一种MEMS扬声器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种MEMS扬声器，包括贯穿开设有收容腔的基座以及依次设于收容腔中的活塞膜、传动件、柔性导向机构、连接柱以及驱动机构，连接柱连接于柔性导向机构与驱动机构之间，传动件夹设于柔性导向机构与活塞膜之间，活塞膜与内壁相间隔，柔性导向机构包括嵌设于基座的固定部、悬置于收容腔内的耦合连接部以及连接在固定部与耦合连接部之间的弹性支撑件，耦合连接部用于驱动活塞膜运动并与内壁间隔设置，驱动机构与内壁固定连接。本实用新型专利技术的MEMS扬声器，柔性导向机构和驱动机构可同时驱动活塞膜运动，增大了活塞膜的振幅，使活塞膜在单位时间内可以排开更多体积的空气，从而提高了MEMS扬声器的声音输出。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS扬声器
本技术涉及声电转换
，尤其涉及一种MEMS扬声器。
技术介绍
扬声器是一种将电学信号转换为声音信号的换能器件，被广泛应用在各种音响和移动终端设备中，扬声器性能的优劣将直接影响到音响或移动终端设备的音质。现有技术中，扬声器通常都是通过振膜振动而产生声音的，但由于振膜的边缘通常都需要固定至其它部件，因此振膜的中心部位振动幅度大，而周边部分震动幅度小，从而导致扬声器的声音输出较低。因而有必要开发一种可克服上述问题的扬声器。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种MEMS扬声器，解决现有扬声器声音输出低的问题。本技术的目的采用如下技术方案实现：一种MEMS扬声器，包括：贯穿开设有收容腔的基座，所述基座的内壁围成所述收容腔；以及依次设于所述收容腔中的活塞膜、传动件、柔性导向机构、连接柱以及驱动机构，所述连接柱连接于所述柔性导向机构与所述驱动机构之间，所述传动件夹设于所述柔性导向机构与所述活塞膜之间，所述活塞膜与所述内壁相间隔，所述柔性导向机构包括嵌设于所述基座的固定部、悬置于所述收容腔内的耦合连接部以及连接在所述固定部与所述耦合连接部之间的弹性支撑件，所述耦合连接部用于驱动所述活塞膜运动并与所述内壁间隔设置，所述驱动机构与所述内壁固定连接。作为一种改进，所述驱动机构包括自所述内壁的相对两侧沿相反方向分别朝对侧延伸且间隔相对设置的驱动组件和若干个连接于两所述驱动组件之间的柔性连接梁，所述驱动组件远离所述柔性连接梁的一端与所述基座固定连接，且每个所述驱动组件都通过所述连接柱与所述耦合连接部连接。作为一种改进，所述柔性连接梁呈长条形或者S形。作为一种改进，所述驱动组件为压电膜。作为一种改进，所述驱动组件包括第一驱动部和间隔设于所述第一驱动部两侧的第二驱动部，所述第一驱动部的一端与所述柔性连接梁连接、另一端与所述内壁相间隔并通过所述连接柱与所述耦合连接部连接，所述第二驱动部的两端分别与所述基座和所述柔性连接梁连接。作为一种改进，所述驱动组件包括第一驱动部和间隔设于所述第一驱动部两侧的第二驱动部，所述第一驱动部的两端分别与所述基座和所述柔性连接梁连接，所述第二驱动部的一端与所述柔性连接梁连接、另一端与所述内壁相间隔并通过所述连接柱与所述耦合连接部连接。作为一种改进，所述弹性支撑件设有若干个，若干个所述弹性支撑件对称设置于所述耦合连接部外周，每一所述弹性支撑件都包括镜像对称且间隔设置的两个缓冲弹片。作为一种改进，所述缓冲弹片呈蛇形延伸。作为一种改进，所述基座包括依次层叠设置的基底、支撑部以及盖体，所述基底、支撑部以及盖体围合形成所述收容腔，所述固定部夹设于所述基底与所述支撑部之间，所述盖体绕设于所述活塞膜外周并与所述活塞膜间隔设置。作为一种改进，所述传动件呈板状且在所述固定部上的正投影完全落入所述固定部内。本技术实施方式相对于现有技术而言，通过在收容腔内依次设置活塞膜、传动件、柔性导向机构、连接柱及驱动机构，柔性导向机构远离驱动机构的一侧与活塞膜连接，另一侧通过连接柱与驱动机构连接，因此，驱动机构运动时，可以通过连接柱带动柔性导向机构运动，进而带动传动件及活塞膜做活塞运动，同时柔性导向机构本身也能驱动活塞膜运动，通过柔性导向机构和驱动机构同时驱动活塞膜运动，可增大活塞膜的振幅，而且由于活塞膜与内壁相间隔，因此活塞膜在运动过程中不会受到基座的阻碍，使得活塞膜可在单位时间内排开更多体积的空气，从而提升MEMS扬声器的声音输出。【附图说明】图1为本技术实施例一提供的MEMS扬声器的结构示意图；图2为图1中所示MEMS扬声器的部分分解示意图；图3为图1的沿A～A线的剖视示意图；图4为图2中所示柔性导向机构的结构示意图；图5为图2中所示基底、驱动机构及连接柱的装配示意图；图6为本技术实施例二提供的基底、驱动机构及连接柱的装配示意图。附图标记：100、MEMS扬声器；10、基座；20、活塞膜；30、传动件；40、柔性导向机构；50、连接柱；60、驱动机构；11、收容腔；12、内壁；41、固定部；42、耦合连接部；43、弹性支撑件；61、驱动组件；62、柔性连接梁；63、固定杆；611、第一驱动部；612、第二驱动部；431、缓冲弹片；13、基底；14、支撑部；15、盖体；611"、第一驱动部；612"、第二驱动部；13"、基底；62"、柔性连接梁；50"、连接柱；61"驱动组件。