本实用新型专利技术涉及晶圆加工技术领域，且公开了使用UV光照射晶圆pu研磨垫熟化装置，包括熟化台，所述熟化台的右侧壁固定连接有安装筒，所述安装筒的内壁转动连接有螺纹筒，所述螺纹筒的外壁固定套设有锥齿圈，所述安装筒的杆壁转动连接有转杆，所述转杆的左端固定连接有锥齿轮，所述螺纹筒内螺纹套接有螺纹杆，所述螺纹杆的上端固定连接有升降板，所述升降板下侧壁固定连接有UV灯板。本实用新型专利技术能够在pu研磨垫支撑后，将pu研磨垫放置到熟化台上，然后向下移动UV灯板到合适的位置，对pu研磨垫进行熟化，从而能够拉近UV灯板和pu研磨垫之间距离，调节pu研磨垫的熟化速度。提高其性能与耐候性。性。性。
【技术实现步骤摘要】
使用UV光照射晶圆pu研磨垫熟化装置
[0001]本技术涉及晶圆加工
，尤其涉及使用UV光照射晶圆pu研磨垫熟化装置。
技术介绍
[0002]晶片的研磨采用钻石整理器进行研磨，钻石整理器有基体，基体上表面嵌入有钻石，钻石上表面平齐，钻石约一半露在外面，通过钻石尖棱，对晶圆进行研磨，使得晶圆片平整，晶圆片在被研磨时，需要放置到pu研磨垫上。
[0003]pu研磨垫是利用聚氨酯制成的，通过修改聚氨酯的配方就可以得到不同密度、弹性和刚性的研磨垫。这种研磨垫的性能与耐候性有所不足。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是pu研磨垫在刚制备后，需要利用UV灯光进行照射熟化，以提高其性能与耐候性，在利用UV灯光进行照射时，能够根据实际需求改变UV灯光的放置高度，调节pu研磨垫熟化的程度，提出一种使用UV光照射晶圆pu研磨垫熟化装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]使用UV光照射晶圆pu研磨垫熟化装置，包括熟化台，所述熟化台的右侧壁固定连接有安装筒，所述安装筒的内壁转动连接有螺纹筒，所述螺纹筒的外壁固定套设有锥齿圈，所述安装筒的杆壁转动连接有转杆，所述转杆的左端固定连接有锥齿轮，所述螺纹筒内螺纹套接有螺纹杆，所述螺纹杆的上端固定连接有升降板，所述升降板下侧壁固定连接有UV灯板。所述的灯板（9）格栅状安装有发光UV灯阵列,所述的发光UV灯阵列外接电源。
[0007]优选的，所述UV灯板的外壁固定有环管，所述升降板的上侧壁固定连接有处理箱，所述处理箱的右侧壁固定连接有吸气泵的吸气端贯穿升降板的侧壁且与环管的上侧壁固定连通，所述环管的下侧壁固定连通有多个吸气罩。
[0008]优选的，所述转杆的右端固定连接有把手。
[0009]优选的，所述把手的侧壁固定连接有摩擦环。
[0010]优选的，所述安装筒的右侧壁固定连接有限位杆，所述螺纹杆的杆壁开设与限位杆相互匹配的限位槽。
[0011]优选的，所述处理箱的侧壁设有观察窗。
[0012]采用上述技术方案：
[0013]与现有技术相比，本技术提供了使用UV光照射晶圆pu研磨垫熟化装置，具备以下有益效果：
[0014]该使用UV光照射晶圆pu研磨垫熟化装置，通过设置的熟化台、安装筒、螺纹筒、锥齿圈、转杆、锥齿轮、螺纹杆、升降板、UV灯板，能够在pu研磨垫支撑后，将pu研磨垫放置到熟化台上，然后向下移动UV灯板到合适的位置，对pu研磨垫进行熟化，从而能够拉近UV灯板和pu研磨垫之间距离，调节pu研磨垫的熟化速度。以提高pu研磨垫的性能与耐候性。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的使用UV光照射晶圆pu研磨垫熟化装置的结构示意图。
[0016]图中：1、熟化台；2、安装筒；3、螺纹筒；4、锥齿圈；5、转杆；6、锥齿轮；7、螺纹杆；8、升降板；9、UV灯板；10、环管；11、处理箱；12、吸气泵；13、吸气罩；14、把手；15、摩擦环；16、限位杆。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0018]参照图1，使用UV光照射晶圆pu研磨垫熟化装置，包括熟化台1，熟化台1的右侧壁固定连接有安装筒2，安装筒2的内壁转动连接有螺纹筒3，螺纹筒3的外壁固定套设有锥齿圈4，安装筒2的杆壁转动连接有转杆5，转杆5的左端固定连接有锥齿轮6，螺纹筒3内螺纹套接有螺纹杆7，螺纹杆7的上端固定连接有升降板8，升降板8下侧壁固定连接有UV灯板9。所述的灯板（9）格栅状安装有发光UV灯阵列,所述的发光UV灯阵列外接电源。
