【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及均匀而高效地把照明光照射到被照明区域上的照明方法和使用该照明方法的曝光方法，另外，本专利技术还涉及使用该曝光方法曝光图形的曝光装置。特别是涉及使用多个半导体激光器的照明方法、曝光方法和曝光装置。
技术介绍
以往，对被照明物体进行照明，或为了对被曝光物体进行曝光而以水银灯为光源，或使用激元激光器。这些光源为了驱动而投入的能量绝大部分变成了热量，是效率非常低的光源。近年来，半导体激光器(LD)的短波长化取得进展，出现了400nm左右发光波长的LD，因此出现了能代替水银灯的用于曝光的光源的可能性。但一个LD的输出是有限的，所以不得不使用多个LD。但即使排列多个LD来把从各个光源射出的光均匀地照射到被照明物体上，也会因为从各个光源射出的光的指向性接近于高斯分布而呈现照射区的中心附近强而周边变弱的状态。另外，虽然在垂直于LD的主射出光线的方向之内，一个方向的发散角很小，但是与此垂直的方向的发散角变大，该发散角之比为从1∶3至1∶4左右。所以把这种来自各LD的光均匀而高效地照射到想要照射的被照明区域是不可能的。即产生了如果要均匀地进行照明，则效率降低，如果要...
【技术保护点】
一种照明方法，其特征在于，使光从以一维或二维分开排列的多个光源中分别射出，利用光学积分器在空间上分解从该多个光源分别射出的光来生成多个疑似二次光源，利用聚光透镜使来自该生成的多个疑似二次光源的光叠加在一起来照明被照明区域。
【技术特征摘要】
JP 2002-7-3 195086/20021.一种照明方法，其特征在于，使光从以一维或二维分开排列的多个光源中分别射出，利用光学积分器在空间上分解从该多个光源分别射出的光来生成多个疑似二次光源，利用聚光透镜使来自该生成的多个疑似二次光源的光叠加在一起来照明被照明区域。2.如权利要求1所述的照明方法，其特征在于，把排列着上述多个光源的区域或从上述多个光源得到的二次光源的发光区域设置成与上述被照明区域的形状相似。3.如权利要求1所述的照明方法，其特征在于，上述光源是半导体激光器光源。4.如权利要求1所述的照明方法，其特征在于，上述光学积分器由多个棒状透镜的排列而构成，各棒状透镜的垂直于光轴的剖面形状的纵横比r1与上述被照明区域的纵横比r0之比r1/r0为大于或等于0.8且小于或等于1.2。5.如权利要求1所述的照明方法，其特征在于，入射到上述光学积分器的光或从上述光学积分器射出的光通过使波面变化的调制器。6.如权利要求1所述的照明方法，其特征在于，把从上述多个光源分别射出的光束中的发散角调整为向着垂直于该射出光束的光轴的面，对面内任意的两个方向为1比1.5以内。7.如权利要求1所述的照明方法，其特征在于，控制从上述光源射出的光的能量。8.如权利要求1所述的照明方法，其特征在于，利用聚光光学系统使从上述多个光源或二次光源射出的各个出射光入射到上述光学积分器上的对应的位置上。9.一种照明方法，其特征在于，使从以一维或二维分开排列的多个光源分别射出的光对被照明区域进行照明，以使被照明区域内的照度不均匀为±10％以内，从上述各光源发出的光的能量的30％以上到达被照明区域内。10.一种曝光方法，其特征在于，从以一维或二维分开排列的多个光源分别射出，利用光学积分器在空间上分解从该多个光源分别射出的光来生成多个疑似二次光源，利用聚光透镜使来自该生成的多个疑似二次光源的光叠加在一起来照明具有应该曝光的图形的被照明区域，利用投影光学系统把透射或者反射了该经照明的应该曝光的图形的光投影、曝光到被曝光物上的被曝光区上。11.如权利要求10所述的曝光方法，其特征在于，把排列着上述多个光源的区域或从上述多个光源得到的二次光源的发光区域设置成与上述被照明区域的形状相似。12.如权利要求10所述的曝光方法，其特征在于，上述光源是半...
【专利技术属性】
技术研发人员：押田良忠，丸山重信，小林和夫，内藤芳达，大坂义久，
申请(专利权)人：日立比亚机械股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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