用于扫描计量的计量目标制造技术

本申请实施例涉及用于扫描计量的计量目标。一种计量系统可包含经耦合到扫描计量工具的控制器，所述扫描计量工具使沿着扫描方向运动的样本成像。所述控制器可从所述扫描计量工具接收所述样本上的计量目标的图像，其中所述计量目标包括：第一测量群组，其包含沿着正交于所述扫描方向的横向方向分布的单元；及第二测量群组，其沿着所述扫描方向与所述第一测量群组分离，所述第二测量群组包含沿着所述横向方向分布的单元。所述控制器可进一步基于所述第一计量群组中的所述第一组单元中的至少一者来生成至少第一计量测量，及基于所述第二计量群组中的所述第二组单元中的至少一者来生成至少第二计量测量。成至少第二计量测量。成至少第二计量测量。

【技术实现步骤摘要】
用于扫描计量的计量目标
[0001]分案申请的相关信息
[0002]本申请是申请日为2020年6月24日、申请号为202080040950.0、专利技术名称为“用于扫描计量的计量目标”的专利技术专利申请的分案申请。
[0003]相关申请案的交叉引用
[0004]本申请案根据35U.S.C.
§
119(e)规定要求指定安迪
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希尔(Andy Hill)、阿姆农
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马纳森(Amnon Manassen)、吉拉德
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拉雷多(Gilad Laredo)、约尔
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费勒(Yoel Feler)、马克
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吉诺夫克(Mark Ghinovker)及弗拉基米尔
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莱文斯基(Vladimir Levinski)为专利技术者的2019年6月26日申请的标题为“扫描重叠(OVL)目标(Scan Overlay(OVL)Target)”的第62/867,142号美国临时申请案的优先权的权益，所述申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。


[0005]本公开大体上涉及重叠计量，且更特定来说，涉及适用于扫描重叠计量系统的目标。

技术介绍

[0006]计量系统通常通过分析专用计量目标来提供产品上计量，其中经制造图案元件的特性指示一或多个所关注计量指标。针对产品上计量(例如但不限于，产品上重叠(OPO)计量)的收紧的设计规则及要求越来越高的规范正驱动在半导体制造工艺的多个层级增加取样要求。此增加取样可进一步响应于计量数据而实现重叠模型的更高复杂度及用于光刻系统的更准确可校正值。然而，增加取样要求可能负面影响计量处理量。因此，期望提供用于高处理量计量的系统及方法。

