本发明公开了一种SiC晶圆的真空键合设备，解决了如何高质量自动完成两SiC晶圆片键合的问题。在真空密闭箱（4）内的箱底面上从下向上依次设置有下水冷支撑台（5）、下热隔离板（6）、下电加热板（7）、下石墨板（8）、SiC晶圆片（9）、上石...

本发明公开了一种高温真空钎焊炉中可抗扭曲的加热钼带绝缘支撑座，解决了钎焊炉中加热钼带绝缘支撑座容易与反射屏之间发生拉拽扭曲的问题；在半口字槽形的加热钼带支撑架（13）的下底面上平行地设置有两块夹持板（35），加热钼带隔离绝缘陶瓷套筒（2...