本发明公开了一种高真空状态下薄壳器件盖板组合式拾取机构，解决了如何完成薄壳器件盖板在真空环境下精确拾取并保证盖板在放下过程中不会受冲击力而发生变形的问题。在直线电机的向下输出轴上连接一个浮动的薄壳类盖板的拾取模具，通过直线电机向下输出轴...

本发明公开了一种高真空状态下微电子封装自适应平行封焊机构，解决了在真空环境下如何低成本地完成薄壳器件盖板与管壳的高质量平行封焊，从而提高封焊成品率的问题；设置浮动的平行焊轮支架，使该支架上的两平行焊轮，浮动地压接在盖板与管壳之间的平行焊...

本发明公开了一种高真空密闭腔间的微电子封装组件托盘转运机构，解决了如何在有限空间内采用简单经济的驱动机构完成托盘转运的问题；在微电子封装组件托盘转运的两高真空腔室之间设置门阀，将转运机构设置在第二个激活工艺腔室中，转运机构的驱动电机设置...

本发明公开了一种高真空密闭腔间的微电子封装组件托盘转运方法，解决了如何在有限空间内采用简单经济的驱动机构完成托盘转运的问题；在微电子封装组件托盘转运的两高真空腔室之间设置门阀，将转运机构设置在第二个激活工艺腔室中，转运机构的驱动电机设置...

本发明公开了一种微电子封装组件的高真空全自动封装测试方法，解决了如何设计一种低成本占地空间小，并可高质量完成平行封焊的全自动封装测试设备的问题。采用多个高真空腔室顺次串联的结构，实现高真空密封器件的自动化封装生产流水作业，顺次串联的高真...

本发明公开了一种微电子封装组件的高真空全自动封装测试设备，解决了如何设计一种低成本占地空间小，并可高质量完成平行封焊的全自动封装测试设备的问题。采用多个高真空腔室顺次串联的结构，实现高真空密封器件的自动化封装生产流水作业，顺次串联的高真...

本发明公开了一种高真空状态下微电子封装自适应平行封焊方法，解决了在真空环境下如何低成本地完成薄壳器件盖板与管壳的高质量平行封焊，从而提高封焊成品率的问题；设置浮动的平行焊轮支架，使该支架上的两平行焊轮，浮动地压接在盖板与管壳之间的平行焊...

本发明公开了一种晶圆水平镀膜喷杯的杯体结构，解决了现有镀槽结构不合理容易导致晶圆镀膜质量不高的问题。将传统的焊接结构的喷杯的杯体结构，改变为块式组装式结构，通过对块式结构的精准加工，提高了关键配合面的安装精度，将各杯体块，通过密封垫及连...

本实用新型公开了一种用于多腔体陶瓷电路基板大面积金锡焊的通用压具，解决了如何开发一种通用压具满足不同的多腔体陶瓷电路基板焊接下压要求的问题。包括长方形压块（6）和陶瓷电路基板（2），陶瓷电路基板（2）是水平放置在陶瓷电路基板大面积金锡焊...

本发明公开了一种晶圆水平镀膜喷杯中搅拌镀液的旋转剪切机构，解决了现有镀槽结构不合理容易导致晶圆镀膜质量不高的问题。将传统的焊接结构的喷杯的杯体结构，改变为块式组装式结构，通过对块式结构的精准加工，提高了关键配合面的安装精度，将各杯体块，...

本发明公开了一种可实现双片晶圆同槽同步镀膜的电镀槽体，解决了如何设置有效的镀液搅拌机构以提高两个晶圆镀膜一致性的问题。在左晶圆挂具（4）正下方的箱形电镀槽体（1）的槽底面上，设置有左搅拌桨摆板铰接轴（20）和左搅拌桨摆板（19），在右晶...

本发明公开了一种超深货架立体库堆垛机工作方法，解决了对于超深货架托盘如何实现简单并可靠地存取的问题。堆垛机采用四立柱堆垛机，前U形轨道框架、后U形轨道框架和连接框架组成整体的四立柱堆垛机上的升降载货平台；在前U形轨道框架的前侧立板顶端和...

本发明公开了一种高密度立体库中重载托盘的挂取机构，解决了现有挂取结构在挂取重载托盘时容易发生挂耳断裂和链条销轴受力偏载的问题。在堆垛机载货台（7）上，设置有可左右移动的伸缩框架（8），在伸缩框架上，固定连接有安装前挂取链条的前U形轨道槽...

本发明公开了一种超深货架立体库中托盘的存取方法，解决了对于超深货架托盘如何实现简单并可靠地存取的问题。堆垛机采用四立柱堆垛机，前U形轨道框架、后U形轨道框架和连接框架组成整体的四立柱堆垛机上的升降载货平台；在前U形轨道框架的前侧立板顶端...

本发明公开了一种高密度立体库中重载托盘的挂取方法，解决了现有挂取结构在挂取重载托盘时容易发生挂耳断裂和链条销轴受力偏载的问题。在堆垛机载货台（7）上，设置有可左右移动的伸缩框架（8），在伸缩框架上，固定连接有安装前挂取链条的前U形轨道槽...

本发明公开了一种能有效提升炉内共晶温度均匀性的共晶炉，解决了现有共晶炉在共晶焊接中各共晶焊接点温度不均匀和生产节奏慢的问题；通过改变石英灯中的灯丝螺旋状缠绕密度的分布，并通过对石英灯的分组控制，提升共晶焊接传热板的温度的均匀性，并用导热...

本发明公开了一种存取超深货架立体库托盘的堆垛机，解决了对于超深货架托盘如何实现简单并可靠地存取的问题。堆垛机采用四立柱堆垛机，前U形轨道框架、后U形轨道框架和连接框架组成整体的四立柱堆垛机上的升降载货平台；在前U形轨道框架的前侧立板顶端...

本发明公开了一种能有效提升炉内共晶温度均匀性的共晶炉控制方法，解决了现有共晶炉在共晶焊接中各共晶焊接点温度不均匀和生产节奏慢的问题；通过改变石英灯中的灯丝螺旋状缠绕密度的分布，并通过对石英灯的分组控制，提升共晶焊接传热板的温度的均匀性，...

本发明公开了一种存取超深货架立体库托盘的四立柱堆垛机上的挂取机构，解决了对于超深货架托盘如何实现简单并可靠地存取的问题。堆垛机采用四立柱堆垛机，前U形轨道框架、后U形轨道框架和连接框架组成整体的四立柱堆垛机上的升降载货平台；在前U形轨道...

本发明公开了一种可防卡滞的刻蚀下料机的硅片自动下料传送机构，解决了硅片在翻转工位上容易出现卡滞的问题。在翻转杆龙门支撑架（6）的内侧下端设置有漏吸硅片倾斜收料盒（11），在硅片入篮横向皮带传送线（5）上设置有翻转后的第一组硅片（13），...