本发明提供用于形成半导体制造用晶片端部保护膜的有用的光固化性树脂组合物。一种光固化性树脂组合物，其包含：含有来自萘、蒽、菲、芘等的多环芳香族烃基的化合物和/或聚乙烯醇、聚丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸系树脂、聚酰胺酸、聚羟基苯乙烯、聚羟基苯乙...

本发明提供倾角表现能力高的液晶取向膜、具有该液晶取向膜的液晶表示元件和提供该液晶取向膜的液晶取向剂。本发明提供一种液晶取向剂，其中，包含具有下述式(pa‑1)所示的光取向性基团、噁唑啉骨架和羧基的聚合物作为(A)成分。(式中，A表示亚苯...

一种EB或EUV光刻用抗蚀剂下层膜形成用组合物，其含有膜形成成分和溶剂，上述膜形成成分包含20质量％以上的含有特定结构的成分，上述含有特定结构的成分包含含有芳香族环的第1结构和含有氮原子的第2结构中的至少任一者，上述第1结构包含与上述芳...

包含下述式(1)所示的化合物和溶剂的、抗蚀剂下层膜形成用组合物。(在式(1)中，X各自独立地表示卤原子、或具有至少1个卤原子的1价有机基。Y表示n价基团。n表示2～6的整数。)

本发明提供取得了所期望性能的均衡性的涂覆膜。本发明提供涂覆膜形成用组合物、作为其固化物的涂覆膜及其制造方法、以及固化物及其制造方法，所述涂覆膜形成用组合物包含(1)单体混合物的聚合物、以及(2)含有下述式(E)表示的结构的聚碳化二亚胺，...

本发明的课题是提供能够形成使用于液晶显示元件、有机EL显示元件等，在固化后也维持良好的图像并且即使不进行等离子体处理、UV臭氧处理等，固化膜表面也具有高疏水性和高疏油性，此外残渣少，基板具有高亲液性和高亲油性的固化膜的图像的感光性树脂组...

一种EB或EUV光刻用抗蚀剂下层膜形成用组合物，其含有聚合物和溶剂，上述聚合物包含下述式(1)所示的重复单元。(在式(1)中，R1表示碳原子数1～20的1价有机基。R2表示氢原子或碳原子数1～6的烷基。)

一种层叠体，其具有：半导体基板、透光性的支承基板、以及设于所述半导体基板与所述支承基板之间的粘接层和剥离层，所述层叠体用于：在所述剥离层吸收了从所述支承基板侧照射的光后所述半导体基板与所述支承基板分离，所述剥离层是由剥离剂组合物形成的层...

本发明提供一种用于形成抗蚀剂下层膜的含硅抗蚀剂下层膜形成用组合物，其在半导体基板等的加工工序中，不仅能够利用以往的干式蚀刻的方法，还能够利用使用稀氢氟酸、缓冲氢氟酸和碱性药液等药液的湿式蚀刻的方法进行剥离，特别是对碱性药液(碱性药液)显...

本发明提供分散在含氮溶剂中的硅溶胶、与含氮原子的聚合物混配的二氧化硅混配树脂组合物、尤其是绝缘性树脂组合物。本发明的硅溶胶，是将含有铝原子的平均一次粒径5～100nm的二氧化硅粒子分散在含氮溶剂中而成的，通过将二氧化硅粒子在选自硫酸、硝...

本发明的课题是提供为了使与有机物的相容性提高而分散于非水系溶剂、特别是疏水性溶剂的二氧化硅溶胶及其制造方法。解决手段是一种二氧化硅溶胶，其以二氧化硅粒子作为分散质，其中，在进行了硅烷被覆的该二氧化硅粒子的表面或附近存在作为Si‑OCH3...

本发明涉及一种羟基烷基酰胺化合物。该化合物由下述式(Add－1)或(Add－2)表示，

本发明涉及一种层叠体，其具有：对活性能量射线具有透射性的支承体、所述支承体上的剥离层、以及所述剥离层上的树脂层，所述剥离层由含有膜形成成分和溶剂的剥离层形成用组合物形成，所述树脂层由树脂层前体形成，所述剥离层具有能够吸收所述活性能量射线...

本发明的课题是，本发明提供通过提高聚合物的热回流性从而改善烧成时对图案的填充性的抗蚀剂下层膜组合物、作为由该抗蚀剂下层膜组合物制成的涂布膜的烧成物的抗蚀剂下层膜、和包含形成该抗蚀剂下层膜的工序的半导体装置的制造方法。解决手段是本发明的抗...

本发明的课题是提供以羧酸酯作为分散介质的二氧化硅溶胶及其制造方法。解决手段是一种二氧化硅溶胶，其含有在进行了硅烷被覆的二氧化硅粒子的表面或附近存在Si‑OR1(其中，R1表示可以具有氧原子的碳原子数2～10的有机基。)所示的烷氧基的该二...

本发明的课题是提供具有嘧啶碱基的2’‑氨基甲酰基烷基修饰核苷的新的制造方法。解决手段是以使脱水尿苷化合物、与具有保护或无保护羟基的酰胺化合物在硼试剂的存在下、在醚溶剂等溶剂中反应作为特征的2’‑氨基甲酰基烷基修饰尿苷化合物的制造方法、以...

本发明提供形成具有高的透光率和高的电压保持率的液晶取向膜的液晶取向剂等。一种液晶取向剂，含有下述的(A)成分和(B)成分。(A)成分：选自由聚酰亚胺前体和聚酰亚胺构成的组中的至少一种聚合物(P)，所述聚酰亚胺前体通过包含下述式(1)所示...

本发明的课题是提供包含具有光活性的金属氧化物粒子、并且即使通过光催化作用也抑制了醛化合物等的产生的组合物及其制造方法。解决手段是一种组合物，是包含具有光活性的金属氧化物粒子(A)、分散剂(B)、和除挥发性醛化合物以外的有机溶剂(C)的组...

【课题】提供抑制酰胺交换反应且对AC残影的耐性优异的含有2种以上聚酰胺酸的液晶取向剂、由该液晶取向剂得到的液晶取向膜和液晶表示元件。【解决手段】提供抑制酰胺交换反应且对AC残影的耐性优异的含有2种以上聚酰亚胺前体的液晶取向剂、液晶取向膜...

本发明提供一种高分子分散型液晶元件，其具备高透射状态下的透光率高、高分子液晶层与基材的密合性高的液晶取向膜。一种高分子分散型液晶元件，具备：对置配置的一对基材；电极，分别配置于所述一对基材的相互对置的面；调光层，配置于所述一对基材间，包...