本发明公开一种计量系统及计量方法。所述计量系统包含照明子系统、集光子系统、检测器及控制器。所述控制器经配置以：接收样本上的叠加目标的图像；基于所述图像确定两个工作区之间沿着测量方向的表观叠加；及通过将所述表观叠加除以摩尔增益以补偿摩尔干...

在激光器组合件的最终频率转换级中使用包含堆叠式四硼酸锶SrB4O7(SBO)晶体板的非线性晶体以产生波长在125nm到183nm范围内的激光器输出光，所述堆叠式四硼酸锶SrB4O7晶体板经协作配置以形成周期性结构以用于进行准相位匹配(Q...

本发明提供用于检测样品上的缺陷的方法及系统。一种系统包含：检验子系统，其经配置以产生样品的图像；及一或多个计算机子系统，其经配置以用于检测所述样品上的缺陷候选者。检测所述缺陷候选者包含识别所述样品的所述所产生图像中所包含的测试图像中的经...

获得展示第一过程层中的一或多个结构及第二过程层中的一或多个结构的半导体裸片的部分的图像。使用机器学习，在所述图像上定义至少部分包含所述第一过程层中的所述一或多个结构的第一区域。还使用机器学习，在所述图像上定义至少部分包含所述第二过程层中...

根据本公开的一或多个实施例，公开一种度量系统。所述度量系统包含经配置以固定样本的载物台，一或多个基于衍射叠加(DBO)度量目标安置于所述样本上。所述度量系统包含光源及一或多个传感器。所述度量系统包含经配置以将来自所述光源的照明光引导到所...

本发明提供用于确定用于在对样品执行的过程中使用的一或多个对准参数的方法及系统。一种方法包含：确定通过成像系统针对样品上的两对或更多对裸片中的每一者中的对应位置产生的图像之间的类似性的测量；及基于类似性的所述经确定测量执行集群分析以识别最...

本发明公开一种微型环境设备。所述设备可包含壳体，其包含具有两个或更多个开口的框架。所述框架可界定所述壳体内的内腔。所述设备可包含耦合到所述框架的一部分的挡板叶片。所述挡板叶片可经配置以当所述挡板叶片处于闭合位置中时闭合所述框架的所述两个...

本申请揭示一种用于抑制激光维持等离子体源的VUV辐射发射的系统及方法。一种用于形成激光维持等离子体的系统包含：气体围阻元件；照明源，其经配置以产生泵激照明；及集光器元件，其经配置以将来自于泵激源的泵激照明聚焦于气体混合物的体积中以在气体...

本申请实施例涉及利用空间变化偏振转子及偏振器进行敏感性粒子检测。一种暗场检验系统可包含：照射源，其用以产生照射束；照射光学器件，其经配置以将所述照射束沿着照射方向以离轴角度引导到样本；聚光光学器件，其用以在暗场模式中响应于所述照射束而聚...

本申请实施例涉及混合检验器。一种系统包含计算机子系统，其经配置以接收针对样品产生的基于光学的输出及基于电子束的输出。所述计算机子系统包含一或多个虚拟系统，其经配置以使用针对所述样品产生的所述基于光学的输出及所述基于电子束的输出的至少一些...

能够使用光学检验系统形成半导体晶片上的特征的至少三个暗场图像。所述至少三个暗场图像中的每一者来自使用在图像产生期间完全敞开的孔隙的所述光学检验系统的不同通道。所述暗场图像能够被融合到与对应设计对准的伪晶片图像中。这种对准能够改进关照区域...

在半导体晶片的电子束成像期间，针对所述半导体晶片上的位点的图像帧抓取将电子束调整到低于损坏阈值的第一电子剂量/nm2/时间值。接着，针对所述位点的第二图像帧抓取将所述电子束调整到不同于所述第一电子剂量/nm2/时间值的第二电子剂量/nm...

可执行对半导体晶片图像的轮廓图像的检验，以便检测晶片边缘附近的脱层。为了估计参考图像，确定无缺陷轮廓边缘，并且从所述无缺陷轮廓边缘产生所述参考图像。从所述参考图像及所述轮廓图像确定差图像。在二值化之后，对所述差图像执行检验。所述差图像执...

一种计量系统可包含对埋藏于样本中的计量目标进行成像的成像子系统，其中所述样本是由在接口处具有计量目标的经接合的第一及第二衬底形成。所述计量系统可进一步包含具有照明场光阑及照明光瞳的照明子系统，其中所述照明场光阑包含孔径以使得所述场光阑孔...

本发明公开一种晶片对准系统，其包含成像子系统、控制器及载物台。所述控制器接收参考点目标的图像数据且确定所述参考点目标中的每一者的中心位置。所述中心位置确定包含识别相应参考点目标内的子图案及识别所述相应参考点目标的多个中心位置候选者。识别...

一种重叠度量工具可包含：照射源；照射光学器件，其用以使一或多个照射束照射具有周期性特征的重叠目标；聚集光学器件，其用以将衍射光从所述重叠目标的所述周期性特征引导到检测器；可调整光瞳掩模，其位于光瞳面处；及控制器。所述可调整光瞳掩模可包含...

提供用于确定样本的信息的方法及系统。本文中所描述的实施例经配置以训练用于从由检验子系统产生的样本的图像产生所述样本的较高分辨率图像的机器学习(ML)模型。所述训练包含仅使用模拟图像执行的预训练步骤及使用测试样本的实际图像执行的重新训练步...

本申请实施例涉及用于扫描计量的计量目标。一种计量系统可包含经耦合到扫描计量工具的控制器，所述扫描计量工具使沿着扫描方向运动的样本成像。所述控制器可从所述扫描计量工具接收所述样本上的计量目标的图像，其中所述计量目标包括：第一测量群组，其包...

本揭露实施例涉及一种183纳米激光器及检验系统。一种用于产生处于大约183nm的输出波长的激光器输出光的激光器组合件包含基频激光器、光学参数系统OPS、五次谐波产生器及混频模块。基频激光器产生处于基频频率的基频光。OPS产生处于经下变频...

一种系统具有经配置以接收从晶片反射的光束的检测器。例如，可使用三个检测器。所述检测器中的每一者是不同通道。将来自所述检测器的图像组合成伪彩色RGB图像。卷积神经网络单元(CNN)可接收所述伪彩色RGB图像且确定所述伪彩色RGB图像中的缺...