技术实现思路

[0007]公开一种根据本公开的一或多个说明性实施例的计量系统。在一个说明性实施例中，所述系统包含耦合到扫描计量工具的控制器，其中所述扫描计量工具使沿着扫描方向运动的样本成像。在另一说明性实施例中，所述控制器从所述扫描计量工具接收所述样本上的计量目标的图像。在另一说明性实施例中，所述计量目标包括包含沿着所述样本上的横向方向分布的一或多个单元的第一测量群组，其中所述样本上的所述横向方向正交于所述扫描方向。在另一说明性实施例中，所述计量目标进一步包括包含沿着所述样本上的所述横向方向分布的一或多个单元的第二测量群组，其中所述第二测量群组沿着所述扫描方向与所述第一测量群组分离。在另一说明性实施例中，所述控制器基于所述第一计量群组中的所述第一组单元中的至少一者生成至少第一计量测量。在另一说明性实施例中，所述控制器基于所述第二计量群组中的所述第二组单元中的至少一者生成至少第二计量测量。
[0008]公开一种根据本公开的一或多个说明性实施例的计量系统。在一个说明性实施例中，所述系统包含用以使沿着扫描方向运动的样本成像的扫描计量工具。在另一说明性实
施例中，所述系统包含耦合到所述扫描计量工具的控制器。在另一说明性实施例中，所述控制器从所述扫描计量工具接收所述样本上的计量目标的图像。在另一说明性实施例中，所述计量目标包括包含沿着所述样本上的横向方向分布的一或多个单元的第一测量群组，其中所述样本上的所述横向方向正交于所述扫描方向。在另一说明性实施例中，所述计量目标进一步包括包含沿着所述样本上的所述横向方向分布的一或多个单元的第二测量群组，其中所述第二测量群组沿着所述扫描方向与所述第一测量群组分离。在另一说明性实施例中，所述控制器基于所述第一计量群组中的所述第一组单元中的至少一者生成至少第一计量测量。在另一说明性实施例中，所述控制器基于所述第二计量群组中的所述第二组单元中的至少一者生成至少第二计量测量。
[0009]公开一种根据本公开的一或多个说明性实施例的计量目标。在一个说明性实施例中，所述目标包含包括沿着样本上的横向方向分布的一或多个单元的第一测量群组，其中所述样本上的所述横向方向正交于扫描方向。在另一说明性实施例中，所述第一测量群组中的所述一或多个单元可通过扫描计量工具同时测量且在用所述扫描计量工具测量时可进一步提供至少第一计量测量。在另一说明性实施例中，所述目标包含包括沿着所述样本上的所述横向方向分布的一或多个单元的第二测量群组，其中所述第二测量群组沿着所述扫描方向与所述第一测量群组分离。在另一说明性实施例中，所述第二测量群组中的所述一或多个单元可通过所述扫描计量工具同时测量且在用所述扫描计量工具测量时可进一步提供至少第二计量测量。
[0010]应理解，前文概述及下文详细描述两者皆仅为示范性及说明性且并不一定限制如所要求的本专利技术。并入说明书且构成说明书的一部分的附图说明本专利技术的实施例且连同概述一起用于说明本专利技术的原理。
附图说明
[0011]所属领域的技术人员通过参考附图可更好理解本公开的许多优点，其中：
[0012]图1是说明根据本公开的一或多个实施例的扫描计量系统的框图。
[0013]图2是根据本公开的一或多个实施例的适用于其中样本在测量期间静止的静态模式计量测量的静态计量目标的俯视图。
[0014]图3是根据本公开的一或多个实施例的扫描计量目标的概念图。
[0015]图4A是根据本公开的一或多个实施例的具有用于沿着正交方向的重叠计量的两个测量群组的扫描计量目标的俯视图，其中所述两个测量群组中的每一者内的单元显示旋转对称性。
[0016]图4B是根据本公开的一或多个实施例的具有用于沿着正交方向的重叠计量的两个测量群组的扫描计量目标的俯视图，其中所述两个测量群组中的每一者内的单元显示旋转对称性。
[0017]图4C是根据本公开的一或多个实施例的具有多个相同单元的扫描计量目标的俯视图。
[0018]图4D是根据本公开的一或多个实施例的具有两个测量群组的扫描计量目标的俯视图，其中所述两个测量群组中的每一者内的单元显示反射对称性。
[0019]图5是根据本公开的一或多个实施例的具有用于沿着正交方向的重叠计量的每一
者具有三个单元的两个单元群组的扫描计量目标的俯视图。
具体实施方式
[0020]现将详细参考附图中说明的所公开标的物。已尤其参考某些实施例及其特定特征来展示及描述本公开。本文中所阐述的实施例应被视为具说明性而非限制性。所属领域的一般技术人员应易于明白，可在不脱离本公开的精神及范围的情况下做出形式及细节的各种改变及修改。
[0021]本公开的实施例涉及用于基于扫描的计量的系统及方法，其中计量目标在平移通过计量工具的聚焦体积时通过所述计量工具特性化。
[0022]计量目标通常可包含经设计以提供一或多个印刷特性的准确表示的经明确定义的印刷元件。在此方面，计量目标的印刷元件的经测量特性(例如，通过计量工具)可表示与经制造的装置相关联的印刷装置元件。进一步来说，计量目标通常经特性化为具有一或多个测量单元，其中每一单元包含样本上的一或多个层中的印刷元件。计量测量接着可基于单个单元中或多个单元之间的印刷元件的大小、定向或位置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种计量目标，其包括：第一测量群组，其包含沿着样本上的横向方向分布的一或多个单元，其中所述样本上的所述横向方向正交于所述扫描方向，其中所述第一测量群组中的所述一或多个单元经配置以由扫描计量工具同时测量，且进一步经配置以当由所述扫描计量工具测量时，提供至少第一计量测量；及第二测量群组，其包含沿着所述样本上的所述横向方向分布的一或多个单元，所述第二测量群组沿着所述扫描方向与所述第一测量群组分离，其中所述第二测量群组中的所述一或多个单元经配置以由所述扫描计量工具同时测量，且进一步经配置以当由所述扫描计量工具测量时，提供至少第二计量测量。2.根据权利要求1所述的计量目标，其包括：一或多个额外测量群组，每一额外测量群组包含沿着所述样本上的所述横向方向分布的一或多个单元，所述一或多个额外测量群组沿着所述扫描方向与所述第一测量群组和所述第二测量群组分离，其中所述至少一个额外测量群组的每一者中的所述一或多个单元经配置以由所述扫描计量同时测量，且进一步经配置以当由所述扫描计量工具测量时，提供至少额外计量测量。3.根据权利要求1所述的计量目标，其中所述第一计量测量包括：沿着所述样本上的第一方向的重叠计量测量，其中所述第二计量测量包括：沿着所述样本上的与所述第一方向不同的第二方向的重叠计量测量。4.根据权利要求3所述的计量目标，其中沿着所述样本上的所述第一方向的所述重叠测量基于所述第一测量群组的所述一或多个单元中的两组以上印刷元件的相对位置，其中沿着所述样本上的所述第二方向的所述重叠测量基于所述第二测量群组的所述一或多个单元中的两组以上印刷元件的相对位置。5.根据权利要求3所述的计量目标，其中所述第一测量群组包含两个以上单元，其中沿着所述样本上的所述第一方向的所述重叠测量基于跨所...

【专利技术属性】
技术研发人员：A，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：