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本发明提供了一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括振膜和与所述振膜间隔设置并与所述振膜形成空腔的背板，所述背板设有电极层；所述背板上设有隔离槽，所述隔离槽使得电极层分隔为位于中...
该专利属于瑞声声学科技(深圳)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技(深圳)有限公司授权不得商用。

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