骨传导MEMS麦克风和移动终端制造技术

本实用新型专利技术公开了一种骨传导MEMS麦克风和移动终端，所述骨传导MEMS麦克风包括：具有背腔的MEMS麦克风芯片、质量块、外壳和线路板，所述MEMS麦克风芯片和所述外壳设置在所述线路板的同一侧，所述外壳和所述线路板形成密封的腔体，所述MEMS麦克风芯片位于所述腔体内，所述MEMS麦克风芯片包括相对设置的背板和膜片，所述质量块固定于所述膜片，通过将腔体设计成无声孔的密封腔体，隔绝空气传声，在MEMS麦克风芯片的膜片上固定质量块，通过骨头传播的声音的振动信号使质量块振动，实现了将声音转化为不同频率的机械振动，在嘈杂的环境中实现清晰的声音还原，避免空气传播声音所产生的噪声干扰，提高了传导的声音的质量。

Bone conduction MEMS microphone and mobile terminal

【技术实现步骤摘要】
骨传导MEMS麦克风和移动终端
本技术涉及微机电系统
，尤其涉及一种骨传导MEMS麦克风和移动终端。
技术介绍
微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS)麦克风是基于MEMS技术制造的声电换能器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点，是移动终端必不可少的器件之一。一般的，MEMS麦克风产品中包含基于电容检测的MEMS芯片和ASIC芯片，MEMS芯片的电容会随着输入声音信号的不同产生相应的变化，再利用ASIC芯片对变化的电容信号进行处理和输出从而实现对声音的拾取。MEMS芯片通常包括具有背腔的基底、在基底上方设置的由背极板和振膜构成的平行板电容器，振膜接收外界的声音信号并发生振动，从而使平行板电容器产生一个变化的电信号，实现声电转换功能。现有的骨传导麦克风是在传统的MEMS麦克风基础上增设一振动结构件，实现将声音转化为不同频率的机械振动，占据较大的空间，不利于实现产品的小型化。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种骨传导MEMS麦克风和移动终端，用于解决现有的骨传导本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种骨传导MEMS麦克风，其特征在于，包括：具有背腔的MEMS麦克风芯片、质量块、外壳和线路板；/n所述MEMS麦克风芯片和所述外壳设置在所述线路板的同一侧，所述外壳和所述线路板形成密封的腔体，所述MEMS麦克风芯片位于所述腔体内；/n所述MEMS麦克风芯片包括相对设置的背板和膜片，所述质量块固定于所述膜片。/n

【技术特征摘要】
20190630 CN PCT/CN2019/0940631.一种骨传导MEMS麦克风，其特征在于，包括：具有背腔的MEMS麦克风芯片、质量块、外壳和线路板；
所述MEMS麦克风芯片和所述外壳设置在所述线路板的同一侧，所述外壳和所述线路板形成密封的腔体，所述MEMS麦克风芯片位于所述腔体内；
所述MEMS麦克风芯片包括相对设置的背板和膜片，所述质量块固定于所述膜片。


2.根据权利要求1所述的骨传导MEMS麦克风，其特征在于，所述质量块的中心点与所述膜片的中心点的连线垂直于所述膜片的振动方向。


3.根据权利要求1所述的骨传导MEMS麦克风，其特征在于，所述质量块为多个，多个所述质量块沿所述膜片的中心呈中心对称结构。


4.根据权利要求1至3任一项所述的骨传导MEMS麦克风，其特征在于，所述质量块采用半导体工艺或粘接工艺附着于所述MEMS麦克...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾鹏，王天娇，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44