法,包括多器官互联芯片基体、器官培养小室插入物和多种器官血管连通管道,所述的多器官互联芯片基体上设置有若干个多种器官培养小室插入孔,所述的多种器官培养小室插入孔内均安装有器官培养小室插入物...
一种超导集成电路器件的制备方法技术
本发明提供一种超导集成电路器件的制备方法,在形成第三绝缘材料层时,先在第三超导材料层表面沉积一定厚度的绝缘材料形成第三绝缘材料层,由于第三绝缘材料层的厚度较大,因此其易在凸角处形成鼓包;接着,采用离子束刻蚀的方法去除具有第一厚度的第三绝...
一种快速傅里叶变换计算模块及频偏估计装置制造方法及图纸
本发明涉及一种快速傅里叶变换计算模块及频谱估计装置。其中,频谱估计装置包括:采样模块、快速傅里叶变换计算模块和最大值比较模块;所述采样模块用于按照固定的采样间隔获取信道数据,并对扩频采样数据进行解扰处理再进行相关运算获取信道数据;所述快...
一种差分量热式MEMS气体传感器及气体检测方法技术
本发明提供一种差分量热式MEMS气体传感器及气体检测方法,该传感器包括检测热电堆、参考热电堆、环境电阻、屏蔽环,检测热电堆及参考热电堆均包括单晶硅衬底、隔热空腔、多个单晶硅热偶对及支撑膜,其中,隔热空腔位于单晶硅衬底内,多个单晶硅热偶对...
一种低损耗紧凑型MMI功率耦合器及其制作方法技术
本发明涉及一种低损耗紧凑型MMI功率耦合器及其制作方法,其中,MMI功率耦合器包括由下至上设置的硅衬底、二氧化硅层和硅波导层,所述硅波导层一侧连接若干条形波导作为输入,另一侧连接一根条形波导作为输出;所述硅波导层划分为若干纳米像素点型结...
一种超导电路低温到室温的高速信号传输装置及测试系统制造方法及图纸
本发明涉及一种超导电路低温到室温的高速信号传输装置和测试系统,其中,传输装置包括测试杆,测试杆一端连接低温样品腔,另一端连接室温安装盒;低温样品腔内设置有低温端高频测试PCB,低温端高频测试PCB上设有超导芯片安装位和输入/输出端口,输...
氧化镓结构的制备方法技术
本发明提供一种氧化镓结构的制备方法,通过智能剥离转移的方法将晶圆级的氮化镓转移到高导热的衬底上,之后经氧化退火将氮化镓薄膜氧化成氧化镓薄膜,从而实现氧化镓与高导热衬底的异质集成,有效解决氧化镓散热的瓶颈问题,且可制备大面积、高质量的氧化...
一种基于钻石NV色心的量子电流传感器制造技术
本实用新型提供一种基于钻石NV色心的量子电流传感器,该传感器包括电磁转换收集模块(收集穿过聚磁环的待测导线的电流的感应磁场)、磁场检测模块(检测聚磁环开口处的磁场信息,并通过输入其内部钻石NV色心处的激光和微波共同作用后产生的荧光信号输...
基于涡旋电磁波的穿墙雷达目标识别方法、设备及介质技术
本发明提供一种基于涡旋电磁波的穿墙雷达目标识别方法、设备及介质,其中,所述方法包括:基于发射模态范围中的各发射模态,分别执行对应的多模态信号收发过程,以获得目标的各回波信号;基于目标物的各所述回波信号,获取目标物的特征信息;其中,所述多...
一种基于节点重要性的无线传感网分级调度方法技术
本发明涉及一种基于节点重要性的无线传感网分级调度方法,包括:传感器节点在监控区域出现目标后快速构建初始任务簇;各簇成员根据自身节点重要性等级和感知信号强度进行传输决策;簇头对接收到的目标感知数据进行融合处理,获取目标状态估计信息,并基于...
动态老化过程在线预测方法技术
本发明提供了一种动态老化过程在线预测方法,包括如下步骤:测试及阈值电压提取;以及建立模型及在线预测;所述建立模型及在线预测的步骤中,动态老化模型包括退化模型和恢复模型,通过选定的基准数据第一周期作为训练集输入LSTM神经网络训练建立,预...
一种相控阵阵元、光学相控阵及制作方法技术
本发明涉及一种相控阵阵元、光学相控阵及制作方法,其中,相控阵阵元包括:硅波导;氧化层,位于所述硅波导的上表面;氮化硅光栅,位于所述氧化层上表面,所述氮化硅光栅的光栅齿的宽度大于所述硅波导的宽度,所述氮化硅光栅的光栅体的宽度小于所述硅波导...
一种功率器件源极寄生参数及漏极电流测量方法和装置制造方法及图纸
本发明涉及一种功率器件源极寄生参数及漏极电流测量方法和装置,其中,方法包括以下步骤:将功率器件、负载电感和电源进行串接形成回路;采集功率器件在一个开关周期内的开尔文源极与功率源极之间的压降信号;对所述压降信号进行积分,并采用二次函数对积...
一种基于物理规律的人体异常行为检测方法技术
本发明公开了一种基于物理规律的人体异常行为检测方法,解决检测时视觉特征易受观测噪声影响的问题。本发明包括:通过视觉表示模块定位人体区域以及关节部位,分别得到粗粒度视觉特征以及细粒度视觉特征;通过物理直觉模块的粗粒度部分和细粒度部分分别对...
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