一种晶元切割机用气浮平台制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶元切割机用气浮平台，包括底座，所述底座的上部基面上设置有对称的双驱轴线性导轨，所述双驱轴线性导轨的一侧设置有双驱轴定子，所述双驱轴定子上连接有双驱轴动子，所述双驱轴线性导轨上架设有气浮轴横梁，所述气浮轴横梁上设置有气浮块，所述气浮块包括设置在气浮轴横梁下部的底部气浮块和设置在底部气浮块上且在气浮轴横梁两侧的侧边气浮块，所述气浮轴横梁的上方且在侧边气浮块的上部设置有转台安装台，所述转台安装台上设置有DD转台，所述转台安装台的下部且在两侧的侧边气浮块内设置有气浮轴定子和气浮轴动子，可以有效避免线性导轨表面微观上的凹凸造成运动过程中Z向的跳动和丝杆的长时间运动导致的热变形和磨损问题。动导致的热变形和磨损问题。动导致的热变形和磨损问题。

【技术实现步骤摘要】
一种晶元切割机用气浮平台


[0001]本技术涉及切割机气浮平台
，具体涉及一种晶元切割机用气浮平台。

技术介绍

[0002]传统XY运动平台由线性导轨和滚珠丝杆等构成，而线性导轨和滚珠丝杆自身精度有限，且长时间的运动会导致线性导轨磨损影响导向精度，丝杆长时间运动会因为发热导致丝杆产生热变形，影响整个平台的定位精度，且。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供一种晶元切割机用气浮平台，可以有效避免线性导轨表面微观上的凹凸造成运动过程中Z向的跳动和丝杆的长时间运动导致的热变形和磨损问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种晶元切割机用气浮平台，包括底座，所述底座的上部基面上设置有对称的双驱轴线性导轨，所述双驱轴线性导轨的一侧设置有双驱轴定子，所述双驱轴定子上连接有双驱轴动子，所述双驱轴线性导轨上架设有气浮轴横梁，所述气浮轴横梁上设置有气浮块，所述气浮块包括设置在气浮轴横梁下部的底部气浮块和设置在底部气浮块上且在气浮轴横梁两侧的侧边气浮块，所述气浮轴横梁的上方且在侧边气浮块的上部设置有转台安装台，所述转台本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶元切割机用气浮平台，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)的上部基面上设置有对称的双驱轴线性导轨(2)，所述双驱轴线性导轨(2)的一侧设置有双驱轴定子(3)，所述双驱轴定子(3)上连接有双驱轴动子(4)，所述双驱轴线性导轨(2)上架设有气浮轴横梁(5)，所述气浮轴横梁(5)上设置有气浮块，所述气浮块包括设置在气浮轴横梁(5)下部的底部气浮块(6)和设置在底部气浮块(6)上且在气浮轴横梁(5)两侧的侧边气浮块(7)，所述气浮轴横梁(5)的上方且在侧边气浮块(7)的上部设置有转台安装台，所述转台安装台上设置有DD转台(11)，所述转台安装台的下部且在两侧的侧边气浮块(7)内设置有气浮轴定子(8)和气浮轴动子(9)。2.如权利要求1所述的晶元切割机用气浮平台，其特征在于：所述底座(1)为大理石材质，所述双驱轴线性导轨(2)固定连接在底座(1)的上基面。3.如权利要求1所述的晶元切割机用气浮平台，其特征在于：所述双驱轴线性导轨(2)在底座(1)上对称设置有两组，所述双驱轴线性导轨(2)的内部设置有直线电机，所述双驱轴线性导轨(2)有两组且与其内的直线电机形成龙门双驱。4.如权利要求1所述的晶元切割机用气浮平台，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：巩铁建，陶为银，蔡正道，张伟，
申请(专利权)人：河南通用智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：