晶圆裂片放膜、移膜机构制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆裂片放膜、移膜机构，在防静电驱动辊和与气涨轴连接的电磁制动器的共同作用下，使得复合膜在放膜机构中始终处于一个张紧的状态，移膜机构在工作时，保证复合膜在移动过程中始终受到上吸附装置或下移动吸盘控制，放膜机构中的驱动下压机构，能够调节放膜机构和移膜机构之间的复合膜始终处于张紧的状态。移膜机构保证复合膜在输送过程中，始终处于张紧状态，切割机构中的无杆气缸和导轨气缸能够控制切割刀对复合膜进行精准切割。贴膜机构将切割完成后的PE膜贴在晶圆上，并且贴膜机构中的辊压机构能够将PE膜贴的更加牢固。更加牢固。更加牢固。

【技术实现步骤摘要】
晶圆裂片放膜、移膜机构


[0001]本专利技术属于碳化硅晶圆裂片
，特别是涉及一种晶圆裂片放膜、移膜机构。

技术介绍

[0002]碳化硅晶圆经过激光隐切加工，激光束聚焦在晶圆内部，对焦点位置晶圆形成瞬间高温，在晶圆内部形成一系列纵横交错的破坏层，碳化硅晶圆硬度较高无法通过扩膜方式使晶圆裂开，需要适合设备沿晶圆切割道一条一条破开，芯片表面对碎屑敏感，裂片过程中在晶圆表面贴一层PE膜，防止裂片机构的劈刀和晶圆表面直接接触，也防止劈裂过程中产生的碎屑溅污染芯片。
[0003]复合膜在输送过程中需要始终处于一个张紧的状态，保持运输精度。目前的移膜是将晶圆放膜机构放出膜后，直接平铺在晶圆上方，利用滚动托辊将PE膜铺平，在铺平时容易受别的因素影响。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种能够在放膜和输送时，保证复合膜始终处于张紧状态的晶圆裂片放膜、移膜机构。
[0005]具体方案如下：晶圆裂片放膜、移膜机构，包括放膜机构和移膜机构，放膜机构和移动机构共同控制复合膜，使复合膜处于张紧状态。
[0006]所述晶圆放膜机构包括设置在放膜固定架上的放膜辊系，放膜辊系包括防静电驱动辊、气涨轴和与气涨轴连接的电磁制动器；气涨轴用于固定复合膜卷，防静电驱动辊驱动复合膜输送，防静电驱动辊与气涨轴连接的电磁制动器相互配合使复合膜拉紧。
[0007]所述设置在放膜固定架上的放膜棍系按照PE膜移动方向分别为，气涨轴用于固定复合膜卷，气涨轴端部连接有电磁制动器，第一从动换向辊将复合膜第一次换向，防静电驱动辊驱动PE膜移动，张紧压辊用于张紧复合膜，使得复合膜与防静电驱动辊接触，以及第二从动换向辊将复合膜输出到下移动吸盘。
[0008]所述张紧压辊由驱动下压机构控制，驱动下压机构包括下压气缸座、驱动下压气缸、张紧下压板、导轨、张紧压辊门型固定座和张紧压辊；下压气缸座固定在放膜固定架顶部；驱动下压气缸固定在下压气缸座顶部，且驱动下压气缸的活塞杆贯穿下压气缸座进入到放膜固定架内部；导轨固定在固定架的侧壁上，导轨的方向和驱动下压气缸的活塞杆的方向一致；张紧压辊门型固定座固定在驱动下压气缸的活塞杆末端，并在导轨中滑动；张紧压辊转动连接在张紧压辊门型固定座。
[0009]所述晶圆移膜机构包括上下移动的上吸附装置和水平移动的下移动吸盘，下移动吸盘沿着复合膜的移动方向往复运动，使得下移动吸盘带着PE膜移动。上吸附装置和下移动吸盘不间断地控制复合膜移动。
[0010]所述上吸附装置通过可调压力式移动座由垂直伺服模组带动上下移动，下移动吸
盘带动复合膜移动到切膜位，上吸附装置下移，使上吸附装置与下移动吸盘同时对复合膜吸附，切膜完成后，上吸附装置上移，下移动吸盘复位，上吸附装置下移，使得上吸附装置与下移动吸盘重新同时对复合膜进行吸附。
[0011]所述上吸附装置包括：上负压源、固定位吸盘导轨和固定位吸盘，上负压源设置在可调压力式移动座上，吸附直线轴承包括吸附直线轴承套和吸附直线轴承轴，吸附直线轴承套固定在可调压力式移动座顶部，吸附直线轴承轴穿过吸附直线轴承套，吸附直线轴承轴顶部设置有吸附直线轴承轴限位块，吸附直线轴承的方向和可调压力式移动座的移动方向一致；底部设置有吸盘浮动安装板，吸盘浮动安装板与可调压力式移动座之间设置有弹簧，固定位吸盘连接在吸盘浮动安装板底部，固定位吸盘通过上气道与上负压源连接。
[0012]上吸附装置还包括移动吸附辊压机构，移动吸附辊压机构包括：浮动压辊气缸、浮动板、浮动压辊门型固定座、浮动直线轴承和浮动压辊；浮动压辊气缸固定连接在可调压力式移动座上，浮动板固定在浮动压辊气缸的活塞杆末端，移动方向与可调压力式移动座的移动方向一致，在浮动板两侧均设置有浮动直线轴承，浮动直线轴承包括浮动直线轴承套和浮动直线轴承轴，浮动直线轴承套固定在浮动板上，浮动直线轴承轴穿过浮动直线轴承套，浮动直线轴承轴顶部设置有浮动直线轴承轴限位块，底部与浮动压辊门型固定座连接，浮动压辊转动连接在浮动压辊门型固定座上。浮动气缸控制浮动板上下移动，通过浮动直线轴承轴的限位块带动整个浮动压辊门型座与浮动压辊上下移动，浮动压辊对复合膜的压力为浮动压辊门型固定座和浮动压辊的重力。
