本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆激光low

本实用新型公开了一种全自动晶圆覆膜机，包括：机台架、复合膜放膜系统、收余料系统、保护膜收膜系统、晶圆贴膜系统、多功能机器人系统和供料系统，所述复合膜放膜系统、收余料系统、保护膜收膜系统设置在机台架的纵向侧壁上，晶圆贴膜系统设置在机台架的...

本发明公开了一种晶圆冷扩热缩装置及其冷扩热缩方法，包括机架，还包括设置在机架上的冷扩机构和热缩机构，所述冷扩机构和热缩机构之间设置有用于将冷扩机构中的产品转移至热缩机构中的转移机构。优点：通过设置冷扩机构，利用DAF膜在低温环境下脆化的...

本实用新型公开的一种晶圆转接装置，包括固定在多功能机械手上的转运机械手和带有吸附区的贴膜平台，贴膜平台上设置垂直贯穿贴膜平台的升降支柱，通过利用转运机械手中的负压对晶圆进行吸附，将晶圆从料仓中取出，放置到升起的升降支柱上，过程平稳不会对...

本实用新型公开的用于环切的晶圆载台，包括贴膜平台，贴膜平台上设置环切时与环切刀对应的环切槽。贴膜平台上设置环切槽，能够使得在对BG膜进行圆切时，环切刀与贴膜平台之间不会发生碰撞。会发生碰撞。会发生碰撞。

本实用新型提供一种晶圆激光隐切设备透明载台，所述载台上表面设置用于放置晶圆的晶圆放置区，载台上表面还设置吸附区，所述载台上设置负压吸附气路，所述负压吸附气路一端设置在吸附区，另一端通过管道连通负压源，所述载台上表面包括透光材料制成的透明...

本实用新型提供一种晶圆吸附载台气路，包括载台，所述载台上表面设置用于放置晶圆的晶圆放置区，载台上表面还设置吸附区，所述载台上设置负压吸附气路，所述负压吸附气路一端设置在吸附区，另一端通过管道连通负压源，所述负压吸附气路包括设置在吸附区上...

本实用新型提供一种晶圆覆膜载台，包括覆膜工作台，覆膜工作台上设置载台，载台上表面设置用于放置晶圆的晶圆放置区，所述载台上表面还设置吸附区；所述覆膜工作台下方设置被升降驱动机构带动可以伸缩的升降支柱，所述载台的晶圆放置区设置中间通孔，所述...

一种高精度晶圆载台陶瓷载盘，所述载盘上端设置多孔陶瓷层；所述载盘下表面设置至少一个环形的载盘真空通道，所述载盘下表面位于所述载盘真空通道的中心区域还设置载盘真空气腔。相对于现有技术，载盘上表面采用多孔陶瓷精度高吸附性好。所述真空通道使得...

一种易换型高精度硅晶圆载台，所述载台包括在基座以及通过真空吸附设置在所述基座上的载盘，所述基座和载盘之间通过定位销定位；所述载台内设置至少一个环形的用于吸附所述基座和所述载盘的真空通道。相对于现有技术，载盘上表面采用多孔陶瓷精度高吸附性...

本实用新型公开的便于调角度的热切刀，包括旋转切割部件和贴膜平台，旋转切割部件包括固定在多功能机械手上的旋转切割座，旋转切割座上固定旋转驱动电机，旋转驱动电机的输出轴处连接旋转臂，旋转臂一端设置环切刀组件；通过角度调节机构对环切刀的角度进...

本实用新型公开了一种旋转切割组件，包括：旋转驱动装置、固定在旋转驱动装置输出轴末端的旋转臂和与旋转臂端部连接的可调刀轮组，所述可调刀轮组包括：刀轮安装座、摆动装置、活动板和刀轮；刀轮安装座固定在旋转臂端部，活动板与刀轮安装座之间通过摆动...

本实用新型公开了一种晶圆裂片移膜机构，所述晶圆移膜机构包括上下移动的上吸附装置和水平移动的下移动吸盘，下移动吸盘沿着复合膜的移动方向往复运动，使得下移动吸盘带着PE膜移动。上吸附装置和下移动吸盘不间断地控制复合膜移动。本实用新型公开了一...

本实用新型公开了一种晶圆裂片贴膜机构，包括：安装在机架上的移动伺服模组、移动吸附底座和移动吸附装置，移动吸附底座安装在移动伺服模组上下移动的组件中，移动吸附装置安装在移动吸附底座上，移动吸附装置包括移动吸附直线轴承、移动吸附负压源和移动...

本实用新型公开了一种多功能机械手，包括底座，底座侧方固定有吸盘机械手，与吸盘机械手所在侧壁的相对侧壁设置旋转切割组件，与吸盘机械手所在侧壁的相邻侧壁设置视觉系统，视觉系统的朝向与旋转切割组件的朝向一致。本实用新型通过六轴机械臂控制多功能...

本实用新型公开了一种气浮轨道装置，包括：大理石基体，所述大理石基体的上表面伸出大理石基座，大理石基座两侧设置有横梁安装座和气浮侧板，横梁安装座与气浮侧板垂直安装构成直角，并与大理石基座配合，大理石基座的两侧均设置有磁性材料；气浮侧板上设...

本实用新型公开了一种带有电动变焦的工业相机，包括：工业相机主体、与工业相机连接的后置镜头、与后置镜头连接的变焦镜头和与变焦镜头连接的同轴光源座，所述变焦镜头内部设置有用于变焦的活动镜片组和远心镜组，所述滑动镜片组被设置在变焦镜头内部的驱...

本实用新型公开了一种变焦镜头，包括变焦镜头主体和变焦镜头上盖，所述变焦镜头主体的上下两侧壁均开设有透光孔，变焦镜头主体内部一侧设置有驱动丝杆组件，驱动丝杆组件包括作为滑块的活动螺母，活动螺母连接活动镜片组，活动镜片组与设置在驱动丝杆组件...

本实用新型公开了一种同轴光源座，包括：顶部设置有通孔的同轴光源底座主体、反光立方体组件、光源反射组件和点光源，反光立方体组件安装在通孔内，同轴光源底座主体侧壁开设有进光孔，光源反射组件固定在进光孔所在的侧壁上，点光源固定在光源反射组件上...

本实用新型提供一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，属于晶圆生产技术领域，包括底座，所述底座的上方连接有用于对晶圆位置限定的定位座，所述底座的一侧连接有滑动板，所述滑动板前后滑动在底座上，所述底座与滑动板之间设置有连接在滑动板上的活动板，所...