本申请涉及晶圆研磨垫加工技术领域，且公开了一种晶圆研磨垫表面沟槽加工排屑装置，包括中空刀座，所述中空刀座的下侧均匀固定连接有多个切削刀，所述中空刀座的下侧开设有多个位于相邻两个切削刀之间的通孔，且对应通孔内活动插套有推拉杆，所述推拉杆的...

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种制备晶圆钻石整理器过程的模具，包括模具，所述模具的下侧内壁放置有升降板，所述升降板的下侧设有升降机构。本实用新型能够在制造好钻石整理器后，方便将制造好的钻石整理器从模具内取出，提高了钻石整理器...

本实用新型涉及化学机械研磨技术领域，且公开了一种单独拆卸研磨齿的保持环，包括保持环主体，所述保持环主体的上表面开设有多个连接开槽，且连接开槽的槽臂固定连接有限位杆，所述限位杆的杆壁活动套接有连接块，所述连接块的上表面固定连接有扇形研磨齿...

本申请涉及毛刷盘技术领域，且公开了一种可更换毛刷的钻石整理毛刷盘，包括毛刷盘基体，所述毛刷盘基体的上表面均匀开设有多个卡放凹槽，且对应卡放凹槽内固定卡嵌有毛刷头，所述毛刷盘基体的下表面开设有多个与卡放凹槽位置对应的定位凹槽，所述毛刷头的...

本实用新型涉及钻石整理器生产技术领域，且公开了一种喷砂撞击制备钻石整理器的设备，包括安装架，所述安装架的内壁转动连接有螺纹杆，所述安装架的右侧壁固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端贯穿安装架的侧壁且与螺纹杆固定连接，所述螺纹杆的杆壁...

本申请涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种毛刷整理器，包括机台，所述机台的端面转动设有旋转座，所述旋转座的上方套设有基体，所述基体的底部开设有圆槽，所述圆槽与旋转座共同连接有安装机构，所述基体的端面固定设有毛刷片，所述毛刷片的端面固定设有...

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种钻石与毛刷复合排列的钻石整理器，包括基板，所述基板的下表面固定连接有连接机构，所述基板的上表面固定连接有嵌设有多个钻石块，所述基板的侧壁开设有多个连接凹槽，所述连接凹槽的槽壁活动连接有连接板，...

本申请涉及钻石整理器生产技术领域，且公开了一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置，包括底座，底座的上方两侧均设有支撑侧板，且两个支撑侧板的侧壁共同固定插接有金属套，金属套的两端均固定设有封板，两个封板之间共同转动连接有转轴，转轴的轴壁固定...

本实用新型涉及研磨垫技术领域，且公开了一种掺杂分布有微气囊的晶圆研磨垫，包括下部和上部，所述上部的内部分布有多个微气囊，多个所述微气囊呈不均匀分布设置，微气囊直径为1

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，且公开了使用UV光照射晶圆pu研磨垫熟化装置，包括熟化台，所述熟化台的右侧壁固定连接有安装筒，所述安装筒的内壁转动连接有螺纹筒，所述螺纹筒的外壁固定套设有锥齿圈，所述安装筒的杆壁转动连接有转杆，所述转杆的...

本实用新型公开了一种芯片研磨支撑垫修整器，包括有基体，基体上有刷齿，所述的基体底部为收缩的台状结构，基体外有电镀层。本实用新型通过在基体的底部设有收缩的台状结构，使得电镀层也呈收缩结构，当将基体底部台状结构加工切削掉一部分时，仍然保持了...

本实用新型公开了一种隔水PU研磨垫，研磨垫的周边设有隔水材料。芯片研磨时，由于芯片的加压，旋转，液体会从研磨垫周边溢出，导致研磨垫中含水不均一，在设有隔水材料后，减少研磨垫内含水量不均一情况。有利于研磨过程中均一性，研磨芯片研磨均匀。研...

本实用新型公开了一种测量芯片研磨垫磨损量的量具，包括有支架，所述支架上安装有多个量具，各量具测头向下。使用时，将量具架设有研磨垫台架上，多个测头直接对准研磨垫，直接读出测头数据，了解研磨垫不同区域磨损量的数值。方便易行。可有利于保证芯片...

本实用新型公开了一种研磨垫加工模具，包括有上、下模，所述上、下模上设有消失模突起。本实用新型通过在上、下模具上根据研磨垫沟槽结构设置消失模突起，注塑成型后，消失模采取水溶性材料，或加温易熔材料，通过加热或水溶除去消失模，研磨垫上直接显露...

本实用新型公开了一种用于金刚石碟的金刚石定位用网板，网板上设有网孔，网孔使得金刚石卡在网孔上，利用不同的长宽比大小，调整金刚石竖立的方向。本实用新型使用时，将需要固定在金刚石碟上的金刚石放在网板上，震动过筛，或者推平金刚石，这样有部分金...

本发明公开了一种将金刚石排列转移到金刚石碟基体上的方法，设有网板，网板上有网孔，将金刚石放在网板上，使金刚石卡在网孔上，在金刚石顶面或底面覆盖一层粘纸或粘板，将金刚石刷顶粘上并取出转移。本发明将金刚石铺放在网板上后，通过网孔筛选并定位卡...

本发明公开了一种金刚石碟的陶瓷粉体与金刚石防氧化烧结方法，设有石墨上、下模具，将陶瓷粉体与金刚石放在石墨模具内烧结。本发明采取石墨作为上下模具材料，金刚石与淘瓷粉体放在上下模具内，并受挤压，金刚石外包覆不被烧结的支护粉体，阻止氧气进入。...

本发明公开了一种调整金刚石碟中金刚石刷尖面的方法，将备用金刚石放入粘胶体中，由于金刚石自身重量沉降，金刚石尖部高度差缩小。本发明通过将金刚石放在粘胶体上，利用金刚石重量的沉降作用，减少金刚石尖部的高度差，更进一步，可以在金刚石尖上使用压...

一种利用真空吸力控制研磨垫沟槽的切削方法，有真空吸盘，真空吸盘表面不同区域设有下沉腔，下沉腔内开有吸气孔，将研磨垫贴合在真空吸盘上，通过真空吸盘抽真空，研磨垫吸合在真空吸盘上，对研磨垫表面进行切削加工，由于真空吸力，对应于下沉腔部位的研...

本发明公开了一种调整PU材料研磨垫亲疏水性的方法，在制备原料中增加亲疏水性的添加剂，以调整PU材料研磨垫的亲疏水性能。达到研磨垫疏水性好，研磨芯片质量提高的效果。研磨芯片质量提高的效果。