一种钻石与毛刷复合排列的钻石整理器制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种钻石与毛刷复合排列的钻石整理器，包括基板，所述基板的下表面固定连接有连接机构，所述基板的上表面固定连接有嵌设有多个钻石块，所述基板的侧壁开设有多个连接凹槽，所述连接凹槽的槽壁活动连接有连接板，所述连接板的上表面固定连接有毛刷片，所述连接板的外侧壁固定连接有卡块，多个所述卡块的外壁共同套接有弧形条。本实用新型专利技术能够使钻石整理器具有边研磨边清理碎屑的能力，提高晶圆研磨的持续性，并提高钻石整理器研磨晶圆的便捷性和效率，而且钻石与毛刷复合排列的钻石整理器还具有毛刷便捷更换维护的功能，同时能够提高该钻石整理器的使用的寿命。石整理器的使用的寿命。石整理器的使用的寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种钻石与毛刷复合排列的钻石整理器


[0001]本技术涉及晶圆加工
，尤其涉及一种钻石与毛刷复合排列的钻石整理器。

技术介绍

[0002]在半导体用晶圆的化学机械平坦化制程中，常见的技术系利用钻石整理器接触晶圆或是其他半导体元件的表面，以对晶圆或是其他半导体元件利用机械力进行研磨，在研磨的同时一并搭配化学腐蚀的研磨液使用，以通过化学反应与物理机械力来移除晶圆或其他半导体元件表面的杂质或不平坦结构。
[0003]目前钻石整理器在对晶圆研磨一段时间后需要停止研磨，然后使用毛刷清理晶圆表面研磨产生的碎屑，之后再接着研磨，导致该研磨过程较为不便，研磨过程较为耗时，进而影响钻石整理器研磨晶圆的便捷性和效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中钻石整理器研磨晶圆中途需要停止研磨清理研磨碎屑，导致研磨过程较为耗时，进而影响钻石整理器研磨晶圆便捷性和效率的问题，而提出的一种钻石与毛刷复合排列的钻石整理器。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种钻石与毛刷复合排列的钻石整理器，包括基板，所述基板的下表面固定连接有连接机构，所述基板的上表面固定连接有嵌设有多个钻石块，所述基板的侧壁开设有多个连接凹槽，所述连接凹槽的槽壁活动连接有连接板，所述连接板的上表面固定连接有毛刷片，所述连接板的外侧壁固定连接有卡块，多个所述卡块的外壁共同套接有弧形条，所述弧形条的内壁开设有与卡块相配合的插槽，所述弧形条的两侧外壁均固定连接有限位机构。
[0007]优选的，所述连接机构包括与基板下表面固定连接的连接环，所述连接环的两侧外壁均开设有通孔，且通孔的孔壁活动连接有固定螺栓，所述固定螺栓的外壁螺纹套接有固定螺母。
[0008]优选的，所述限位机构包括与弧形条外壁固定连接的挂钩，所述挂钩的外壁活动套接有绳环，所述绳环的外壁固定连接有弹片，所述弹片的顶端与基板的侧壁固定连接。
[0009]优选的，所述连接凹槽的两侧槽壁均开设有卡槽，所述卡槽的槽壁活动连接有卡条，所述卡条的外壁与连接板的侧壁固定连接。
[0010]优选的，所述弹片靠近弧形条的一侧固定连接有与弧形条外壁相配合的限位块。
[0011]优选的，所述固定螺栓的外壁活动套接有两个对称分布的弧形垫块。
[0012]优选的，所述基板远离弧形条的一侧固定连接有配重条。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种钻石与毛刷复合排列的钻石整理器，具备以下有益效果：
[0014]1、该钻石与毛刷复合排列的钻石整理器，通过设置有连接机构、钻石块和毛刷片，通过把钻石块和毛刷片复合排列到钻石整理器的基板上，接着通过连接机构把钻石整理器安装到研磨设备上，在研磨时钻石块能够实现晶圆表面研磨，而且在研磨的同时毛刷片能够对研磨产生的碎屑进行清理，中途不需要停止研磨，省时省力，该机构能够使钻石整理器具有边研磨边清理碎屑的能力，提高晶圆研磨的持续性，并提高钻石整理器研磨晶圆的便捷性和效率。
[0015]2、该钻石与毛刷复合排列的钻石整理器，通过设置有限位机构，当毛刷片清理磨损严重需要更换的时候，只需把限位机构的绳环与挂钩分离，之后拨动弹片，然后取出弧形条，接着从连接凹槽内取出需要更换的连接板，连接板带动损伤毛刷片更换即可，无需更换整个钻石整理器，节约了钻石整理器的使用成本，该机构使钻石与毛刷复合排列的钻石整理器具有毛刷便捷更换维护的功能，同时能够提高该钻石整理器的使用的寿命。
