一种扩散炉制造技术

本申请适用于太阳能电池技术领域，提供了一种扩散炉。扩散炉包括第一石英管、多个第二石英管和多个内电偶；第一石英管形成有多个温区，每个温区均设有对应的内电偶；第一石英管的管壁形成有开孔，多个第二石英管自开孔嵌入第一石英管；多个内电偶分别设于第二石英管内，通过第二石英管设于第一石英管内。如此，由于多个内电偶分别设于第二石英管内，从而通过第二石英管设于第一石英管内，故可以使得内电偶独立探测第一石英管内对应温区的温度，避免受到其余温区的温度的影响，有利于提高测温的准确性。准确性。准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉


[0001]本申请属于太阳能电池
，尤其涉及一种扩散炉。

技术介绍

[0002]太阳能电池发电为一种可持续的清洁能源来源，其利用半导体p
‑
n结的光生伏特效应可以将太阳光转化成电能。而在太阳能电池的制作过程中，通常要使用扩散炉。
[0003]相关技术中，通常在扩散炉的主石英管内设置电偶，来检测扩散炉内部各温区的温度。具体地，通常从主石英管的尾部，沿主石英管长度方向，伸入另一根收容有多个电偶的测温石英管，从而将电偶置于各温区的检测位置。
[0004]然而，由于各个温区的电偶均处于同一个测温石英管内，彼此之间的空间是连通的，在测温石英管内，电偶探测的温度受到相邻温区的温度的影响大于受到对应温区的温度的影响，导致电偶无法精确地检测主石英管的内部各温区的温度。
[0005]基于此，如何提高电偶测量石英管内各温区温度的准确性，成为了亟待解决的问题。

