一种晶圆花篮的输送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆花篮的输送装置，包括：支架；升降组件，设于支架上；连接件，设于升降组件的移动端，升降组件可用于带动连接件上升或下降；夹爪气缸，连接件上设有两个夹爪气缸；夹爪，两个夹爪气缸的缸杆端部均设有夹爪，夹爪气缸的移动可带动夹爪移动以夹起或放下晶圆花篮。上述晶圆花篮的输送装置，通过将夹爪气缸直接与夹爪连接，通过夹爪气缸的运动直接控制夹爪的移动，可降低使用时的故障率，可实现对晶圆花篮的精准抓取与输送作业，无需其他辅助部件，结构简单，降低使用成本。降低使用成本。降低使用成本。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆花篮的输送装置


[0001]本技术涉及半导体
，更具体地说，涉及一种晶圆花篮的输送装置。

技术介绍

[0002]在半导体工艺设备中，晶圆花篮是用于放置清洗后的若干个晶圆的构件。在实际应用的过程中，晶圆花篮依据需要被输送机构至指定位置，以便于存放晶圆。
[0003]相关技术中，输送机构多为机械手的结构形式，机械手包括连杆机构、气缸以及连杆机构，通过气缸的运动带动连杆机构的运动，进一步带动与连杆机构连接的夹爪的靠近或远离，以满足通过夹爪夹取或放下晶圆花篮的工作需求；进一步地，在夹爪上安装有若干个检测元件，以定位夹爪的位置以便于精确夹取晶圆花篮。
[0004]此种工作方式下，气缸需要通过连杆机构带动夹爪，气缸的作用行程更长，需要较大的气缸，且连杆机构在移动过程中存在卡死的可能性，需要及时维修或更换，导致输送机构的使用成本较高。
[0005]综上所述，如何降低晶圆花篮输送机构的使用成本，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

