本申请涉及麦克风技术领域，尤其涉及一种光学麦克风，包括光学麦克风包括壳体、光电模块、微机电模块和集成电路模块；壳体具有内腔以及将内腔与外界导通的进声口；光电模块设置于内腔，包括光线发生器模块和光线检测器模块；微机电模块设置于内腔并盖合进...

本发明提供了一种MEMS麦克风。本发明的MEMS麦克风，包括具有封装腔体的壳体以及MEMS芯片和ASIC芯片，所述MEMS麦克风还包括覆盖于所述声学通孔的导电防尘网、与所述导电防尘网固定连接的第一接地焊盘以及设置于所述基板外表面且与外部...

本发明涉及压电换能器领域，提供了一种换能器，所述换能器包括第一晶圆和第二晶圆，所述第一晶圆和第二晶圆均包括基底、固定在所述基底一侧的第一氧化物层、固定在所述基底另一侧的金属层、以及在所述第一氧化物层上依次沉积形成的氮化硅层、第一电极、压...

本发明提供了一种制作MEMS驱动器的方法，所述制作MEMS驱动器的方法包括：提供一晶圆基片，具有第一氧化物层以及分别沉积于所述第一氧化物层相对表面的第一硅层和第二硅层；在所述第二硅层的表面沉积形成第二氧化物层后，对所述第一硅层进行元素掺...

本发明提供了电容式麦克风，包括定支撑、振动部和连接在振动部与定支撑之间并支撑振动部的弹性连接部；定支撑开设有收容部；振动部悬置并支撑于收容部内；定支撑包括环绕收容部的固定部和定电极，振动部包括支撑部和动电极，定电极和动电极均为梳齿状排布...

本发明提供一种小型且焦点调节及手抖校正良好的透镜驱动装置。透镜驱动装置具备：壳体(10)，其包括具有电路基板的固定用基座(13)以及形成收容空间的盖(12)；弹簧片(50)，其连接透镜模块(30)和支承框架(20)；支承部件(40)，其...

本发明提供了一种高精度陀螺仪，包括呈矩形结构的基座、设置于基座顶面的传感单元，以及位于与传感单元相同层面的多个锚块，多个锚块环绕传感单元间隔设置，所述锚块通过绝缘层将传感单元固定于基座上；传感单元包括：质量块、分别环设于所述质量块的四周...

本实用新型提供了振动传感器和音频设备，振动传感器包括具有内壁的腔体以及设于所述腔体内的弹性片、质量片和具有背腔的MEMS芯片，所述弹性片贴设于所述内壁上，所述质量片安装于所述弹性片背离所述内壁的侧面上，所述MEMS芯片安装于所述质量片背...

本实用新型提供了振动传感器和音频设备，振动传感器包括带侧壁的腔体、安装于所述侧壁的弹性膜及具有背腔的MEMS芯片，所述MEMS芯片收容于所述腔体内并安装于弹性膜上，所述侧壁包括与所述弹性膜贴合的侧面，所述侧面向远离所述MEMS芯片方向凹...

光学装置、照相机及便携式电子设备。在具备安装于透镜上的空间内的叶片的叶片驱动装置中，通过共用透镜驱动装置和供电部，能够实现搭载的装置整体的紧凑化和组装简易化。叶片驱动装置具备：一个或多个叶片；基座部件，其支承叶片；杆部件，其转动自如地轴...

本实用新型公开了一种骨传导MEMS麦克风和移动终端，所述骨传导MEMS麦克风包括：具有背腔的MEMS麦克风芯片、质量块、外壳和线路板，所述MEMS麦克风芯片和所述外壳设置在所述线路板的同一侧，所述外壳和所述线路板形成密封的腔体，所述ME...

本发明提供一种压电式MEMS麦克风，包括具有腔体的基底、安装在基底上的压电振膜、以及连接基底和压电振膜的约束件，基底包括围设成腔体的环形底座、设于腔体内并与环形底座间隔设置的支撑柱，压电振膜包括多个膜片，每一膜片包括与支撑柱连接的固定端...

本发明涉及叶片驱动装置、照相机以及便携式电子设备。本发明的课题在于在具备安装于镜头上或者镜头中的空间的叶片的光学装置中，通过在驱动部使用形状记忆合金，使得能够实现所搭载的装置整体的小型化和轻量化、驱动的简化、组装的简化。叶片驱动装置(1...

本发明提供一种压电式MEMS麦克风，包括具有腔体的基底、安装于基底上的压电振膜以及罩设于压电振膜外的限位件，基底包括环形底座、设于环形底座内侧并与环形底座间隔设置的支撑柱，压电振膜包括多个膜片，每个膜片包括与支撑柱连接的固定端和悬置于腔...

本发明提供一种压电式MEMS麦克风，包括具有腔体的基底和设置在基底上的压电振膜，基底包括环形底座以及设于环形底座内侧并与环形底座间隔设置的支撑柱，压电振膜包括多个沿支撑柱周向间隔设置的膜片，每一膜片包括与支撑柱连接的固定端和悬置于腔体上...

本发明的目的在于，提供一种光学元件驱动装置，其通过搭载安全机构，使得不会向形状记忆合金施加引起破坏的力。本发明的光学元件驱动装置具备：固定部件，其成为基座；初始位置，相对于所述固定部件中立；可动部件，其能够相对于所述初始位置向相互反转的...

照相机用透镜驱动装置。本发明提供一种透镜驱动装置。能够在与光轴平行的方向上移动的透镜驱动装置(80)配置在能够在与光轴正交的平面内移动的透镜驱动装置(170)上，并收容在壳体(160)内，透镜驱动装置(80)具备固定用基座(10)、支承...

本发明提供一种小型且焦点调节及手抖校正良好的透镜驱动装置。透镜驱动装置具备：壳体(10)，其包括具有电路基板的固定用基座(13)以及形成收容空间的盖(12)；弹簧片(50)，其连接透镜模块(30)和支承框架(20)；支承部件(40)，其...

本发明提供一种在近红外光下具有良好的光学特性且具有明亮的F值的由6片透镜构成的摄像镜头。该摄像镜头从物侧起依次配置有具有正屈折力的第一透镜、具有负屈折力的第二透镜、具有正屈折力的第三透镜、具有正屈折力的第四透镜、具有负屈折力的第五透镜以...

本发明提供具有良好的光学特性且具有明亮的F值、广角、由6片透镜构成的摄像镜头。该摄像镜头从物侧起依次配置有具有负屈折力的第一透镜、具有正屈折力的第二透镜、具有正屈折力的第三透镜、具有负屈折力的第四透镜、具有正屈折力的第五透镜、具有负屈折...