【技术实现步骤摘要】
一种MEMS麦克风
本专利技术涉及麦克风，尤其涉及到一种MEMS麦克风。
技术介绍
对于MEMS麦克风来说，一般包括基底以及设于基底上的电容系统，电容系统包括振膜和与所述振膜间隔设置并与振膜形成空腔的背板，所述背板设有电极层。当MEMS麦克风通电工作时，背板和振膜分别带有极性相反的电荷；此时，振膜在声波的作用下振动，使得振膜与背板之间的距离发生变化导致电容系统中的电容发生变化，使得声波转换为了电信号，实现麦克风的相应功能。由于基底的存在，如图1所示，声波从背腔进入振膜使得振膜在声波的作用下振动时，振膜周缘的部分由于不会接触到声波，振膜周缘部分不会振动，此时与振膜周缘部分背板之间的距离并不会发生变化，但是这部分背板中也设有电极层，当振膜在声波的作用下振动时，该部分背板中的电极层会形成寄生电容，影像电容系统中电容的编号，影像MEMS麦克风的相应功能。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种MEMS麦克风，其能够解决现有技术中MEMS麦克风中处于背板边缘区域的电极层容易产生寄生电容的问题。
【技术保护点】
1.一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括振膜和与所述振膜间隔设置并与所述振膜形成空腔的背板，所述背板设有电极层；其特征在于，所述背板上设有隔离槽，所述隔离槽使得电极层分隔为位于中间的感应电极以及环绕所述感应电极的浮动电极。/n
【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括振膜和与所述振膜间隔设置并与所述振膜形成空腔的背板，所述背板设有电极层；其特征在于，所述背板上设有隔离槽，所述隔离槽使得电极层分隔为位于中间的感应电极以及环绕所述感应电极的浮动电极。
2.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述背板包括依次叠设的第一绝缘层、电极层以及第二绝缘层，所述第二绝缘层与所述振膜相对设置。
3.根据权利要求2所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述第一绝缘层的周缘呈台阶状，并与所述基底连接。
4.根据权利要求3所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述背板还设有覆盖所述第一绝缘层的周缘的金属层。
5.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述背板与振膜之间设有支撑架，所述支撑架为中空的环状结构；所述支撑架的一端与所述背板连接、另一端与所述振膜连接；所述支...
【专利技术属性】
技术研发人员：王琳琳，钟晓辉，张睿，孟珍奎，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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