技术实现思路

[0006]本申请提供一种扩散炉，旨在解决如何提高电偶测量石英管内各温区温度的准确性的问题。
[0007]第一方面，本申请提供的扩散炉，包括第一石英管、多个第二石英管和多个内电偶；所述第一石英管形成有多个温区，每个温区均设有对应的所述内电偶；所述第一石英管的管壁形成有开孔，多个所述第二石英管自所述开孔嵌入所述第一石英管；多个所述内电偶分别设于所述第二石英管内，通过所述第二石英管设于所述第一石英管内。
[0008]可选地，所述扩散炉还包括设于所述第一石英管的外壁的外电偶。
[0009]可选地，所述开孔的数量为多个，每个所述开孔均嵌有一个所述第二石英管。
[0010]可选地，所述第二石英管包括封闭端和开口端，所述封闭端位于所述第一石英管内，所述开口端设于所述开孔处，所述内电偶位于所述封闭端。
[0011]可选地，所述第二石英管呈直线状。
[0012]可选地，所述第二石英管呈折线状。
[0013]可选地，所述第二石英管包括第一连接段和自所述第一连接段弯折的第二连接段，所述弯折角为80
°‑
100
°
。
[0014]可选地，所述扩散炉包括安装件，所述第二石英管通过所述安装件可拆卸地设于所述开孔。
[0015]可选地，所述第二石英管的管壁的厚度小于所述第一石英管的管壁的厚度。
[0016]可选地，所述第二石英管的管径小于所述第一石英管的管径。
[0017]本申请实施例的扩散炉，由于多个内电偶分别设于第二石英管内，从而通过第二石英管设于第一石英管内，故可以使得内电偶独立探测第一石英管内对应温区的温度，避
免受到其余温区的温度的影响，有利于提高测温的准确性。
附图说明
[0018]图1是本申请一实施例的扩散炉的结构示意图；
[0019]主要元件符号说明：
[0020]扩散炉10、第一石英管11、开孔110、第二石英管12、第一连接段121、第二连接段122、内电偶13、外电偶14。
具体实施方式
[0021]为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0022]本申请实施例的扩散炉，由于多个内电偶分别设于第二石英管内，从而通过第二石英管设于第一石英管内，故可以使得内电偶独立探测第一石英管内对应温区的温度，避免受到其余温区的温度的影响，有利于提高测温的准确性。
[0023]实施例一
[0024]请参阅图1，本申请实施例的扩散炉10，包括第一石英管11、多个第二石英管12和多个内电偶13；第一石英管11形成有多个温区，每个温区均设有对应的内电偶13；第一石英管11的管壁形成有开孔110，多个第二石英管12自开孔110嵌入第一石英管11；多个内电偶13分别设于第二石英管12内，通过第二石英管12设于第一石英管11内。
[0025]本申请实施例的扩散炉10，由于多个内电偶13分别设于第二石英管12内，从而通过第二石英管12设于第一石英管11内，故可以使得内电偶13独立探测第一石英管11内对应温区的温度，避免受到其余温区的温度的影响，有利于提高测温的准确性。
[0026]可以理解，由于本申请可以更加精确地检测第一石英管11的内部温度，故可以对扩散炉10实现更精确的温度控制，有利于生产更高质量的太阳能电池。
[0027]请参阅图1，第一石英管11形成有多个温区，每个温区均设有对应的内电偶13。
[0028]具体地，多个温区沿第一石英管11的长度方向排列，每个温区对应的内电偶13也沿第一石英管11的长度方向排列。可以理解，在其他实施例中，也可多个温区沿第一石英管11的宽度方向排列或以其他形式排列。在此不对多个温区的具体排列方式进行限定。
[0029]具体地，每个温区设有一个对应的内电偶13。可以理解，在其他实施例中，也可每个温区设有2个、3个、4个或其他数量的对应的内电偶13。具体地，在每个温区设有多个对应的内电偶13的情况下，每个温区对应的多个内电偶13，可集中设于该温区的同一位置，也可分散设于该温区的多个位置。
[0030]具体地，第一石英管11的管壁形成有开孔110。开孔110的孔径大于或等于第二石英管12的外径。如此，避免因开孔110的孔径较小而导致第二石英管12难以伸入。
[0031]进一步地，开孔110的数量可为1个、2个、3个、4个或其他数量。
[0032]请参阅图1，多个第二石英管12自开孔110嵌入第一石英管11。具体地，自一个开孔110嵌入一个第二石英管12。可以理解，在其他的实施例中，也可自一个开孔110嵌入多个第二石英管12。具体地，第二石英管12可自开孔110全部地嵌入第一石英管11。可以理解，在其
他的实施例中，第二石英管12也可自开孔110部分地嵌入第一石英管11。在此不对多个第二石英管12自开孔110嵌入第一石英管11的具体方式进行限定。
[0033]请参阅图1，多个内电偶13分别设于第二石英管12内，通过第二石英管12设于第一石英管11内。具体地，内电偶13的数量可为1个、2个、3个、4个或其他数量。具体地，一个石英管内设有一个内电偶13。可以理解，在其他的实施例中，也可一个石英管内设有多个内电偶13。在此不对内电偶13设于第二石英管12的具体方式进行限定。
[0034]关于该实施例的其他解释和说明可参照本文的其他部分，为避免冗余，在此不再赘述。
[0035]实施例二
[0036]请参阅图1，在一些可选实施例中，扩散炉10还包括设于第一石英管11的外壁的外电偶14。如此，可以通过外电偶14辅助对第一石英管11进行温度控制。
[0037]具体地，每个温区均设有对应的外电偶14。进一步地，每个温区设有一个对应的外电偶14。可以理解，在其他实施例中，也可每个温区设有2个、3个、4个或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉，其特征在于，包括第一石英管、多个第二石英管和多个内电偶；所述第一石英管形成有多个温区，每个温区均设有对应的所述内电偶；所述第一石英管的管壁形成有开孔，多个所述第二石英管自所述开孔嵌入所述第一石英管；多个所述内电偶分别设于所述第二石英管内，通过所述第二石英管设于所述第一石英管内。2.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉还包括设于所述第一石英管的外壁的外电偶。3.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述开孔的数量为多个，每个所述开孔均嵌有一个所述第二石英管。4.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第二石英管包括封闭端和开口端，所述封闭端位于所述第一石英管内，所述开口端设于所述开孔处，所述内电偶位于所述封闭端。...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊兼海，陈刚，
申请(专利权)人：浙江爱旭太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：