[0013]所述下移动吸盘中设有下负压源，下移动吸盘顶部分为放料位与取料位，放料位与取料位顶部均布有气孔，气孔均通过下吸附气道与下负压源连接，放料位与取料位的气孔与不同下负压源连接。
[0014]本专利技术公开了一种晶圆裂片放膜、移膜机构，包括放膜机构和移膜机构，放膜机构和移动机构共同控制复合膜，使复合膜处于张紧状态。在防静电驱动辊和与气涨轴连接的电磁制动器的共同作用下，使得复合膜在放膜机构中始终处于一个张紧的状态，移膜机构在工作时，保证复合膜在移动过程中始终受到上吸附装置或下移动吸盘控制，放膜机构中的驱动下压机构，能够调节放膜机构和移膜机构之间的复合膜始终处于张紧的状态。
附图说明
[0015]图1是本专利技术的结构示意图；图2是放卷机构的结构示意图；图3是放卷机构的俯视图；图4是驱动下压机构的结构示意图；图5是驱动下压机构的侧视图；图6是移膜机构的结构示意图；图7是移膜机构的侧视图；图8是上吸附装置的结构示意图；图9是上吸附装置的侧视图图；图10是上吸附装置的实施例一的仰视图；图11是上吸附装置的实施例二的仰视图；
图12是下移动吸盘的实施例一俯视图；图13是下移动吸盘的实施例二俯视图；图14是贴膜机构的结构示意图；100、放膜机构，110、放膜固定架，120、放膜辊系，121、防静电驱动辊，121、气涨轴，1211、电磁制动器，122、第一从动换向辊，123,、第二从动换向辊，130、驱动下压机构，131、下压气缸座，132，驱动下压气缸，133，张紧下压板，134，导轨、135、张紧压辊门型固定座，136、张紧压辊，200、垂直伺服模组，300、水平伺服模组，400、移膜机构，410、上吸附装置，411、可调压力式移动座，412、上负压源，413、吸附直线轴承，4131、吸附直线轴承套，4132、吸附直线轴承轴，414、固定位吸盘，415、吸附直线轴承轴限位块，420、下移动吸盘，421、放料位，422、取料位，430、移动吸附辊压机构，431、浮动压辊气缸，431、浮动板，433、浮动压辊门型固定座，434、浮动直线轴承，435、浮动压辊，500、贴膜机构，510、移动伺服模组，511、移动水平伺服模组，512、移动垂直伺服模组，520、移动吸附底座，530、移动吸附装置，531、移动吸附直线轴承，532、移动吸附固定位吸盘，533、移动吸附限位块，540、辊压机构，541、辊压气缸，542、辊压浮动板，543、辊压直线轴承，544、滚轴门型座，545、滚轴，600、机架，700、切膜机构，710、无杆气缸，720、导杆气缸，730、切割刀，800、气浮载台。
具体实施方式
[0016]下面将结合本专利技术中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆裂片放膜、移膜机构，包括放膜机构和移膜机构，其特征在于，放膜机构和移动机构共同控制复合膜，使复合膜处于张紧状态。2.根据权利要求1所述的晶圆裂片放膜、移膜机构，其特征在于，所述晶圆放膜机构包括设置在放膜固定架上的放膜辊系，放膜辊系包括防静电驱动辊、气涨轴和与气涨轴连接的电磁制动器；气涨轴用于固定复合膜卷，防静电驱动辊驱动复合膜输送，防静电驱动辊与气涨轴连接的电磁制动器相互配合使复合膜拉紧。3.根据权利要求2所述的晶圆裂片放膜、移膜机构，其特征在于，所述设置在放膜固定架上的放膜棍系按照PE膜移动方向分别为，气涨轴用于固定复合膜卷，气涨轴端部连接有电磁制动器，第一从动换向辊将复合膜第一次换向，防静电驱动辊驱动PE膜移动，张紧压辊用于张紧复合膜，使得复合膜与防静电驱动辊接触，以及第二从动换向辊将复合膜输出到下移动吸盘。4.根据权利要求3所述的晶圆裂片放膜、移膜机构，其特征在于，所述张紧压辊由驱动下压机构控制，驱动下压机构包括下压气缸座、驱动下压气缸、张紧下压板、导轨、张紧压辊门型固定座和张紧压辊；下压气缸座固定在放膜固定架顶部；驱动下压气缸固定在下压气缸座顶部，且驱动下压气缸的活塞杆贯穿下压气缸座进入到放膜固定架内部；导轨固定在固定架的侧壁上，导轨的方向和驱动下压气缸的活塞杆的方向一致；张紧压辊门型固定座固定在驱动下压气缸的活塞杆末端，并在导轨中滑动；张紧压辊转动连接在张紧压辊门型固定座。5.根据权利要求1所述的晶圆裂片放膜、移膜机构，其特征在于，所述晶圆移膜机构包括上下移动的上吸附装置和水平移动的下移动吸盘，下移动吸盘沿着复合膜的移动方向往复运动，使得下移动吸盘带着PE膜移动；上吸附装置和下移动吸盘不间断地控制复合膜移动。6.根据权利要求5所述的晶圆裂片放膜、移膜机构，其特征在于，所述上吸附装置通过可调压力式移动座由垂直伺服模组带动上下移动，下移动吸盘带动复合膜移动到切膜位，上吸附装置下移，使上吸附装置与下...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫兴，陶为银，巩铁建，蔡正道，乔赛赛，张伟，鲍占林，王鹏，杜磊，
申请(专利权)人：河南通用智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：