一种曝光装置，特征在于包括照明光学系统和投影光学系统，该照明光学系统具有：把分开的多个光源以一维或二维排列的光源阵列；使从该光源阵列的各光源射出的光聚光的聚光光学系统；在空间上分解由该聚光光学系统聚光的光来生成多个疑似二次光源的、由棒状...

本发明提供一种加工及使用容易且可使光束的平行度优良的光束的轴间间距转换装置及曝光位置精度优良的基板曝光装置。本发明的技术方案是，使ｘｙ方向的断面为平行四边形的四角柱的平行玻璃（１４１８）和ｘｙ方向的断面为平行四边形的四角柱且在与ｘｙ方向...

本发明提供即使在使二维光空间调制器的光调制面的横Ｈｘ和纵Ｈｙ（其中，纵向为曝光基板的移动方向）之比Ｈｘ／Ｈｙ为例如１．５以上的情况下也可进行品质优良的曝光且可提高作业速度的照明装置及曝光装置。使将来自积分器（１３）的出射光导向二维光空间...

本发明提供一种绘图装置，它可迅速作成曝光图形。该绘图装置设有：光栅转换处理单元，其将作为矢量图像的布线图形转换为位图图像；图像超高速缓冲存储单元，其临时存储从光栅转换处理单元输入的预定大小的超高速缓冲存储图像；第１压缩单元，其压缩存储到...

本发明提供一种转换装置，用于选择性地将线性偏振的输入激光光束（１１０ａ）转换成第一输出激光光束（１３０ａ）或第二输出激光光束（１６０ａ）。该转换装置包括初级光学转换元件，其具有用于有目的地旋转输入激光光束（１１０ａ）的偏振方向的初级光学...

提供了用于维持准直光束的希望位置的设备和方法。光学系统包括可移动地安置在射束路径中的一个或多个无源光学元件。射束位置对无源光学元件中的至少一个的移动敏感。射束的实际位置被检测并和希望的射束位置比较。生成误差信号，并且作为对无源光学元件中...

本发明提供用于选择性地引导输入激光束（１１０）至第一输出激光束（１４０ａ）和／或至第二输出激光束（１４０ｂ）的装置，包括射束分裂元件（１１５），用于空间地分裂输入激光束（１１０）为第一部分束（１２０ａ）和第二部分束（１２０ｂ）；射束叠加...

一种加工材料的装置，包括产生激光束（１１）的激光源（１）；偏转单元，该偏转单元设置在激光束（１１）的光程中，并且具有至少两个反射镜（３５，４５），这两个反射镜可以绕彼此成一定角度的反射轴（３８，４８）旋转；以及透镜（５）形式的成像单元。...

一种有利于加工位置和成形方面的精度的激光加工设备。该激光加工设备包括设置在从激光振荡器输出的激光束的基光轴上的光轴调节单元，用于将从激光振荡器输出的激光束调节到工件上。所述激光加工设备还包括以下装置：反射镜，其设置在激光振荡器和光轴调节...

公开了一种用于激光系统中的电流偏转单元（３，４）的反射镜（４２）。所述反射镜（４２）包含一个由金刚石材料制成的反射镜基底（１０），该反射镜基底也可以由较小的金刚石部分结合而成。根据本发明的金刚石基底（１０）与常规的反射镜基底（３２）相比...

本发明的课题在于拓宽激光光能的测量范围。根据本发明，激光能测量装置（３２）具备：设置在激光（２ｂ）的光路中并使上述激光（２ｂ）的光能衰减的滤光器（２１）；对通过上述滤光器（２１）的激光（２ｂ）的光能进行测量的运算部（１９）；以及配设在滤...

一种主轴装置，在具备在一端具有刀具保持机构的主轴，和能够旋转自如地对壳体构件支持该主轴的气体轴承机构的主轴装置中，其特征在于， 在前述主轴上，沿着轴向从前述一端到另一端形成中空部， 在前述壳体构件上，具备至少对前述主轴的径向...

本发明课题在于减少处理工序并能降低产品单价。设有：以频率ｆ输出脉冲状激光的激光振荡器（８）；将激光的外形整形为三角形、四边形或六边形中的任何一种的掩模（１３）；对激光进行时间分支而作成频率为ｆ／Ｎ的Ｎ个激光的Ｎ个时间分支单元（１０）；对...

本发明的一种加工方法，预先确定工具的使用条件和从想要用于加工的工具的使用经历来对该工具的可使用与否进行判定用的界限值，根据所述使用条件进行加工，对所述使用经历到达所述界限值的工具进行调换，在将到达所述界限值之前的过程分割成多个范围的同时...

本发明公开了一种带压脚的主轴装置，该装置在即使利用压缩空气作为压脚的加压手段时，也可以提高其机加工效率。带压脚的主轴装置包括在一基座内可旋转并可沿一轴线移动的转子轴；设在该转子轴一端的一筒夹；一线性马达，其用来移动与该转子轴可旋转地连接...

一种加工方法，其在相互垂直的Ｘ－、Ｙ－和Ｚ－轴方向上定位工件和工具并加工该工件，该方法包括以下步骤：　　　　加工前，相对于与工具轴一致Ｚ轴，在Ｘ轴和Ｙ轴方向上移动该工件；　　　　检查相对于Ｚ轴Ｘ轴和Ｙ轴方向的定位响应性能；及　　　　根据...

在激光加工设备中，工件供应站设置在激光加工设备主体的一边，而工件夹持站设置在激光加工设备主体的另一边。各工件供应站和工件夹持站设置用于垂直地移动工件和使工件在工作台上定位在水平状态的装置。包括设置在其中的工件的储料器设置在工件供应站，而...

本发明涉及用于板状工件的激光加工设备。该激光加工设备安装面积减小并且易于控制。该激光加工设备包括一可沿与从一ｆθ透镜射出的激光束垂直的ＸＹ平面方向移动的Ｙ工作台；一用于保持一进料侧卷的进料卷轴，板状工件在该卷中缠绕成一卷并且该卷能够供给...

本发明提供一种工具定位装置和一种加工部件，它们的结构简单并且可以降低运转成本。除了一个与端铣刀的柄部相接合的孔之外，还提供了一个通道，该通道穿过所述装置，从而使其一端与装置的上面相连通而另一端与装置的下端相连通。在此情况下，提供一个开设...

本发明提供一种钻孔加工方法，根据该方法，即使是多轴的印刷电路板钻孔机也可减小加工精度的偏移，提高多轴印刷电路板钻孔机作为整体的加工精度。按每一个保持.旋转钻头（１５）的各主轴（１０）的转速，预先求出钻头（１５）的轴心相对设计上的轴心在Ｘ...