本发明公开了一种晶圆临时承载结构、系统以及方法，包括支撑框架，支撑框架包括第一窗口和第二窗口；多个支撑部采用本发明的晶圆临时承载结构，可以将该晶圆临时承载结构置于晶圆清洗工艺区与晶圆取货窗口之间，在晶圆清洗工艺区清洗晶圆的过程中，可以转...

本发明公开了一种晶圆传送方法

本实用新型公开了一种晶圆盒输送装置，包括：支撑架；传送组件，设于支撑架上，传送组件上设有用于放置晶圆盒的第一支撑件，第一支撑件可沿支撑架的长度方向移动；承接组件，设于传送组件的一侧，承接组件上设有第二支撑件，第二支撑件上设有至少两个承接...

本实用新型公开了一种组合式晶圆检测传感器，包括气动执行元件、固定在气动执行元件上并可在气动执行元件的带动下上下移动的连接件、固定在连接件上的可拆卸的固定块、以及多个垂直卡设在固定块上的用以检测晶圆片篮内晶圆的数量和位置的光电传感器；多个...

本实用新型公开了一种兆声波清洗装置的水槽结构，包括设置于兆声波盛水盘内的内槽、以及设置于内槽外侧并使其上边沿低于内槽上边沿的外槽，内槽的上部设置有管口贯穿外槽的水阻值计套管、下部设置有内槽进液管和内槽排液管，所述外槽的底部设计成前高后低...

本实用新型公开了一种带照明的FFU系统，包括下壳体、设置在下壳体内的过滤器组件和照明系统、上壳体、以及设置在上壳体内的风机组件和控制装置，所述上壳体扣合固定在过滤器组件上以使风机组件位于过滤器组件的上方、照明系统位于上壳体的外侧，所述控...

本实用新型公开了一种晶圆清洁的气体流场装置，应用于半导体制备领域，包括：晶圆清洁供风部件和形成气体通道的气体流场部件；气体流场部件中开有出风口，以及供晶圆承载部件移动和进出气体流场部件的缺口；缺口靠近晶圆清洁供风部件的一侧设置有增设挡壁...

本实用新型公开了一种具备清洗功能的承漏杯及晶圆清洗设备，包括杯体，为中空结构，杯体的底端与排液管路连通；清洗组件，设于杯体内部，清洗组件为管状结构，用于对伸入杯体的喷淋装置的外周清洗，清洗组件的底端与排液管路连通。本申请提供的一种具备清...

本实用新型公开了一种防外溢承漏杯结构及晶圆清洗设备，包括杯体，为中空结构，杯体与用于排液的排液管路连通承漏装置，可拆卸的设于杯体的内部并用于存放可伸出承漏装置的喷淋装置，承漏装置的下端部与排液管路连通，以使喷淋装置预喷的化学药液由承漏装...

本实用新型公开了一种应用于半导体湿法清洗的摆动装置，应用于半导体清洗领域，包括：运动电机组件、线性滑台、至少两个顶杆和摆动托盘；摆动托盘的一端至少连接一个顶杆，摆动托盘与顶杆连接的对端，至少连接一个顶杆；顶杆和运动电机组件分别与线性滑台...

本实用新型涉及半导体加工领域，具体公开了一种晶圆转移装置，包括转移平台；和转移平台固定连接的支撑臂；设置在支撑臂上，用于托起支撑被转移晶圆的多个支撑升降机构；其中，各个支撑升降机构在支撑臂上可相互独立的升降调节，以便各个支撑升降机构托起...

本实用新型公开了一种晶圆传送装置及晶圆清洗设备，包括限位模组，包括对称设于平台上晶圆盒承载位四周的限位块，限位块包括第一凹槽和第二凹槽，在一个晶圆盒承载位上实现不同尺寸的晶圆盒的限位固定；传送模组，包括托板与托举移动装置，托板上设置有承...

本实用新型公开了一种晶圆干燥机构及晶圆清洗干燥系统，晶圆干燥机构，包括：烘干室，烘干室上设有用于通入干燥气体的通气孔；限位块，设于烘干室的内腔的底部，限位块用于与晶圆盒脚座对应设置，可对晶圆盒进行限位固定；承载件，位于多个限位块所围成的...

本实用新型公开了一种设备包覆，应用于半导体设备领域，包括：外部隔板、内部隔板和隔间隔板；所述内部隔板上设置有通孔；所述内部隔板用于分隔工艺区与设备存放区；所述隔间隔板上设置有隔间通孔；所述设备存放区的所述外部隔板上设置有抽风孔和隔间抽风...

本实用新型公开了一种晶圆移载装置及晶圆清洗设备，包括抓取机构，抓取机构包括第一夹爪、第二夹爪与基体，第一夹爪与第二夹爪均设有两个，且均对称固定在基体上，第一夹爪相对于第二夹爪固定在基体内侧，用于抓取第一尺寸的晶圆盒；第二夹爪相对于第一夹...

本实用新型涉及半导体技术领域，具体公开了一种晶圆清洗溢流槽及晶圆清洗设备，晶圆清洗溢流槽包括顶端开口的水槽本体；至少设置在水槽本体的底部和顶部的进水管；且位于水槽本体的顶部的进水管在水槽本体上的高度低于水槽本体的顶端溢出清洗液体的溢水高...

本实用新型公开了一种晶圆花篮的输送装置，包括：支架；升降组件，设于支架上；连接件，设于升降组件的移动端，升降组件可用于带动连接件上升或下降；夹爪气缸，连接件上设有两个夹爪气缸；夹爪，两个夹爪气缸的缸杆端部均设有夹爪，夹爪气缸的移动可带动...

本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，应用于半导体制备领域，包括：清洗槽体及位于清洗槽体内的循环管、匀流板和固定块；循环管用于向清洗槽体内注入清洗液；固定块用于在清洗槽体内对承载有晶圆的晶圆盒进行限位；匀流板设置在循环管和固定块之间，且匀流...

本实用新型公开了一种槽体安装机构，包括：固定底座，沿固定底座的高度方向上设有第一通孔和第二通孔；第一紧固件，设于所述固定底座的一侧，第一紧固件用于穿过第一通孔以将固定底座与包覆件连接；卡槽固定件，卡接于固定底座的卡接部内，卡槽固定件上设...

本发明涉及一种检测透明硅片的方法、装置及存储介质，涉及半导体技术领域，在承载透明硅片的硅片承载盒的两侧分别设置信号发射器和信号接收器；信号发射系统向信号接收器发射光信号，光信号穿过硅片承载装置后被信号接收器接收，根据信号接收器接收的光信...