[0019]UV灯板9的外壁固定有环管10，升降板8的上侧壁固定连接有处理箱11，处理箱11的右侧壁固定连接有吸气泵12的吸气端贯穿升降板8的侧壁且与环管10的上侧壁固定连通，环管10的下侧壁固定连通有多个吸气罩13，能够吸附pu研磨垫熟化时散发的溶剂气体。
[0020]转杆5的右端固定连接有把手14，方便旋转转杆5。
[0021]把手14的侧壁固定连接有摩擦环15，增加了把手14放置的稳定性。
[0022]安装筒2的右侧壁固定连接有限位杆16，螺纹杆7的杆壁开设与限位杆16相互匹配的限位槽，避免螺纹杆7旋转，使螺纹杆7只能够竖直方向上下移动。
[0023]处理箱11的侧壁设有观察窗，方便观察处理箱11内的处理情况。
[0024]本技术中，使用时，将刚刚制备好的pu研磨垫放置到熟化台1上，然后旋转把手14，把手14通过锥齿圈4和锥齿轮6的相互配合带动螺纹筒3旋转，通过螺纹配合带动螺纹杆7移动，螺纹杆7带动升降板8和UV灯板9向下移动到合适的位置，从而能够拉近UV灯板和pu研磨垫之间距离，加快pu研磨垫的熟化速度。
[0025]使用UV光照射晶圆pu研磨垫熟化装置，包括熟化台，所述熟化台的右侧壁固定连接有安装筒，所述安装筒的内壁转动连接有螺纹筒，所述螺纹筒的外壁固定套设有锥齿圈，所述安装筒的杆壁转动连接有转杆，所述转杆的左端固定连接有锥齿轮，所述螺纹筒内螺纹套接有螺纹杆，所述螺纹杆的上端固定连接有升降板，所述升降板下侧壁固定连接有UV灯板；因为技术方案实现的过程是：将刚刚制备好的pu研磨垫放置到熟化台上，然后旋转把手，把手通过锥齿圈和锥齿轮的相互配合带动螺纹筒旋转，通过螺纹配合带动螺纹杆移动，螺纹杆带动升降板和UV灯板向下移动到合适的位置，从而能够拉近UV灯板和pu研磨垫之间距离，加快pu研磨垫的熟化速度；所以必然能解决该技术问题，实现的技术效果就是：能够在pu研磨垫支撑后，将pu研磨垫放置到熟化台上，然后向下移动UV灯板到合适的位置，对pu研磨垫进行熟化，从而能够拉近UV灯板和pu研磨垫之间距离，调节pu研磨垫的熟化速度。提高pu研磨垫的性能与耐候性。
[0026]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不
局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.使用UV光照射晶圆pu研磨垫熟化装置，包括熟化台（1），其特征在于，所述熟化台（1）的右侧壁固定连接有安装筒（2），所述安装筒（2）的内壁转动连接有螺纹筒（3），所述螺纹筒（3）的外壁固定套设有锥齿圈（4），所述安装筒（2）的杆壁转动连接有转杆（5），所述转杆（5）的左端固定连接有锥齿轮（6），所述螺纹筒（3）内螺纹套接有螺纹杆（7），所述螺纹杆（7）的上端固定连接有升降板（8），所述升降板（8）下侧壁固定连接有UV灯板（9）,所述的灯板（9）格栅状安装有发光UV灯阵列,所述的发光UV灯阵列外接电源。2.根据权利要求1所述的使用UV光照射晶圆pu研磨垫熟化装置，其特征在于，所述UV灯板（9）的外壁固定有环管（10），所述升降板（8）的上侧壁固定连接有处理箱（11），所述处理箱（11）...
【专利技术属性】
技术研发人员：颜冠致，李文华，毛长虹，
申请(专利权)人：合肥铨得合半导体有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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