本实用新型专利技术公开了一种晶圆盒输送装置，包括：支撑架；传送组件，设于支撑架上，传送组件上设有用于放置晶圆盒的第一支撑件，第一支撑件可沿支撑架的长度方向移动；承接组件，设于传送组件的一侧，承接组件上设有第二支撑件，第二支撑件上设有至少两个承接槽，承接组件可移动至第一支撑件的下端，以将第一支撑件上的晶圆盒移动至任一承接槽上。上述晶圆盒输送装置，通过传送组件和承接组件的配合，可满足对晶圆盒输送过程中位置的调节，通过机械化的方式提高了作业效率和调节精准度，降低人工成本，增加使用效益。增加使用效益。增加使用效益。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒输送装置
[0001]本技术涉及输送装置
，更具体地说，涉及一种晶圆盒输送装置。
技术介绍
[0002]在晶圆盒的工艺加工过程中，输送装置常通过单轴机器人和气缸等组合部件将晶圆盒依据需要移动至指定位置。现常用的储存晶圆盒机构内设置有双晶圆槽，要求输送装置的最终输送位置上有两个晶圆盒，通过机器人将双晶圆盒共同夹持至双晶圆槽内。针对此种储存晶圆盒机构，任一晶圆盒的输送顺序与存放的晶圆盒的顺序需保持一致，以保证终端用户处的晶圆盒有序排列。
[0003]在相关技术中，晶圆盒输送装置通过单向输送将晶圆盒输送至机器人可抓取区域内，通过机器人将晶圆盒放入晶圆槽内，此种输送装置工作时，先输送的晶圆盒会放在储存晶圆盒机构靠近内侧的位置，后输送的晶圆盒会放置在储存晶圆盒机构远离内侧的位置，会导致晶圆盒排列顺序错乱，需进一步通过人工对输送装置输出的晶圆盒的批次信息进行调整排列。
[0004]此种方式下，人为的方式存在偏差，效率低下，不利于晶圆盒工艺加工的流畅化作业。
[0005]综上所述，如何提供一种便于排列晶圆盒输出顺序的输送装置，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
[0006]有鉴于此，本技术的目的是提供一种晶圆盒输送装置，通过传送组件和承接组件的配合，可满足对晶圆盒输送过程中位置的调节，通过机械化的方式提高了作业效率和调节精准度，降低人工成本，增加使用效益。
[0007]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0008]一种晶圆盒输送装置，包括：
[0009]支撑架；
[0010]传送组件，设于所述支撑架上，所述传送组件上设有用于放置所述晶圆盒的第一支撑件，所述第一支撑件可沿所述支撑架的长度方向移动；
[0011]承接组件，设于所述传送组件的一侧，所述承接组件上设有第二支撑件，所述第二支撑件上设有至少两个承接槽，所述承接组件可移动至所述第一支撑件的下端，以将所述第一支撑件上的所述晶圆盒移动至任一所述承接槽上。
[0012]优选的，所述传送组件包括：
[0013]滑道；
[0014]第一支架，可滑动地设于所述滑道上；
[0015]第一气缸，所述第一气缸的固定端设于所述第一支架上，所述第一气缸的移动端与所述第一支撑件连接，所述第一气缸可带动所述第一支撑件沿所述支撑架的高度方向移
动。
[0016]优选的，所述滑道的一侧设有电机传动组件，所述电机传动组件可带动所述第一支架在所述滑道上滑动。
[0017]优选的，所述滑道上设有光电感应件，所述光电感应件用于检测所述第一支架的移动距离。
[0018]优选的，所述承接组件包括：
[0019]第二气缸，设于所述支撑架上，所述第二支撑件设于所述第二气缸的移动端，所述第二气缸可带动所述第二支撑件沿着所述支撑架的宽度方向移动。
[0020]优选的，所述第二支撑件的一侧设有光电感应件，所述光电感应件用于检测所述晶圆盒是否位于所述承接槽上。
[0021]优选的，所述第二支撑件的顶部设有限位块，若干个所述限位块合围形成所述承接槽。
[0022]优选的，所述光电感应件包括：感应器以及感应片，所述感应器设于所述感应片的移动路线上；
[0023]或，所述感应片设于所述感应器的移动路线上。
[0024]优选的，所述第一支架上设有旋转气缸，所述旋转气缸的固定端与所述第一支架连接，所述旋转气缸的转动端与所述第一气缸连接。
