本发明公开了一种调整刻槽宽度装置，包括激光器，激光器发出激光由扩束镜将光斑放大，放大后依次经过光闸、玻片、偏振分束立方、光阑、反光镜组进入光学调整系统，经调整后依次通过DOE镜片和聚焦系统投射在加工平台上，DOE镜片将光束成形为矩形光；...

本发明公开了一种晶圆裂片放膜、移膜机构，在防静电驱动辊和与气涨轴连接的电磁制动器的共同作用下，使得复合膜在放膜机构中始终处于一个张紧的状态，移膜机构在工作时，保证复合膜在移动过程中始终受到上吸附装置或下移动吸盘控制，放膜机构中的驱动下压...

本发明公开了一种气浮轨道装置，包括：大理石基体，所述大理石基体的上表面伸出大理石基座，大理石基座两侧设置有横梁安装座和气浮侧板，横梁安装座与气浮侧板垂直安装构成直角，并与大理石基座配合，大理石基座的两侧均设置有磁性材料；气浮侧板上设置有...

本发明公开了一种气浮切割平台，包括：大理石基体，所述大理石基体的上表面伸出大理石基座，大理石基座两侧设置有横梁安装座和气浮侧板，横梁安装座与气浮侧板垂直安装构成直角，并与大理石基座配合。本发明的气浮侧板在受到气浮力与磁力的作用下保持平衡...

本发明公开了一种晶圆裂片移膜机构，所述晶圆移膜机构包括上下移动的上吸附装置和水平移动的下移动吸盘，下移动吸盘沿着复合膜的移动方向往复运动，使得下移动吸盘带着PE膜移动。上吸附装置和下移动吸盘不间断地控制复合膜移动。本发明公开了一种晶圆裂...

本发明公开了一种晶圆裂片圆切机构，包括精密滚珠丝杠组件，滚珠丝杠组件的螺母外侧下部通过轴承旋转固定在切割架上，滚珠丝杠的螺母外侧上部套接齿环，齿环与固定在圆切刀架上的螺杆移动伺服电机的输出端的第一齿轮啮合；螺杆上端部同轴固定圆柱齿轮，圆...

本发明公开了一种晶圆背切装置，包括：设置在同一升降立柱上的两个水平多关节机械手臂，以及与水平多关节机械手臂相配合的晶圆供料平台、三轴晶圆预定位装置和固定在晶圆激光隐切平台上的晶圆隐切装置和陶瓷载台，所述水平多关节机械臂分别为第一水平多关...

一种易换型高精度硅晶圆载台，所述载台包括在基座以及通过真空吸附设置在所述基座上的载盘，所述基座和载盘之间通过定位销定位；所述载台内设置至少一个环形的用于吸附所述基座和所述载盘的真空通道。相对于现有技术，载盘上表面采用多孔陶瓷精度高吸附性...

本发明公开了一种同轴光源座，包括：顶部设置有通孔的同轴光源底座主体、反光立方体组件、光源反射组件和点光源，反光立方体组件安装在通孔内，同轴光源底座主体侧壁开设有进光孔，光源反射组件固定在进光孔所在的侧壁上，点光源固定在光源反射组件上，使...

本发明公开了一种带有电动变焦的工业相机，包括：工业相机主体、与工业相机连接的后置镜头、与后置镜头连接的变焦镜头和与变焦镜头连接的同轴光源座，所述变焦镜头内部设置有用于变焦的活动镜片组和远心镜组，所述滑动镜片组被设置在变焦镜头内部的驱动丝...

本发明公开了一种变焦镜头，包括变焦镜头主体和变焦镜头上盖，所述变焦镜头主体的上下两侧壁均开设有透光孔，变焦镜头主体内部一侧设置有驱动丝杆组件，驱动丝杆组件包括作为滑块的活动螺母，活动螺母连接活动镜片组，活动镜片组与设置在驱动丝杆组件两侧...

本实用新型提供一种晶圆切割设备，包括激光调节系统、切割控制系统、切割机构和功率调节机构；激光调节系统包括扩束镜、与扩束镜相适配的调节波片、与调节波片相适配的第一反射镜、设置在第一反射镜下方的第二反射镜、设置在第二反射镜水平方向的侧端的第...

一种晶圆隐切装置，包括工作台，工作台上设置两个平行的支撑导轨以及被第一驱动机构带动滑动设置在两个所述支撑导轨上的横梁，所述横梁上设置被第二驱动机构带动的可以沿着所述横梁长度方向滑动纵向移动台。本发明中横梁两端伸出所述滑动支撑结构，两端受...

本实用新型提供一种晶圆激光隐切装置，包括大理石机台、线性导轨X轴、气浮导轨Y轴、DD马达驱动旋转W轴、线性导轨Z轴、陶瓷放置台、激光器、激光调光光路和激光聚焦光路；线性导轨X轴固定在所述大理石机台上，气浮导轨Y轴设置在两条的线性导轨X轴...

本实用新型提供一种晶圆切割机用上料机构，包括安装座、伺服电机、减速器、交叉臂、气缸、上料吸盘、下料吸盘、待料位和工作位；减速器固定在安装座上，伺服电机设置在减速器的输入侧，交叉臂设置在减速器的输出侧，伺服电机带动交叉臂旋转运动，上料吸盘...

本实用新型提供一种晶圆切割设备用定位机构，包括固定板，所述固定板的下部一侧设置有电机安装座，所述电机安装座上设置有压电陶瓷电机，所述压电陶瓷电机的下部连接有切割物镜，所述固定板的下部另一侧设置有位移台安装座，所述位移台安装座的下部且在靠...

本实用新型提供一种晶元切割机用气浮平台，包括底座，所述底座的上部基面上设置有对称的双驱轴线性导轨，所述双驱轴线性导轨的一侧设置有双驱轴定子，所述双驱轴定子上连接有双驱轴动子，所述双驱轴线性导轨上架设有气浮轴横梁，所述气浮轴横梁上设置有气...

本实用新型公开了一种晶片解胶装置，涉及晶片生产技术领域，具体为一种晶片解胶装置，包括防尘箱，防尘箱外表面的一侧固定连接有防护罩，防尘箱内表面的侧壁上转动连接有安装杆，安装杆的上表面固连接有支架杆，支架杆的底部固定连接有放置板，放置板的下...

本实用新型公开了一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，涉及晶圆加工技术领域，包括箱体，所述箱体的内侧壁中部固定连接有固定块，所述固定块将箱体的内部从上往下依次分割成上空腔和下空腔，所述上空腔的内部设置有撕膜结构，所述下空腔的内部设置有贴膜结...

本实用新型公开了一种晶圆表面薄膜制备装置，涉及晶圆表面薄膜制备技术领域，具体为一种晶圆表面薄膜制备装置，包括薄膜制备固定台板，所述薄膜制备固定台板的上方固定连接有多通道气滑环，所述多通道气滑环包括气滑环外壳，所述气滑环外壳的内部转动连接...