【具体实施方式】下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。需要说明的是，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、内、外、顶部、底部……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。还需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件上时，该元件可以直接在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被称为“连接”另一个元件，它可以是直接连接另一个元件或者可能同时存在居中元件。实施例一：请参阅图1-图5，依照本技术实施例提供的一种MEMS扬声器100，包括设有收容腔11的基座10和依次设于收容腔11中的活塞膜20、传动件30、柔性导向机构40、连接柱50以及驱动机构60，基座10的内壁12围成该收容腔11，连接柱50连接于柔性导向机构40和驱动机构60之间，传动件30夹设于柔性导向机构40与活塞膜20之间，且活塞膜20与内壁12间隔设置，柔性导向机构40包括嵌设于基座10的固定部41、悬置于收容腔11中的耦合连接部42以及连接在固定部41与耦合连接部42之间的弹性支撑件43，耦合连接部42用于驱动活塞膜20运动并与内壁12间隔设置，驱动机构60与内壁12固定连接。本实施例中，连接柱50连接在柔性导向机构40的耦合连接部42与驱动机构60之间，传动件30夹设于活塞膜20与耦合连接部42之间，当驱动机构60振动时，会通过连接柱50带动柔性导向机构40运动，进而带动传动件30和活塞膜20进行活塞运动，同时柔性导向机构40的耦合连接部42与驱动机构60相耦合，因此耦合连接部42本身也能驱动活塞膜20运动，因此，通过柔性导向机构40和驱动机构60同时驱动活塞膜20运动，增大了活塞膜20的振幅，使活塞膜20可以在单位时间排开更多体积的空气，从而提高MEMS扬声器100的声音输出。而且耦合连接部42和活塞膜20都与内壁12间隔设置，可避免基座10影响耦合连接部42和活塞膜20运动的问题。本实施例中，由于固定部41与耦合连接部42之间连接有弹性支撑件43，该弹性支撑件43会对活塞膜20在沿收容腔11的轴向和垂直于该轴向的方向起到限位作用，从而提升了MEMS扬声器100的防跌落和防冲击性能。优选地，固定部41、耦合连接部42以及弹本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS扬声器，其特征在于，包括：/n贯穿开设有收容腔的基座，所述基座的内壁围成所述收容腔；以及/n依次设于所述收容腔中的活塞膜、传动件、柔性导向机构、连接柱以及驱动机构，所述连接柱连接于所述柔性导向机构与所述驱动机构之间，所述传动件夹设于所述柔性导向机构与所述活塞膜之间，所述活塞膜与所述内壁相间隔，所述柔性导向机构包括嵌设于所述基座的固定部、悬置于所述收容腔内的耦合连接部以及连接在所述固定部与所述耦合连接部之间的弹性支撑件，所述耦合连接部用于驱动所述活塞膜运动并与所述内壁间隔设置，所述驱动机构与所述内壁固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS扬声器，其特征在于，包括：
贯穿开设有收容腔的基座，所述基座的内壁围成所述收容腔；以及
依次设于所述收容腔中的活塞膜、传动件、柔性导向机构、连接柱以及驱动机构，所述连接柱连接于所述柔性导向机构与所述驱动机构之间，所述传动件夹设于所述柔性导向机构与所述活塞膜之间，所述活塞膜与所述内壁相间隔，所述柔性导向机构包括嵌设于所述基座的固定部、悬置于所述收容腔内的耦合连接部以及连接在所述固定部与所述耦合连接部之间的弹性支撑件，所述耦合连接部用于驱动所述活塞膜运动并与所述内壁间隔设置，所述驱动机构与所述内壁固定连接。


2.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动机构包括自所述内壁的相对两侧沿相反方向分别朝对侧延伸且间隔相对设置的驱动组件和连接于相对两所述驱动组件之间的柔性连接梁，所述驱动组件远离所述柔性连接梁的一端与所述基座固定连接，且每个所述驱动组件都通过所述连接柱与所述耦合连接部连接。


3.根据权利要求2所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述柔性连接梁呈长条形或者S形。


4.根据权利要求2所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动组件为压电膜。


5.根据权利要求2所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动组件包括第一驱动部和间隔设于所述第一驱动部两...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱国，程诗阳，但强，李杨，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44