[0006]有鉴于此，本技术的目的是提供一种晶圆花篮的输送装置，通过将夹爪气缸直接与夹爪连接，通过夹爪气缸的运动直接控制夹爪的移动，可降低使用时的故障率，可实现对晶圆花篮的精准抓取与输送作业，无需其他辅助部件，结构简单，降低使用成本。
[0007]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0008]一种晶圆花篮的输送装置，包括：
[0009]支架；
[0010]升降组件，设于所述支架上；
[0011]连接件，设于所述升降组件的移动端，所述升降组件可用于带动所述连接件上升或下降；
[0012]夹爪气缸，所述连接件上设有两个所述夹爪气缸；
[0013]夹爪，两个所述夹爪气缸的缸杆端部均设有所述夹爪，所述夹爪气缸的移动可带动所述夹爪移动以夹起或放下晶圆花篮。
[0014]优选的，所述升降组件的一侧设有底座组件，所述支架与所述底座组件滑动连接。
[0015]优选的，所述支架上设有驱动组件，所述驱动组件可带动所述支架在所述底座组件上滑动。
[0016]优选的，所述底座组件包括设有滑槽的滑轨，所述支架上具有与所述滑槽配合的凸起。
[0017]优选的，所述驱动组件包括：
[0018]电机，设于所述支架上；
[0019]齿条，设于所述滑轨的一侧；
[0020]齿轮，所述齿轮设于所述电机的输出轴上且与所述齿条连接。
[0021]优选的，所述升降组件包括气缸，所述连接件设于所述气缸的缸杆端部。
[0022]优选的，所述支架上设有检测件，所述检测件可用于检测所述支架的移动距离。
[0023]优选的，所述底座组件的一侧设有支撑件，所述支撑件上设有第一检测目标，所述检测件包括第一检测光栅，所述第一检测光栅可用于检测所述支架与所述第一检测目标之间的偏移距离。
[0024]优选的，所述支撑件的两端均设有第二检测光栅，所述第二检测光栅可用于检测所述支架上的第二检测目标的位置。
[0025]本技术提供的晶圆花篮的输送装置，包括支架、升降组件、连接件、夹爪气缸以及夹爪，升降组件设于支架上，连接件设于升降组件的移动端，夹爪气缸设于连接件上，即升降组件的移动可以带动连接件以及夹爪气缸的上升与下降；连接件上设有两个夹爪气缸，每个夹爪气缸的缸杆端部均设有夹爪，夹爪气缸的移动可以带动夹爪的移动以使得两个夹爪相互靠近或远离，以对应地夹取晶圆花篮或放下晶圆花篮。通过将夹爪气缸直接与夹爪连接，通过夹爪气缸的运动直接控制夹爪的移动，可降低使用时的故障率，可实现对晶圆花篮的精准抓取与输送作业，无需其他辅助部件，结构简单，降低使用成本。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0027]图1为本技术所提供的晶圆花篮的输送装置的结构示意图。
[0028]图1中，附图标记包括：
[0029]支架1、第一检测光栅2、第一检测目标3、第二检测光栅4、滑轨5、齿轮6、齿条7、电机8、连接件9、夹爪气缸10、升降组件11、夹爪12、第二检测目标13、支撑件14。
具体实施方式
[0030]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]本技术的核心是提供一种晶圆花篮的输送装置，通过将夹爪气缸10直接与夹爪12连接，通过夹爪气缸10的运动直接控制夹爪12的移动，可降低使用时的故障率，可实现对晶圆花篮的精准抓取与输送作业，无需其他辅助部件，结构简单，降低使用成本。
[0032]本技术所提供的晶圆花篮的输送装置包括支架1、升降组件11、连接件9、夹爪气缸10以及夹爪12，请参考图1，图1为晶圆花篮的输送装置的结构示意图。
[0033]升降组件11，设于支架1上，支架1可对升降组件11形成稳定的支撑，使升降组件11可以稳定地上升或下降。
[0034]升降组件11可具有多种实现方式，如气缸结构、丝杠结构等。
[0035]连接件9，设于升降组件11的移动端，升降组件11的移动可带动连接件9相对于支架1高度方向上的上升或下降。
[0036]连接件9上设有两个夹爪气缸10，连接件9的结构可尽可能简单些，可以连接两个夹爪气缸10即可，尽可能减少升降组件11的负载。
[0037]夹爪12，设于夹爪气缸10的缸杆端部，升降组件11的移动可带动连接件9、以及夹爪气缸10、夹爪12在图1中的高度方向上的移动，以便于夹爪12调整至合适的高度，以靠近晶圆花篮放置的位置。
[0038]夹爪气缸10的移动可带动夹爪12移动以夹起或放下晶圆花篮，夹爪气缸10直接与夹爪12连接，通过气缸作业即可精确作用于夹爪12上，可降低使用时的故障率，降低使用成本。
[0039]可选的，也可以只设置一个夹爪气缸10，一个夹爪12设于夹爪气缸10的缸杆端部，另一个气爪12固定于连接件9上。在夹爪气缸10工作的过程中，活动的夹爪12可靠近或远离连接件9上的夹爪12，也可以满足对晶圆花篮的夹起或放下作业。
[0040]可选的，夹爪12与晶圆花篮为直接接触，可在夹爪12上涂防腐蚀层，避免酸性气体对夹爪12的腐蚀，保证夹爪12的使用寿命。
[0041]可选的，支架1可设为可移动式支架，便于输送装置的移动。
[0042]本技术所提供的晶圆花篮的输送装置还包括控制组件，可用于控制整本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆花篮的输送装置，其特征在于，包括：支架(1)；升降组件(11)，设于所述支架(1)上；连接件(9)，设于所述升降组件(11)的移动端，所述升降组件(11)可用于带动所述连接件(9)上升或下降；夹爪气缸(10)，所述连接件(9)上设有两个所述夹爪气缸(10)；夹爪(12)，两个所述夹爪气缸(10)的缸杆端部均设有所述夹爪(12)，所述夹爪气缸(10)的移动可带动所述夹爪(12)移动以夹起或放下晶圆花篮。2.根据权利要求1所述的晶圆花篮的输送装置，其特征在于，所述升降组件(11)的一侧设有底座组件，所述支架(1)与所述底座组件滑动连接。3.根据权利要求2所述的晶圆花篮的输送装置，其特征在于，所述支架(1)上设有驱动组件，所述驱动组件可带动所述支架(1)在所述底座组件上滑动。4.根据权利要求3所述的晶圆花篮的输送装置，其特征在于，所述底座组件包括设有滑槽的滑轨(5)，所述支架(1)上具有与所述滑槽配合的凸起。5.根据权利要求4所述的晶圆花篮的输送装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐胜天，吴凌峰，陈丁堃，徐铭，
申请(专利权)人：江苏启微半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：