激光直描装置以及描画方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种不管感光材料的种类如何都能够高精度地决定背面侧相对于表面侧的位置的激光直描装置以及描画方法。本发明专利技术的激光直描装置，使激光束（５ａ）偏向主扫描方向（Ｘ轴方向）的同时使载置于工作台（１２）上的被描画体（１０）向副扫描方向（Ｙ轴方向）移动而将图形描画到被描画体（１０）的表面上，以前端从工作台（１２）的表面仅突出预定的距离（ｇ）的方式将中空销（２０）配置在工作台（１２）上，通过使被描画体（１０）吸附在工作台（１２）上而在被描画体（１０）的背面上形成有底的凹部（中空销２０的前端轨迹）。并且在背面上描画图形时以凹部为基准进行描画。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使基于光栅数据调制的激光束偏向主扫描方向的同时，使被描 画体向副扫描方向移动，从而将所期望的图形描画到被描画体上的激光直描装置(LDI: Laser Direct Imaging (激光直接成像))以及描画方法。
技术介绍
在激光直描装置中，将设计回路图形时的CAD转换成向量数据格式并算 出轮廓线后，再转换成描画用光栅数据，求出激光的ON/OFF像素，并对ON 像素照射激光。图7是现有的激光直描装置的构成图。激光源1搭载在光学基座16上。光学基座16配置在机架18上的支柱17 上。从激光源1输出的激光束5通过反射镜2、扩展器3入射到音响光学元件(以下称为"AOM")4。用AOM调制后的激光束5a利用多角镜6偏向并入 射到f 0透镜7，透过f 0透镜7的激光束5a利用折回反射镜8偏向图的下方 并入射到圆柱形透镜9。然后，透过圓柱形透镜9的激光束5a入射到被描画 体10而使被描画体10上的干膜光刻胶(以下称为"DFR")或光刻胶等感光。 此时，搭载了被描画体10的工作台12向副扫描方向(图中的Y方向)等速 移动。线性马达14使工作台12移动。 一对导向件13对工作台12进行引导。 在工作台12的上方配置有摄像机60。摄像机60载置于省略了图示的移动装 置上，在X轴方向自由定位。摄像机60与省略了图示的图像处理装置连接， 用于例如为了对描画位置定位而拍摄在被描画体10的表面上配置的对准标记(专利文献l: WO 02/39794号公报)。图8是表示开始传感器的位置的图，(a)是从图7中的X轴方向观察到 的图，(b)是从图7中的Y轴方向观察到的图。在圆柱形透镜9的在图7中的左端侧的下方配置有反射镜11,在反射镜 11的反射侧配置有开始传感器15。并且，为了使每行的扫描开始位置一致，主扫描方向的一次扫描的描画在开始传感器15检测用反射镜11反射的激光束5a后经规定时间后开始(图示的场合，检测位置和描画开始位置的距离为 10mm)。这样可使每行的扫描开始位置一致。然而，在对印刷基板进行加工的场合，确定以预先在基板的表面上设置的 对准标记为基准的X Y坐标轴后再进行加工。以^吏该X Y坐标轴的各轴分别 与激光直描装置的驱动系统的X Y轴的各轴平行的方式将印刷基板固定在工 作台上是非常困难的。于是，在工作台12上设有省略了图示的旋转机构，通 过使被描画体10旋转，能够使被描画体10的XY坐标轴与激光直描装置的驱 动系统的XY坐标轴平行。所谓的多层基板的制作方法虽然有多种，但是在销钉定位层压或成批层压 法中，将配置了导体层的两面基板通过绝缘层而层叠在绝缘层的两侧。要提高 作为多层基板的产品的可靠性，需要对配置在两面基板的表背面上的图形进行 准确定位。于是，出现了以下技术在两面基板的导体层的表面上涂敷光刻胶等感光 性材料的场合，在背面侧设置曝光机构，在对表面侧进行曝光时，在背面侧使 对准标记曝光，在对背面侧进行曝光时，基于已被曝光的对准标记的位置对背 面侧进行加工(专利文献1)。根据该技术，能够相对于配置在表面侧的图形 高精度地确定配置在背面侧的图形。但是，由于只能进行曝光而不能进行显影，所以存在不能通过感光材料识 别对准标记的情况。为了识别对准标记而使印刷基板显影或仅使曝光的附近局 部地显影，将增加作业工序，所以不能釆用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于解决上述问题，提供一种不管感光材料的种类如何都能 够高精度地确定背面侧相对于表面侧的位置的。