一种气浮轨道装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种气浮轨道装置，包括：大理石基体，所述大理石基体的上表面伸出大理石基座，大理石基座两侧设置有横梁安装座和气浮侧板，横梁安装座与气浮侧板垂直安装构成直角，并与大理石基座配合，大理石基座的两侧均设置有磁性材料；气浮侧板上设置有与磁性材料高度相对应的第一磁铁，磁铁的下方设置有侧板气浮平板轴承，横梁安装座上表面设置有横梁安装槽，横梁安装座底部设置有安装板气浮平板轴承，气浮侧板在受到气浮力与磁力的作用下保持平衡，横梁安装座在在受到重力与气浮力之间保持平衡。本发明专利技术的气浮侧板在受到气浮力与磁力的作用下保持平衡，在运行过程中，通过正压与负压之间配合能够平稳的运行。负压之间配合能够平稳的运行。负压之间配合能够平稳的运行。

【技术实现步骤摘要】
一种气浮轨道装置


[0001]本专利技术涉及晶圆隐切
，特别是涉及一种气浮轨道装置。

技术介绍

[0002]晶圆激光隐切和及晶圆low
‑
k膜激光刻槽等高精度加工过程中，要求整个运动系统运行稳定性高，普通导轨在低俗运行中容易爬行，高速运行过程中生热严重，长期运行需要定期维护，运行过程中摩擦阻力大，设备精度收安装底座、导轨、滑块、滑块安装座等多因素影响。普通导轨在低俗运行中容易爬行，高速运行过程中生热严重，长期运行需要定期维护，运行过程中摩擦阻力大，设备精度收安装底座、导轨、滑块、滑块安装座等多因素影响。
[0003]常规气浮轴承多采用正压加负压方式，正压入口将大量压缩空气排出支撑起气浮轴承，负压则通过真空气腔将气浮轴承与接触面吸引，通过正压和负压的相互作用使得气浮轴承稳定运行，采用负压会引起过多资源的浪费，负压的压力不稳定会引起气浮轴承运行的波动。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种能够在运行过程中平稳、并能减小摩擦的气浮轨道装置。
[0005]具体方案如下：本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气浮轨道装置，包括：大理石基体，其特征在于，所述大理石基体的上表面伸出大理石基座，大理石基座两侧设置有横梁安装座和气浮侧板，横梁安装座与气浮侧板垂直安装构成直角，并与大理石基座配合，大理石基座的两侧均设置有磁性材料；气浮侧板上设置有与磁性材料高度相对应的第一磁铁，磁铁的下方设置有侧板气浮平板轴承，横梁安装座上表面设置有横梁安装槽，横梁安装座底部设置有安装板气浮平板轴承，气浮侧板在受到气浮力与磁力的作用下保持平衡，横梁安装座在在受到重力与气浮力之间保持平衡。2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫兴，陶为银，巩铁建，蔡正道，乔赛赛，张伟，鲍占林，王鹏，杜磊，
申请(专利权)人：河南通用智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：