[0025]本技术提供的晶圆盒输送装置，包括支撑架、传送组件以及承接组件，传送组件设于支撑架上，承接组件设于传送组件的一侧，其中传送组件上设有第一支撑件，第一支撑件可用于放置晶圆盒，第一支撑件可沿支撑架的长度方向移动，即传送组件上的晶圆盒可沿支撑架的长度方向移动；第二支撑件设于承接组件上且具有至少两个承接槽，承接组件可移动至第一支撑件的下端，以将第一支撑件上的晶圆盒转移至任一承接槽上，即通过承接组件的设置，可将传送组件上的晶圆盒进行位置排列，如传送组件最先输送的晶圆盒可放置在第二支撑件上靠近内侧的承接槽上。通过传送组件和承接组件的配合，可满足对晶圆盒输送过程中位置的调节，通过机械化的方式提高了作业效率和调节精准度，降低人工成本，增加使用效益。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0027]图1为本技术所提供的晶圆盒输送装置的结构示意图；
[0028]图2为本技术所提供的晶圆盒输送装置的侧视图；
[0029]图3为本技术所提供的晶圆盒输送装置的左视图；
[0030]图4为本技术所提供的晶圆盒输送装置的爆炸图；
[0031]图5为本技术所提供的传送组件的结构示意图；
[0032]图6为本技术所提供的传送组件的局部示意图；
[0033]图7为本技术所提供的旋转气缸的安装示意图。
[0034]图1
‑
图7中，附图标记包括：
[0035]支撑架1、滑道2、第一支架3、第一气缸4、第一支撑件5、晶圆盒6、电机传动组件7、第二气缸8、第二支撑件9、限位块10、光电感应件11、旋转气缸12；
[0036]感应器111、感应片112。
具体实施方式
[0037]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0038]本技术的核心是提供一种晶圆盒输送装置，通过传送组件和承接组件的配合，可满足对晶圆盒6输送过程中位置的调节，通过机械化的方式提高了作业效率和调节精准度，降低人工成本，增加使用效益。
[0039]本技术所提供的晶圆盒输送装置包括支撑架1、传送组件以及承接组件，请参考图1至图4。
[0040]支撑架1用于对传送组件以及承接组件形成稳定可靠支撑，不局限支撑架1的结构形式以及尺寸等，支撑架1的材质优选为硬度强度较好的材料，保证支撑架1使用时的稳固性和抗破坏力。
[0041]传送组件，设置在支撑架1上，优选为可拆卸连接。传送组件上设有用于放置晶圆盒6的第一支撑件5，请参考图1至图4，晶圆盒6被放置在第一支撑件5上。第一支撑件5可沿支撑架1的长度方向移动，第一支撑件5可通过气缸、电机等方式实现移动。
[0042]可选的，第一支撑件5可与支撑架1直接接触以实现移动，也可在支撑架1上连接滑动件，第一支撑件5在滑动件上移动。本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒输送装置，其特征在于，包括：支撑架(1)；传送组件，设于所述支撑架(1)上，所述传送组件上设有用于放置所述晶圆盒(6)的第一支撑件(5)，所述第一支撑件(5)可沿所述支撑架(1)的长度方向移动；承接组件，设于所述传送组件的一侧，所述承接组件上设有第二支撑件(9)，所述第二支撑件(9)上设有至少两个承接槽，所述承接组件可移动至所述第一支撑件(5)的下端，以将所述第一支撑件(5)上的所述晶圆盒(6)移动至任一所述承接槽上。2.根据权利要求1所述的晶圆盒输送装置，其特征在于，所述传送组件包括：滑道(2)；第一支架(3)，可滑动地设于所述滑道(2)上；第一气缸(4)，所述第一气缸(4)的固定端设于所述第一支架(3)上，所述第一气缸(4)的移动端与所述第一支撑件(5)连接，所述第一气缸(4)可带动所述第一支撑件(5)沿所述支撑架(1)的高度方向移动。3.根据权利要求2所述的晶圆盒输送装置，其特征在于，所述滑道(2)的一侧设有电机传动组件(7)，所述电机传动组件(7)可带动所述第一支架(3)在所述滑道(2)上滑动。4.根据权利要求3所述的晶圆盒输送装置，其特征在于，所述滑道(2)上设有光电感应件(11)，所述光电感应件(11)用...
【专利技术属性】
技术研发人员：倪逸枫，吴凌峰，陈丁堃，
申请(专利权)人：江苏启微半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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