本实用新型提供了一种MEMS扬声器，包括贯穿开设有收容腔的基座以及依次设于收容腔中的活塞膜、传动件、柔性导向机构、连接柱以及驱动机构，连接柱连接于柔性导向机构与驱动机构之间，传动件夹设于柔性导向机构与活塞膜之间，活塞膜与内壁相间隔，柔性...

本发明公开了一种压电结构及压电装置，其中，包括基底、设于所述基底表面的第一导电层以及与所述第一导电层间隔的第二导电层，还包括嵌设于所述基底的连接部，所述连接部用于电连接所述第一导电层和所述第二导电层。本发明通过将连接部嵌设于基底，并以连...

本发明公开了一种压电结构及压电装置，其中，包括基底、设于所述基底上方的第一导电层以及与所述第一导电层间隔的第二导电层，还包括位于所述基底上方的固定臂以及沿所述固定臂延伸的连接部，所述固定臂包括与所述第一导电层背离所述基底一侧固定连接的第...

一种深腔刻蚀方法，所述深腔包括大腔和与所述大腔形成台阶的小腔，其特征在于，该方法包括如下步骤：提供一至少包含上表面的硅基底；在所述硅基底的上表面形成氧化层；所述氧化层的厚度为a，在所述氧化层背离所述硅基底的一面旋涂涂布第一光刻胶并将其图...

本实用新型提供了一种压电MEMS麦克风，包括具有背腔的基底和固定于所述基底的至少一个悬臂梁；所述悬臂梁包括固定于所述基底上的固定部和自所述固定部延伸并悬置于所述背腔的振动部；所述悬臂梁沿振动方向包括至少两层声传感器层以及夹设于相邻两所述...

本实用新型提供了一种骨传导麦克风，包含：基板、与所述基板相对间隔设置的弹簧片、设置于所述基板与所述弹簧片之间的腔体围壁，所述腔体围壁分别与所述基板及所述弹簧片的边缘相连接，以在所述弹簧片和所述基板之间形成具有收容空间的腔体，所述骨传导麦...

本发明提供了一种能够使得待加工产品的局部平坦度更均匀的平坦化方法，待加工产品开设有填充氧化物的腔体，且其包括叠设在腔体上的第一电极层、压电层和第二电极层，第一电极包括位于第一电极层周边的第一斜面部，压电层在其表面形成第二斜面部，第二电极...

本发明提供了一种平坦化方法，能够使得待加工产品的局部平坦度更均匀，待加工产品开设有填充氧化物的腔体且包括叠设在腔体上的第一电极层、压电层和第二电极层，第一电极层覆盖腔体且包括位于第一电极层周边的第一斜面部，压电层覆盖第一电极层且在其表面...

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括基底、盖设在基底的一侧并与基底形成保护空间的内层金属壳、固定于基底的MEMS芯片和ASIC芯片、盖设于基底的外层金属壳，内层金属壳与外层金属壳之间形成壳间隙，基底开设拾音孔，内层金属壳包括与基底正...

本实用新型提供了一种麦克风。本实用新型包括具有第一空腔的壳体，壳体包括用于电连接的电路板以及固定于电路板形成第一空腔的第一外壳，麦克风还包括固定于电路板的第二外壳，第二外壳盖设于第一外壳与第一外壳以及电路板围设形成第二空腔，第二外壳设有...

一种陀螺仪，其特征在于，所述陀螺仪包括锚点、以所述锚点为轴心且经第一连接部固定于所述锚点周向的环状结构及与所述环状结构间隔设置的驱动电极，所述环状结构包括多个形成有第一角部的第一环状结构及多个呈圆环形的第二环状结构，所述第一环状结构与所...

本发明涉及声电转换的技术领域，提供了一种压电式MEMS麦克风，包括：具有背腔的基底和压电振膜，压电振膜包括悬置部和与基底连接的基底固定部，压电振膜还包括连接基底固定部和悬置部的支撑部，悬置部通过支撑部悬置于背腔上方，压电式MEMS麦克风...

本发明提供了一种麦克风结构，其包括具有背腔的基底、设于基底上的支撑件及固定于支撑件并位于背腔上方的振膜，振膜包括位于中心位置的中心部以及环绕中心部且固定于基底的边界部，边界部延伸至背腔上方，边界部的厚度大于中心部的厚度。应用本发明中的麦...

本实用新型提供了一种骨导式麦克风，包括：具有收容腔的壳体和收容于收容腔中的声电转换组件，壳体包括下盖板和与下盖板形成收容腔的上盖板；声电转换组件包括夹持在上盖板与下盖板之间的弹片、设置在弹片朝向下盖板的第一质量片及设置在弹片朝向上盖板的...

本实用新型提供了一种光学骨传导麦克风，包括基板、固定在基板上并与基板构成收容空间的环状腔体、置于收容空间中的信号处理装置、周缘贴附于环状腔体中远离基板的一端面上的弹簧片、通过弹簧片悬置于信号处理装置上方并置于收容空间中的质量片、以及周缘...

本实用新型提供了一种骨传导麦克风，包括具有第一腔体的第一压强装置以及具有第二腔体且与第一压强装置固定连接的第二压强装置，其设有使得第二腔体与第一腔体连通的声孔，用于拾取与第一压强装置之间产生的压强变化，并将压强变化转化为电信号；第一压强...

本实用新型提供了一种驻极体骨导麦克风，包括具有收容空间的外壳、固定于外壳并与外壳围设成收容空间的电路板以及收容于收容空间内的膜片组件、背板和绝缘隔离件，绝缘隔离件固定于背板远离电路板的一侧，膜片组件固定于绝缘隔离件远离背板的一侧并与背板...

本发明提供一种压电式MEMS麦克风，包括具有腔体的基底、压电振膜、支撑梁和固定梁，所述支撑梁连接所述基底和固定梁，所述固定梁连接所述压电振膜，所述压电振膜包括多个膜片，每一膜片均由所述固定梁固定，每一膜片包括固定端和自由端，所述固定端与...

本发明提供了一种压电MEMS麦克风，包括：具有背腔的基底；正对所述背腔设置的压电振膜，所述压电振膜包括设置于所述背腔上方的支撑部；所述支撑部将所述压电振膜分隔成至少两个振动区域；所述压电振膜还包括设于每个所述振动区域的至少一个膜片，所述...

本发明提供了一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括振膜和与所述振膜间隔设置并与所述振膜形成空腔的背板，所述背板设有电极层；所述背板上设有隔离槽，所述隔离槽使得电极层分隔为位...