用于扫描计量的计量目标制造技术

本申请实施例涉及用于扫描计量的计量目标。一种计量系统可包含经耦合到扫描计量工具的控制器，所述扫描计量工具使沿着扫描方向运动的样本成像。所述控制器可从所述扫描计量工具接收所述样本上的计量目标的图像，其中所述计量目标包括：第一测量群组，其包含沿着正交于所述扫描方向的横向方向分布的单元；及第二测量群组，其沿着所述扫描方向与所述第一测量群组分离，所述第二测量群组包含沿着所述横向方向分布的单元。所述控制器可进一步基于所述第一计量群组中的所述第一组单元中的至少一者来生成至少第一计量测量，及基于所述第二计量群组中的所述第二组单元中的至少一者来生成至少第二计量测量。成至少第二计量测量。成至少第二计量测量。

【技术实现步骤摘要】
用于扫描计量的计量目标
[0001]分案申请的相关信息
[0002]本申请是申请日为2020年6月24日、申请号为202080040950.0、专利技术名称为“用于扫描计量的计量目标”的专利技术专利申请的分案申请。
[0003]相关申请案的交叉引用
[0004]本申请案根据35U.S.C.
§
119(e)规定要求指定安迪
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希尔(Andy Hill)、阿姆农
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马纳森(Amnon Manassen)、吉拉德
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拉雷多(Gilad Laredo)、约尔
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费勒(Yoel Feler)、马克
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吉诺夫克(Mark Ghinovker)及弗拉基米尔
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莱文斯基(Vladimir Levinski)为专利技术者的2019年6月26日申请的标题为“扫描重叠(OVL)目标(Scan Overlay(OVL)Target)”的第62/867,142号美国临时申请案的优先权的权益，所述申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。<br/>
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种计量目标，其包括：第一测量群组，其包含沿着样本上的横向方向分布的一或多个单元，其中所述样本上的所述横向方向正交于所述扫描方向，其中所述第一测量群组中的所述一或多个单元经配置以由扫描计量工具同时测量，且进一步经配置以当由所述扫描计量工具测量时，提供至少第一计量测量；及第二测量群组，其包含沿着所述样本上的所述横向方向分布的一或多个单元，所述第二测量群组沿着所述扫描方向与所述第一测量群组分离，其中所述第二测量群组中的所述一或多个单元经配置以由所述扫描计量工具同时测量，且进一步经配置以当由所述扫描计量工具测量时，提供至少第二计量测量。2.根据权利要求1所述的计量目标，其包括：一或多个额外测量群组，每一额外测量群组包含沿着所述样本上的所述横向方向分布的一或多个单元，所述一或多个额外测量群组沿着所述扫描方向与所述第一测量群组和所述第二测量群组分离，其中所述至少一个额外测量群组的每一者中的所述一或多个单元经配置以由所述扫描计量同时测量，且进一步经配置以当由所述扫描计量工具测量时，提供至少额外计量测量。3.根据权利要求1所述的计量目标，其中所述第一计量测量包括：沿着所述样本上的第一方向的重叠计量测量，其中所述第二计量测量包括：沿着所述样本上的与所述第一方向不同的第二方向的重叠计量测量。4.根据权利要求3所述的计量目标，其中沿着所述样本上的所述第一方向的所述重叠测量基于所述第一测量群组的所述一或多个单元中的两组以上印刷元件的相对位置，其中沿着所述样本上的所述第二方向的所述重叠测量基于所述第二测量群组的所述一或多个单元中的两组以上印刷元件的相对位置。5.根据权利要求3所述的计量目标，其中所述第一测量群组包含两个以上单元，其中沿着所述样本上的所述第一方向的所述重叠测量基于跨所...

【专利技术属性】
技术研发人员：A，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：