[0016]该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本技术能够使钻石整理器具有边研磨边清理碎屑的能力，提高晶圆研磨的持续性，并提高钻石整理器研磨晶圆的便捷性和效率，而且钻石与毛刷复合排列的钻石整理器还具有毛刷便捷更换维护的功能，同时能够提高该钻石整理器的使用的寿命。
附图说明
[0017]图1为本技术提出的一种钻石与毛刷复合排列的钻石整理器的结构示意图；
[0018]图2为本技术提出的一种钻石与毛刷复合排列的钻石整理器俯视的结构示意图;
[0019]图3为本技术提出的一种钻石与毛刷复合排列的钻石整理器A部分的结构示意图。
[0020]图中：1、基板；2、连接机构；21、连接环；22、固定螺栓；23、固定螺母；3、钻石块；4、连接凹槽；5、连接板；6、毛刷片；7、卡块；8、弧形条；9、限位机构；91、挂钩；92、绳环；93、弹片；10、插槽；11、卡槽；12、卡条；13、限位块；14、弧形垫块；15、配重条。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0022]参照图1
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3，一种钻石与毛刷复合排列的钻石整理器，包括基板1，基板1的下表面固定连接有连接机构2，连接机构2包括与基板1下表面固定连接的连接环21，连接环21的两侧外壁均开设有通孔，且通孔的孔壁活动连接有固定螺栓22，固定螺栓22的外壁螺纹套接有固定螺母23，固定螺栓22的外壁活动套接有两个对称分布的弧形垫块14，弧形垫块14能够保证固定螺栓22和固定螺母23固定连接环21的稳定性，该机构能够方便钻石整理器的安装。
[0023]基板1的上表面固定连接有嵌设有多个钻石块3，基板1的侧壁开设有多个连接凹槽4，连接凹槽4的槽壁活动连接有连接板5，连接凹槽4的两侧槽壁均开设有卡槽11，卡槽11的槽壁活动连接有卡条12，卡条12的外壁与连接板5的侧壁固定连接，卡条12和卡槽11能够
提高连接板5与连接凹槽4连接的可靠性。
[0024]连接板5的上表面固定连接有毛刷片6，连接板5的外侧壁固定连接有卡块7，多个卡块7的外壁共同套接有弧形条8，弧形条8的内壁开设有与卡块7相配合的插槽10，基板1远离弧形条8的一侧固定连接有配重条15，配重条15时钻石整理器的重心位于重心位置，进而保证钻石整理器旋转研磨时的稳定性和可靠性。
[0025]弧形条8的两侧外壁均固定连接有限位机构9，限位机构9包括与弧形条8外壁固定连接的挂钩91，挂钩91的外壁活动套接有绳环92，绳环92的外壁固定连接有弹片93，弹片93靠近弧形条8的一侧固定连接有与弧形条8外壁相配合的限位块13，限位块13扩大了弹片93固定弧形条8的面积，金额人提高弧形条8限位的稳定性，弹片93的顶端与基板1的侧壁固定连接，该机构能够方便弧形条8便捷性的拆装，提高钻石整理器维护更换毛刷片6的便捷性。
[0026]本技术中，通过把钻石块3和毛刷片6复合排列到钻石整理器的基板1上，接着通过连接机构2把钻石整理器安装到研磨设备上，通过旋转固定螺母23提高连接环21连接的稳定性，而且在研磨时钻石块3能够实现晶圆表面研磨，另外在研磨的同时毛刷片6能够对研磨产生的碎屑进行清理，中途不需要停止研磨，省时省力，该机构能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种钻石与毛刷复合排列的钻石整理器，包括基板（1），其特征在于，所述基板（1）的下表面固定连接有连接机构（2），所述基板（1）的上表面固定连接有嵌设有多个钻石块（3），所述基板（1）的侧壁开设有多个连接凹槽（4），所述连接凹槽（4）的槽壁活动连接有连接板（5），所述连接板（5）的上表面固定连接有毛刷片（6），所述连接板（5）的外侧壁固定连接有卡块（7），多个所述卡块（7）的外壁共同套接有弧形条（8），所述弧形条（8）的内壁开设有与卡块（7）相配合的插槽（10），所述弧形条（8）的两侧外壁均固定连接有限位机构（9）。2.根据权利要求1所述的一种钻石与毛刷复合排列的钻石整理器，其特征在于，所述连接机构（2）包括与基板（1）下表面固定连接的连接环（21），所述连接环（21）的两侧外壁均开设有通孔，且通孔的孔壁活动连接有固定螺栓（22），所述固定螺栓（22）的外壁螺纹套接有固定螺母（23）。3.根据权利要求1所述的一种钻石与毛刷复合排列的钻石整理器，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文华，毛长虹，颜冠致，
申请(专利权)人：合肥铨得合半导体有限责任公司，
类型：新型
国别省市：