一种压电结构及压电装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种压电结构及压电装置，其中，包括基底、设于所述基底上方的第一导电层以及与所述第一导电层间隔的第二导电层，还包括位于所述基底上方的固定臂以及沿所述固定臂延伸的连接部，所述固定臂包括与所述第一导电层背离所述基底一侧固定连接的第一固定臂、与所述第二导电层背离所述基底一侧固定连接的第二固定臂以及连接所述第一固定臂和所述第二固定臂的悬臂，所述连接部依次沿所述第一固定臂、悬臂及第二固定臂延伸并电连接所述第二导电层和所述第一导电层。本发明专利技术通过设置悬臂，可避免依赖压电薄膜表面设置连接部。

【技术实现步骤摘要】
一种压电结构及压电装置
本专利技术涉及压电式MEMS芯片领域，尤其涉及压电结构。
技术介绍
压电式MEMS装置应用领域越来越广泛，对器件的可靠性要求也越来越高。压电式MEMS装置中的压电MEMS的膜片层一般由单层或者多层压电材料和电极材料组成。请参阅图1及图2，现有的压电式MEMS装置主要是典型的悬臂梁薄膜压电式MEMS装置，包括有效电极100、结构电极200、压电材料300及压电薄膜的固定端400。请参阅图3，典型的压电MEMS薄膜包括多组有效电极部，如图中所示有效电极部A、B、C，有效电极部A、B、C分别包括多层电极以及夹设于电极之间的压电材料，且各个有效电极部的对应层的压电材料一体设置。每个有效电极部的不同电极层之间以及各个有效电极部的电极之间通过电极连接体40电连接，并最终通过金线60将压电信号输出，具体的，每个有效电极部设有连通不同电极层的电极连接孔，电极连接体40的一部分设于电极连接孔的孔壁以电连接每个有效电极部不同层的电极，电极连接体的另一部分设于薄膜表面以电连接各个相邻的有效电极部的电极。但，在某些情形下，为避免本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电结构，包括基底、设于所述基底上方的第一导电层以及与所述第一导电层间隔的第二导电层，其特征在于，还包括位于所述基底上方的固定臂以及沿所述固定臂延伸的连接部，所述固定臂包括与所述第一导电层背离所述基底一侧固定连接的第一固定臂、与所述第二导电层背离所述基底一侧固定连接的第二固定臂以及连接所述第一固定臂和所述第二固定臂的悬臂，所述连接部依次沿所述第一固定臂、悬臂及第二固定臂延伸并电连接所述第二导电层和所述第一导电层。/n

【技术特征摘要】
1.一种压电结构，包括基底、设于所述基底上方的第一导电层以及与所述第一导电层间隔的第二导电层，其特征在于，还包括位于所述基底上方的固定臂以及沿所述固定臂延伸的连接部，所述固定臂包括与所述第一导电层背离所述基底一侧固定连接的第一固定臂、与所述第二导电层背离所述基底一侧固定连接的第二固定臂以及连接所述第一固定臂和所述第二固定臂的悬臂，所述连接部依次沿所述第一固定臂、悬臂及第二固定臂延伸并电连接所述第二导电层和所述第一导电层。


2.根据权利要求1所述的压电结构，其特征在于，所述连接部至少部分设置于所述固定臂的表面。


3.根据权利要求1所述的压电结构，其特征在于，所述连接部埋设于所述固定臂内。


4.根据权利要求1所述的压电结构，其特征在于，所述压电结构包括设于所述基底上方的第一电极部，所述第一电极部包括间隔且叠层设置的若干电极层，所述压电结构还包括设于所述第一电极部的各电极层...

【专利技术属性】
技术研发人员：段炼，张睿，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44