本发明提供一种剥离强度很大的印刷基板，并且提供可缩短制造时间及降低制造成本的印刷基板的制造方法与印刷基板加工机。印刷基板的制造方法如下：在表面为绝缘层的印刷基板的表面上形成抗蚀剂层；再从抗蚀剂层的表面侧向与内层导体图形连接的位置（第１位...

本发明的课题在于提高工件的加工精度。根据本发明，工件加工机具备：对所加工的打印基板（Ｐ）进行支承的移动自如的工作台（９）、利用来自形成于打印基板（Ｐ）的对准标记（１８）的反射光来检测打印基板（Ｐ）的位置的照相机（２０），还具备夹具板（１...

本发明提供能够使重复照射激光的重复区域的槽底的深度与其它区域的槽底的深度大约一致的印制电路板的激光加工方法。在预先固定将与中心轴成直角的方向的截面做成一边比另一边足够大的矩形的激光（４），重复进行在沿与激光（４）的短边平行的方向（Ｘ方向...

本发明涉及一种印刷基板的制造方法以及印刷基板，在该多层印刷基板上预先设置用于检测内层深度的至少一部分不互相重叠的多个测试模板层（３，４）和表面导体层（２），在对表面导体层（２）与测试模板层（３，４）之间施加电压后，首先，向着所选择的测试...

一种摇动制动器以及激光加工装置，可以抑制移动磁体制动器中的永磁体的温度上升。即使通过快速和持续动作定位了可操控镜，也可以不降低加工吞吐量或者孔位置精度地进行高度可靠的加工。提供用于冷却外壳的冷却套管和与线圈和外壳接触的传热单元。线圈中生...

要提供可以迅速进行反射镜的定位、可以提高加工速度的扫描装置。在配备有伺服控制装置２、检测支撑检流反射镜１２的旋转轴１３的旋转角度、通过对针对被检测出的检测值的指令值的偏差由积分补偿器２４进行积分后让检测值追踪指令值的扫描装置中，与积分补...

在气体激光器系统的操作期间，特别是通过使用ＣＯ２激光器，在工作阶段（ＡＰＨ１、ＡＰＨ２、ＡＰＨ３）中将相应的预定脉冲序列（ＬＰＦ１、ＬＰＦ２、ＬＰＦ３）偏转到基片的特定加工点，然后在转移阶段（ＳＰＨ１、ＳＰＨ２）中将激光器偏转调整到下一...

本发明提供了一种包括激光谐振器的激光源（１１０），激光谐振器的长度可以用光束切换单元（１１３）改变，使得所发射的激光辐射的脉冲持续时间可以根据相应设置的谐振器长度调整。光束切换单元（１１３）可以用机械式反光镜系统（２１３）实现。光束切换...

一种曝光装置，特征在于包括照明光学系统和投影光学系统，该明光学系统具有：把分开的多个光源以一维或二维排列的光源阵列；使从该光源阵列的各光源射出的光聚光的聚光光学系统；在空间上分解由该聚光光学系统聚光的光来生成多个疑似二次光源的、由棒状透...

本发明的目的是提供一种通过方向性高的照明光可高效进行无掩模曝光的无掩模曝光方法及无掩模曝光装置，同时，提供一种可使阻焊膜的曝光效率提高的无掩模曝光方法及无掩模曝光装置。设有出射波长为４０５ｎｍ的激光（１ａ）的蓝紫半导体激光器（１２Ａ）和...

本发明提供曝光装置以及曝光方法和布线基板的制造方法，以高生产率、且低成本来实现基于曝光图形数据的、高精度的图形形成，所述曝光装置具有：第１照射源光学系统，在使用了２维光调制元件的无掩模曝光技术中，用于根据曝光图形数据进行描绘；第２照射源...

本发明涉及激光加工装置。本发明提供一种可高精度地将掩模图案投影在被加工件上且加工精度优良的激光加工装置。本发明的激光加工装置设有内装有观察形成于被加工件（３２０）表面的对准标记的电视摄像机（３５１），并能测定投影透镜（３１０）的焦距的自...

一种多轴激光加工机，具备：输出激光的一个激光振荡器、将上述激光的光路切换到多个方向的偏转装置、分别配置在上述多个光路中的与上述光路数目相同的激光定位装置，其将上述激光供给上述激光定位装置的任何一个并进行加工，其特征在于，　　　　还具备调...

本发明的目的在于提供一种即使在加工台的表面存在１０～３０μｍ程度的凸凹时，也可以缩短测定工件表面高度的时间、使加工效率提高的开孔加工方法以及激光加工机。预先格状地测定放置工件（２０）的Ｘ－Ｙ加工台（６）表面的高度。在加工之前，对放置在Ｘ...

本发明提供一种印刷电路板加工机，其即使在工件上加工字符的场合也能够提高加工效率。设置把构成字符串的各字符的点ｄ的中心坐标变换为加工孔的加工坐标系的坐标的坐标变换单元，在加工前，根据在加工程序中所记载的字符串以及该字符串的位置信息，把构成...

本发明提供一种不管感光材料的种类如何都能够高精度地决定背面侧相对于表面侧的位置的激光直描装置以及描画方法。本发明的激光直描装置，使激光束（５ａ）偏向主扫描方向（Ｘ轴方向）的同时使载置于工作台（１２）上的被描画体（１０）向副扫描方向（Ｙ轴...

本发明提供一种能够将各种灵敏度的感光材料进行曝光并且能够根据工件的变形来修正描画位置的激光直描装置。该激光直描装置使基于光栅数据调制的激光束（５ａ）通过圆柱形透镜（９）向副扫描方向聚光的同时偏向主扫描方向，并且使被描画体（１０）向副扫描...

本发明提供工件上有弯曲和厚度不均时、也能够在工件表面上曝光均匀宽度的图案的无掩模曝光装置。设置板厚方向一面相对于板厚方向另一面是角度为θ的倾斜面的第１和第２两个楔形玻璃（７１７、７２７），和使楔形玻璃（７１７、７２７）中至少一个移动的移...

本发明是一种图案形成方法，包括以下工序：在基板上成形成对由无掩模直接描画曝光装置照射的主波长的ｈ线灵敏度低、对含有紫外光的能线灵敏度高的第一感光性材料的膜的工序；在上述第一感光性材料上形成对上述主波长的ｈ线灵敏度高的第二感光性材料的工序...

本发明提供一种生产周期短且廉价的装置、并且不要运行成本的图形曝光方法以及图形曝光装置。对于从多个半导体激光器分别出射的多束激光１ａ的出射端（５），一个配置在与多边形镜子（２７）的扫描方向相同的方向，另一个配置在与多边形镜子（２７）的扫描...