本实用新型公开了一种UTG切割机，包括机架，机架的X方向的两侧分别设置有上料机构和下料机构，上料机构和下料机构之间设置有激光机构、沿X方向设置在机架上的清洁机构、沿X方向设置在机架上用于转移成品料的第一转移机构和用于转移废料的第二转移机...

本发明公开了一种SiC晶锭剥离装置及其剥离方法，包括机架，还包括设置在机架上的超声波机构、剥离机构以及用于将超声波机构中的晶锭转移至剥离机构的转移机构。优点：通过超声波对晶锭内部改质层施加高频振动，使得改质层充分扩展，然后再利用剥离机构...

本发明公开了一种钙钛矿溶液涂敷装置及涂敷方法，包括机架，还包括设置在机架上的输送机构、设置在机架上用于对输送机构上的产品进行喷洒的喷洒机构以及用于对喷洒后的产品进行加热的加热装置，所述输送机构包括设置在机架上的直线导轨、滑动设置在直线导...

本发明公开了一种晶棒剥离装置及剥离方法，包括机架，还包括设置旋转座以及设置在机架上用于驱动旋转座转动的旋转驱动机构、位于旋转座上方的升降座以及设置在机架上用于驱动升降座升降的升降驱动机构、与升降座可拆卸连接的上盖板以及与旋转座可拆卸连接...

本实用新型公开了一种小区域多工位转运装置，包括机架、第一工位、第二工位、第三工位和第四工位，空置区上沿X方向设置有位于第一工位和第二工位之间的第一转移机构，机架上设置有第一双轴转移机构，第一双轴转移机构包括双轴转移组件、设置在第三工位和...

本实用新型公开了一种晶圆双向移料装置，包括机架、设置在机架上的储料机构、设置在机架上的UV解胶机构以及设置在储料机构和UV解胶机构之间的中转机构和双头夹爪机构，所述储料机构的出料口与UV解胶机构的进料口对应，所述双头夹爪机构包括两端分别...

本发明提供了一种陪条取放机及陪条取放方法，包括一号机架，所述一号机架上设置钢环安装部以及位于钢环安装部内的一号圆孔，还包括设置在一号机架上方的吸取机构和设置在一号机架下方的顶升机构，所述吸取机构包括连接板、驱动连接板运动的一号动力组件、...

本发明公开了一种晶圆清洗线及晶圆清洗方法，包括机架，所述机架上沿X方向依次设置有上料站、第一工站、第二工站、第三工站、第四工站和下料站，所述上料站和第一工站之间设置有第一静电吸附机构，所述第四工站和下料站之间设置有第二静电吸附机构，所述...

本实用新型公开了一种晶圆背切装置，包括：设置在同一升降立柱上的两个水平多关节机械手臂，以及与水平多关节机械手臂相配合的晶圆供料平台、三轴晶圆预定位装置和固定在晶圆激光隐切平台上的晶圆隐切装置和陶瓷载台，所述水平多关节机械臂分别为第一水平...

本实用新型公开的承接晶圆机构，包括垂直贯穿贴膜平台的升降支柱，贴膜平台上设置吸附区，升降支柱位于吸附区中间位置。通过升降支柱的升起，用来接收晶圆，随着升降支柱的降落，晶圆被运输至贴膜平台上，贴膜平台对晶圆进行吸附固定，整个过程，晶圆被平...

本实用新型提供一种晶圆加工用涂胶装置，属于晶圆加工设备技术领域，包括装置机架，所述装置机架上设有用于固定晶圆的旋转升降工装以及同于晶圆涂层的涂覆机构，所述旋转升降工装上固定设有清洗槽，装置机架的上表面四角处设有便于吊装、搬运的吊环，所述...

本实用新型公开了一种晶圆冷扩机构，包括底板、侧板和盖板，其中一个侧板上设置有进料孔且挡板以及三号气缸，侧板、盖板、挡板和底板形成腔体，侧板上设置有进气口，腔体内设置有托举板和顶板，底板设置有一号直线轴承和二号直线轴承，一号直线轴承内套设...

本实用新型公开了一种晶圆热缩加工机构，包括机架、盖板组件、可相对机架升降的安装架、固定架以及热吹风组件，安装架包括一号架和二号架，一号架包括若干可相对机架端面升降的一号导轴、托板以及与一号导轴下端固定连接的三号板，二号架包括若干二号导轴...

本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，包括安装座、连接座、环形槽、设置在连接座上的旋转升降组件、设置在环形槽的内壁的喷头和设置在环形槽外的伺服电机，连接座设置在环形槽的环孔下方，旋转升降组件包括一号电机、固定设置在连接座上且输出端向上的四号...

本实用新型公开了一种调整刻槽宽度装置，包括激光器，激光器发出激光由扩束镜将光斑放大，放大后依次经过光闸、玻片、偏振分束立方、光阑、反光镜组进入光学调整系统，经调整后依次通过DOE镜片和聚焦系统投射在加工平台上，DOE镜片将光束成形为矩形...

本发明公开了一种晶圆加工设备及晶圆加工方法，包括机架、储料机构、对位机构、用于对产品的DAF膜进行冷扩的冷扩机构、用于对产品的UV膜进行热缩的热缩机构、清洗机构以及UV解胶机构，还包括推移夹取组件和中转台、用于将储料机构中的产品转移至对...

本实用新型公开的保证环切的平衡的装置，包括可旋转的旋转臂，旋转臂的转动轴线的两端分别设置环切刀具，以及平衡组件，平衡组件保证旋转臂在旋转时旋转臂的重心处于平衡状态。能够保证环切刀的角度进行调整后，旋转臂的重心不发生偏移，保证在切割时，平...

本实用新型公开了一种晶圆裂片圆切机构，包括精密滚珠丝杠组件，滚珠丝杠组件的螺母外侧下部通过轴承旋转固定在切割架上，滚珠丝杠的螺母外侧上部套接齿环，齿环与固定在圆切刀架上的螺杆移动伺服电机的输出端的第一齿轮啮合；螺杆上端部同轴固定圆柱齿轮...

本实用新型公开了一种晶圆裂片放膜机构，包括设置在放膜固定架上的放膜辊系，放膜辊系包括防静电驱动辊、气涨轴和与气涨轴连接的电磁制动器；气涨轴用于固定复合膜卷，防静电驱动辊驱动复合膜输送，防静电驱动辊与气涨轴连接的电磁制动器相互配合使复合膜...

本实用新型提供一种激光隐切设备背光定位装置，包括工作台上设置可以在工作台上移动并且转动的载台；所述工作台的上方设置可以上下移动的激光切割机构；载台上表面设置用于放置晶圆的晶圆放置区以及用于提供负压吸附晶圆的吸附区，晶圆放置区上晶圆轮廓线...