一种高效的可追溯花篮硅片的转运码放装置制造方法及图纸

技术编号:36251926 阅读:12 留言:0更新日期:2023-01-07 09:45
本实用新型专利技术涉及光伏太阳能硅片在进行镀膜工艺过程中用到的转运码放装置,具体为一种高效的可追溯花篮硅片的转运码放装置,解决了背景技术中的技术问题,其包括上料花篮升降组件、上料缓存组件、上料硅片传输组件、上料变截距组件、真空吸盘组件和石墨舟,还包括下料缓存组件、龙门架、下料A、B道变截距组件、下料A、B道硅片传输组件、下料A、B道花篮升降组件,龙门架横跨在下料A道硅片传输组件和下料B道硅片传输组件上方,龙门架的水平梁上安装有水平滑移装置,下料缓存组件固定在水平滑移装置上可在下料A道硅片传输组件和下料B道硅片传输组件间切换位置。该装置实现了花篮内硅片的追溯,提高了装片效率,硅片无需在缓存组件内等待。待。待。

【技术实现步骤摘要】
一种高效的可追溯花篮硅片的转运码放装置


[0001]本技术涉及光伏太阳能硅片在进行镀膜工艺过程中用到的转运码放装置,具体为一种用来协助硅片完成镀膜工艺过程的一种高效的可追溯花篮硅片的转运码放装置。

技术介绍

[0002]当硅片进行镀膜工艺时,传统硅片转运码放装置包括上料花篮升降组件、上料缓存组件、上料硅片传输组件、上料变截距组件、下料变截距组件、下料硅片传输组件、下料缓存组件、下料花篮升降组件、真空吸盘组件和石墨舟。工作时上料花篮升降组件中满花篮内的100张硅片从下到上依次退出到上料硅片传输组件上,再依次存入上料变截距组件,上料变截距组件一次只能存放28张硅片,上料缓存组件用于退出硅片的暂时存放,当放满28张硅片且未被取走时,为了不影响退片的效率,硅片会就存放在上料缓存组件中。真空吸盘组件将上料变截距组件中的28张硅片一次性装入石墨舟,如此循环,上料花篮升降组件处的退片花篮不断更换,直至石墨舟装满448张硅片后进入工艺设备进行镀膜。待石墨舟内硅片完成工艺处理后,真空吸盘组件将石墨舟内的硅片吸取放入到下料变截距组件,再传输到下料硅片传输组件上,依次装入到下料花篮升降组件的空花篮,待装满后更换新花篮。在此过程中,为了将上料满花篮内的100张硅片按原有顺序装入同一个下料空花篮中,下料缓存组件设置为两组分别为下料缓存组件A和下料缓存组件B,由于28和100不是倍数的关系,当上料花篮升降组件中的第一个花篮内的84片装入下料第一个花篮时,上料花篮升降组件的第一个花篮还剩余16片,剩余的16片会与上料花篮升降组件的第二个花篮的12片叠在一起组成完整的28片。此时,上料花篮升降组件的第二个花篮的12片先暂存到下料缓存组件A,待上料花篮升降组件的第一个花篮的16片装满下料花篮升降单元的第一个花篮时,再更换一个新的下料花篮升降单元花篮。新花篮到位后,下料缓存组件A将暂存的12片装入下料花篮升降单元的第二个花篮。在下料花篮升降单元更换花篮的过程中,下料变截距组件上新放置的硅片暂存到下料缓存组件B,如此,硅片不能及时的装入花篮中,需等待下料花篮升降单元有新的花篮到位后才能装片,因此会大大影响装片效率。