为了解决上述问题，本专利技术的第一方案的激光直描装置，使激光束偏向主 扫描方向的同时使载置于工作台上的被描画体向副扫描方向移动而将图形描 画到上述被描画体的表面上，其特征在于，在上述工作台上设置在上述被描画体的背面形成有底凹部的凹部形成机构。另外，本专利技术的第二方案的描画方法，使激光束偏向主扫描方向的同时使载置于工作台上的被描画体向副扫描方向移动而将图形描画到上述被描画体的表面和背面上，其特征在于，通过下述a e的工序描画图形。a. 将被描画体载置于工作台上的工序。b. 在被描画体的表面上描画图形并且在背面的预定位置上形成有底的凹 部的工序。c. 将被描画体的表背面反转并载置于工作台上的工序。d. 基于凹部的位置决定表面的坐标系，并在被描画体的背面上描画图形 的工序。e. 从工作台卸下被描画体的工序。 本专利技术的效果如下。不管感光材料的种类如何都能够知道对准标记的位置，从而能够高精度地 确定背面侧相对于表面侧的位置。其结果可提高作为多层基板的产品的可靠性 以及产品的成品率。 附图说明图l是涉及本专利技术的激光直描装置的工作台的构成图。 图2是干膜的构成说明图。图3是涉及本专利技术的被描画体相对于工作台的配置说明图。 图4是涉及本专利技术的其他实施方式的图。 图5是表示中空销的变形例的图。图6是表示本专利技术的另一个实施方式的工作台的俯视图。 图7是现有的激光直描装置的构成图。 图8是表示开始传感器的位置的图。 图中5a—激光束，IO—被描画体，12—工作台，20—中空销，g—距离(突出 距离)。具体实施例方式以下参照附图对本专利技术进行说明。图l是涉及本专利技术的激光直描装置的工作台的构成图，(a)俯视图，(b) 是侧剖视图，(c)是(b)中的S部放大剖视图，与图7相同的部件或相同功能的部件附注同一符号而省略重复说明。在工作台12的表面上，格子状地配置有与内部的中空部18连接的多个吸 附口 22。中空部18通过接头45而与省略了图示的真空装置连接。还有，中 空部18通过省略了图示的隔壁而分为三个区域。接头45设置在每个区域，能 够向每个区域供给负压。在工作台12的表面上配置有用于对被描画体10进行 定位的三才艮定位销21a 21c。定位销21a和定位销21b其剖面为圓形，定位销 21a和定位销21b的切线与X轴平^\剖面为环状的四#>中空销20 (20a 20d)其中心与X轴平^f亍，而且内径部 分别与中空部18连通地固定在工作台12上。如图1 (c)所示，中空销20的 前端的内侧面朝向前端侧形成宽阔的倾斜面，前端成为边棱状。中空销20a 20d 从工作台12的表面突出距离g (这里为10 50nm)。还有，中空销20a 20d 是被描画体10的图形配置区域。这里，对被描画体10进行说明。被描画体10包括导体50、以导体50为中心分别配置(粘着)在表面 和背面的感光性光刻胶51、以及配置(粘着)在感光性光刻胶51的外侧的载 体膜52。如图2所示，感光性光刻胶51作为在一方的外面例如配置有材质为 聚酯的载体膜52、在另一方的外面配置有材质为聚乙烯的覆盖膜53的干膜来 保管，在将感光性光刻胶51配置在导体50上时，覆盖膜53被去除(被剥离)。其次，说明本专利技术的步骤。这里，假设被描画体10是外形为长方形。步骤l:将被描画体10载置于工作台12上。此时，以使被描画体10的 两边与定位销21a 21c相接的方式配置。步骤2:使真空装置工作而将被描画体10吸附在工作台12上。通过吸附， 被描画体10按压工作台12，在载体膜52的表面(或者是载体膜52和感光性 光刻胶51的表面)形成有中空销20a 20d引起的压痕(这里，在俯视时为圆 环状、在厚度方向为V形。而且，通过真空装置的吸引力，既有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光直描装置，使激光束偏向主扫描方向的同时使载置于工作台上的被描画体向副扫描方向移动而将图形描画到上述被描画体的表面上，其特征在于，　在上述工作台上设置在上述被描画体的背面形成有底凹部的凹部形成机构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：内藤芳达，铃木光弘，加藤友嗣，
申请(专利权)人：日立比亚机械股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]