本发明属于电路器件制造设备技术领域，具体为一种芯片倒装键合用高承载精密运动平台，其包括Y向移动平台、X向移动平台和气浮支撑工作台；Y向移动平台为L型弯板；短板位于大理石基准平台的侧壁上；长板的自由端连接设有气浮垫的支撑柱，X向移动平台位...

本实用新型涉及光器件自动化封装生产技术领域，公开了芯片基板传送的封装焊接用精密传输平台，包括传输基座，传输基座上设有导轨安装座，导轨安装座上设有四组直线电机及左右运动导轨，左右运动导轨上安装有分别与四组直线电机连接的四组滑块单元，四组机...

本发明属于晶体的加工领域，具体为一种从激光改质后的晶体上剥离晶片的机械剥离装置，包括储存玻璃板的储存盒、搬运机械手、承载搬运机械手行走的X轴滑轨、施加剥离力的剥离电缸、提供压紧力的压紧电缸、真空陶瓷吸盘、承载压紧电缸的X轴滑台、顶升装置...

本发明属于半导体加工设备领域，尤其涉及一种诱导从晶体上分离薄晶片的方法和装置，具体为一种实现晶片分离的方法及装置。本方法通过在晶体两侧粘接晶体底板、剥离板的方式，对两侧晶体底板、剥离板分别施加指向晶体外侧的力，该力传递至改质层使其发生开...

本发明公开了蓝膜分离取晶装置，包括，蓝膜运动部件，蓝膜运动部件包括蓝膜/华夫盒固定件、X向模组和Y向模组，蓝膜/华夫盒固定件设置在Y向模组上，蓝膜/华夫盒固定件上开设有圆形通孔，蓝膜/华夫盒固定件底部设有负压阀安装孔，载有物料的蓝膜固定...

本实用新型涉及光伏太阳能硅片在进行镀膜工艺过程中用到的转运码放装置，具体为一种高效的可追溯花篮硅片的转运码放装置，解决了背景技术中的技术问题，其包括上料花篮升降组件、上料缓存组件、上料硅片传输组件、上料变截距组件、真空吸盘组件和石墨舟，...

本实用新型涉及引线键合设备领域，具体为一种基于压电促动器的快速响应线夹，包括支架、线夹固定座、线夹本体、压缩弹簧和压电促动器，支架用于与设备主体连接；线夹固定座通过两个转轴安装在支架上，线夹本体安装在线夹固定座下侧；支架上安装有弹簧支架...

本发明公开了一种转载一组硅片的梳齿式吸盘装配精度的检测校准机构，解决了如何对每个吸盘片上的三个真空吸附陶瓷吸嘴的装配精度进行检验校准的难题；设计一个可承载移动梳齿式吸盘的测试工装架体，在该架体上设置有可精确控制水平位移丝杠模组和上下垂直...

本实用新型涉及一种应用在引线键合设备的压力施加机构，具体为一种分段式压力施加机构，包括机头固定块、弹性块，通过内六角圆柱头螺钉将弹性块与机头固定块固定，将第一应变片胶粘在弹性块的内桥梁处，将第二应变片胶粘在弹性块的外桥梁处，通过内六角圆...

本实用新型涉及倒料装置，具体为一种电磁铁吸附方式的柔性倒料机构，解决了背景技术中的技术问题，其包括升降螺栓、连接块、电磁铁、磁铁罩桶和固定块，固定块连至连接块上，连接块中开有竖直通孔，竖直通孔的底端向内延伸有凸环，凸环与升降螺栓的螺栓头...

本发明涉及标定玻璃片，具体为一种芯片倒装键合用标定玻璃片，其包括正方形的玻璃片本体，玻璃片本体的其中一个侧面上镀有格栅状铬层，格栅状铬层的四个角外侧设有第一游标测量区，格栅状铬层的其中一个角上设有第一方向识别区且其余三个角上均设置有对位...

本发明属于半导体加工设备领域，具体为一种机械式晶片分离方法及装置，该分离方法使待剥离晶片产生弹性变形，使改质层开裂实现晶片分离，分离装置包括装置底板，装置底板上固定有支撑立板，支撑立板上固定有压板，压板的下方固定物料承载板，物料承载板和...

本发明涉及微组装贴片设备领域，具体为一种高精度共晶贴片机的加压取放结构，包括伺服电机，伺服电机与谐波减速机连接，谐波减速机和共晶转轴连接，共晶转轴连接共晶压力控制组件，共晶压力控制组件上的导轨安装件连接有半圆柱结构，半圆柱结构内安装交叉...

本发明公开了一种碳化硅外延炉的源载气输送结构，解决了如何提高源气体输送效率和成膜质量的难题；在碳化硅外延炉反应腔体的密封盖中分别设置彼此隔离的C源气进气腔、Si源气进气腔和载气进气腔，在腔体外侧设置水冷却夹层，以达到使这三种气体在进入反...

本发明公开了一种可提供小键合力的分体式气液增压系统，解决了如何采用气液增压系统来满足晶圆键合的较宽范围输出力要求的技术难题；将作动器与液压增压缸分体式设计；将作动器设计为即可气动又可液动的两用式：在输出低压段压力时，用气源直接驱动作动器...

本实用新型公开了一种高温真空钎焊炉中抗扭曲易拆装的加热钼带绝缘支撑座，解决了现有支座存在的抗扭曲性差和不易拆装的问题；包括反射屏固定管（1）、加热钼带的U形托架（14）和陶瓷套管，在陶瓷套管的外侧壁上设置有环形台阶，通过四个陶瓷套管嵌入...

本实用新型公开了一种可有效保护硅片移载篮具的提篮吊具，解决了现有提篮吊具在与硅片篮具结合时容易发生水平悬臂杆折断的问题；包括水平横梁板（1），在水平横梁板（1）顶端面中部固定连接有三角吊架（2），三角吊架（2）设置在上下升降丝杠模组（3...

本发明公开了一种可克服门体刚性旋转影响密封的真空箱密封门安装方法，解决了真空箱上的铰链连接的密封门在长时间运行后容易出现密封不严的问题；在抽真空箱体（1）上设置有法兰门框（2），在法兰门框的左侧框上，固定设置有门体连接外铰链座（5），在...

本发明涉及引线键合设备上的送丝机构，具体为一种键合送丝自动适配机构，包括引线送丝固定板部件、引线检测部件、摆杆部件、虹吸机构和送丝线轴，其中引线检测部件固定在引线送丝固定板部件的顶部，两个摆杆部件分别设置在引线送丝固定板部件的两侧，其中...

本发明公开了一种用于晶圆键合的气液增压系统的工作方法，解决了如何采用气液增压系统来满足晶圆键合的较宽范围输出力要求的技术难题；将作动器与液压增压缸分体式设计；将作动器设计为即可气动又可液动的两用式：在输出低压段压力时，用气源直接驱动作动...