技术实现思路

[0003]本技术旨在解决现有硅片转运码放装置受下料花篮升降装置更换花篮的影响,不能及时将硅片装入花篮中,影响装片效率的技术问题,提供了一种高效的可追溯花篮硅片的转运码放装置,可实现同一个上料专用篮具中的100张硅片按顺序装入同一个下料专用篮具,实现了花篮内硅片的追溯,且可提高装片效率,硅片无需在缓存组件内等待。
[0004]本技术解决其技术问题采用的技术手段是:一种高效的可追溯花篮硅片的转运码放装置,包括上料花篮升降组件、上料缓存组件、上料硅片传输组件、上料变截距组件、真空吸盘组件和石墨舟,还包括下料缓存组件、龙门架、相互配合的下料A道变截距组件、下料A道硅片传输组件、下料A道花篮升降组件以及相互配合的下料B道变截距组件、下料B道硅片传输组件、下料B道花篮升降组件,龙门架横跨在下料A道硅片传输组件和下料B道硅片
传输组件上方,龙门架的水平梁上安装有水平滑移装置,下料缓存组件固定在水平滑移装置上可在下料A道硅片传输组件和下料B道硅片传输组件间切换位置。相互配合的下料A道变截距组件、下料A道硅片传输组件和下料A道花篮升降组件以及相互配合的下料B道变截距组件、下料B道硅片传输组件、下料B道花篮升降组件是两组完全相同的装置,这与传统硅片转运码放装置中的下料装置结构一致。下料缓存组件的位置根据需要可在下料A道硅片传输组件和下料B道硅片传输组件来回切换。
[0005]具体工作过程为:上料花篮升降组件中C1花篮内的100张硅片从下到上依次退出到上料硅片传输组件上,硅片编号从C1

100到C1

1,待C1花篮退完后,继续转运C1,C2,C3,C4,C5等花篮内的硅片。上料硅片传输组件上的硅片依次装入上料变截距组件,上料硅片传输组件一次只能放置28张硅片,第一次硅片编号从C1

100到C1

73,第二次硅片编号从C1

72到C1

45, 第三次硅片编号从C1

44到C1

17,第四次硅片编号从C1

16~C1

1到C2

100~ C2

89,第五次硅片编号从C2

88~C2

61,如此反复进行;真空吸盘组件再将上料变截距组件中的28张硅片一次性装入石墨舟,如此循环直至石墨舟装满448张硅片后进行后续镀膜工艺处理,待石墨舟内的硅片完成镀膜工艺处理后,真空吸盘组件将石墨舟中编号为C1

100到C1

73的硅片吸取放入到下料A道变截距组件,下料A道变截距组件将硅片传输到下料A道硅片传输组件,再装入到下料A道花篮升降组件的D1花篮中,从下到上编号为C1

100到C1

73,如此再循环两次,将C1

72到C1

45及C1

44到C1

17装入D1花篮中,共装入84张硅片,第四次时,真空吸盘组件将石墨舟中编号为C1

16~C1

1到C2

100~ C2

89的硅片装入下料B道变截距组件,下料B道变截距组件将硅片传输到下料B道硅片传输组件,其中编号为C2

100到 C2

89的12张硅片装入下料B道花篮升降组件中的D2花篮,编号为C1

16到C1

1的16张硅片装入下料缓存组件,下料缓存组件水平切换至下料A道硅片传输组件上方,下料缓存组件的硅片再退出装入下料A道花篮升降组件的D1花篮,此时D1装满100张硅片,从上到下硅片编号为C1

1到C1

100与最开始上料花篮升降组件中C1花篮内的100张硅片排序相同。如此循环,即可实现C2

1到C2

100装入D2花篮,C3

1到C3

100装入D3花篮等。
[0006]本技术的有益效果是:结构简单,操作方便,使用本装置能使同一个上料专用篮具中的100张硅片按顺序装入同一个下料专用篮具中,实现了花篮内硅片的追溯,且较传统装置提高了装片效率,硅片无需在缓存组件内等待。
附图说明
[0007]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本技术的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。<本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效的可追溯花篮硅片的转运码放装置,包括上料花篮升降组件(1)、上料缓存组件(2)、上料硅片传输组件(3)、上料变截距组件(4)、真空吸盘组件(5)和石墨舟(6),其特征在于,还包括下料缓存组件(7)、龙门架(8)、相互配合的下料A道变截距组件(9)、下料A道硅片传输组件(10)、下料A道花篮升降组件(11)以及相互配合的下...

【专利技术属性】
技术研发人员:戎有兰苗俊芳黄晋陈嘉荣薛珺天王志刚
申请(专利权)人:西北电子装备技术研究所中国电子科技集团公司第二研究所
类型:新型
国别省市:

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