一种可更换毛刷的钻石整理毛刷盘制造技术

本申请涉及毛刷盘技术领域，且公开了一种可更换毛刷的钻石整理毛刷盘，包括毛刷盘基体，所述毛刷盘基体的上表面均匀开设有多个卡放凹槽，且对应卡放凹槽内固定卡嵌有毛刷头，所述毛刷盘基体的下表面开设有多个与卡放凹槽位置对应的定位凹槽，所述毛刷头的下端固定连接有定位螺柱，所述定位螺柱的下端通过卡放凹槽槽底开设的通孔贯穿伸入定位凹槽内，所述定位螺柱位于定位凹槽内的柱壁螺纹套接有锁接螺帽，所述定位凹槽的下端内侧开设有内螺纹，且螺纹连接有固定螺筒，所述固定螺筒的内侧固定连接有挡接在锁接螺帽下端的挡板。本申请能够实现对毛刷头的快速拆装，便于更换使用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种可更换毛刷的钻石整理毛刷盘


[0001]本申请属于毛刷盘
，尤其涉及一种可更换毛刷的钻石整理毛刷盘。

技术介绍

[0002]晶片的研磨采用钻石整理器进行研磨，钻石整理器有金属基体，基体上表面嵌入有钻石，钻石上表面平齐，钻石约一半露在外面，通过钻石尖棱，对晶圆进行研磨，使得晶圆片平整。
[0003]而对于钻石整理器需要使用钻石整理毛刷盘进行清理，目前的钻石整理毛刷盘上的毛刷与基体的安装一体固定，在毛刷出现损坏就会报废整个毛刷盘，造成资源浪费和使用成本高，不能很好的满足实际使用需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决上述的问题，而提出的一种可更换毛刷的钻石整理毛刷盘。
[0005]为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：
[0006]一种可更换毛刷的钻石整理毛刷盘，包括毛刷盘基体，所述毛刷盘基体的上表面均匀开设有多个卡放凹槽，且对应卡放凹槽内固定卡嵌有毛刷头，所述毛刷盘基体的下表面开设有多个与卡放凹槽位置对应的定位凹槽，所述毛刷头的下端固定连接有定位螺柱，所述定位螺柱的下端通过卡放凹槽槽底开设的通孔贯穿伸入定位凹槽内，所述定位螺柱位于定位凹槽内的柱壁螺纹套接有锁接螺帽，所述定位凹槽的下端内侧开设有内螺纹，且螺纹连接有固定螺筒，所述固定螺筒的内侧固定连接有挡接在锁接螺帽下端的挡板，所述固定螺筒的下端内侧通过对称设置的两个卡紧机构与毛刷盘基体固定卡接。
[0007]优选的，所述毛刷头的外侧对称固定连接有多个限位块，所述卡放凹槽的侧壁开设有多个与限位块匹配卡接的限位缺槽。
[0008]优选的，所述锁紧螺帽的下侧开设有十字槽。
[0009]优选的，所述卡紧机构包括活动插套在固定螺筒下端侧壁的卡紧杆，所述毛刷盘基体对应定位凹槽的侧壁开设有与卡紧杆匹配插接的卡紧槽，所述卡紧杆的外端固定连接有卡紧拉板，所述卡紧拉板和固定螺筒之间固定连接有套设在卡紧杆外的卡紧弹簧。
[0010]优选的，所述挡板的下侧固定连接有旋转扭板。
[0011]优选的，所述锁接螺帽的上端和定位凹槽的槽底之间设置有套设在定位螺柱外的锁接橡胶圈。
[0012]与现有技术相比，本申请提供了一种可更换毛刷的钻石整理毛刷盘，具备以下有益效果：
[0013]1、该可更换毛刷的钻石整理毛刷盘，通过设有的毛刷盘基体和毛刷头，毛刷头通过限位块和限位缺槽的匹配卡接使得毛刷头快速准确的安装在卡放凹槽内，且此时定位螺柱的下端贯穿伸入定位凹槽内，再将锁接橡胶圈套设在定位螺柱外，将锁接螺帽螺纹连接
在定位螺柱的下端，实现对毛刷头的稳固卡接固定，再通过固定螺筒和定位凹槽的螺纹连接使得固定螺筒快速连接在定位凹槽内，此时固定螺筒内的挡板挡接在锁接螺帽的下端，实现对锁接螺帽的稳固卡接固定，能够实现对毛刷头的快速拆装，便于更换使用。
[0014]2、该可更换毛刷的钻石整理毛刷盘，通过设有的卡紧机构，再拧入固定螺筒时，通过卡紧拉板外拉卡紧杆，避免卡紧杆阻挡固定螺筒的拧入，且在拧入后，松开卡紧拉板，卡紧弹簧回拉卡紧拉板，卡紧拉板将卡紧杆推进卡紧槽内即可实现固定螺筒和毛刷盘基体的稳固卡接固定，保证了安装结构的稳固性。
[0015]而且该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本申请能够实现对毛刷头的快速拆装，便于更换使用。
附图说明
[0016]图1为本申请提出的一种可更换毛刷的钻石整理毛刷盘的结构示意图；
[0017]图2为图1中A部分的放大图。
[0018]图中：1、毛刷盘基体；2、卡放凹槽；3、毛刷头；4、定位凹槽；5、定位螺柱；6、锁接螺帽；7、固定螺筒；8、挡板；9、限位块；10、限位缺槽；11、十字槽；12、卡紧杆；13、卡紧槽；14、卡紧拉板；15、卡紧弹簧；16、旋转扭板；17、锁接橡胶圈。
具体实施方式
[0019]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]参照图1
‑
2，一种可更换毛刷的钻石整理毛刷盘，包括毛刷盘基体1，毛刷盘基体1的上表面均匀开设有多个卡放凹槽2，且对应卡放凹槽2内固定卡嵌有毛刷头3，毛刷盘基体1的下表面开设有多个与卡放凹槽2位置对应的定位凹槽4，毛刷头3的下端固定连接有定位螺柱5，定位螺柱5的下端通过卡放凹槽2槽底开设的通孔贯穿伸入定位凹槽4内，定位螺柱5位于定位凹槽4内的柱壁螺纹套接有锁接螺帽6，定位凹槽4的下端内侧开设有内螺纹，且螺纹连接有固定螺筒7，固定螺筒7的内侧固定连接有挡接在锁接螺帽6下端的挡板8，固定螺筒7的下端内侧通过对称设置的两个卡紧机构与毛刷盘基体1固定卡接。
[0021]毛刷头3的外侧对称固定连接有多个限位块9，卡放凹槽2的侧壁开设有多个与限位块9匹配卡接的限位缺槽10。
[0022]锁紧螺帽的下侧开设有十字槽11。
[0023]卡紧机构包括活动插套在固定螺筒7下端侧壁的卡紧杆12，毛刷盘基体1对应定位凹槽4的侧壁开设有与卡紧杆12匹配插接的卡紧槽13，卡紧杆12的外端固定连接有卡紧拉板14，卡紧拉板14和固定螺筒7之间固定连接有套设在卡紧杆12外的卡紧弹簧15。
[0024]挡板8的下侧固定连接有旋转扭板16。
[0025]锁接螺帽6的上端和定位凹槽4的槽底之间设置有套设在定位螺柱5外的锁接橡胶圈17。
[0026]现对本技术的操作原理做如下描述：
[0027]本申请使用时，通过设有的毛刷盘基体1和毛刷头3，毛刷头3通过限位块9和限位缺槽10的匹配卡接使得毛刷头3快速准确的安装在卡放凹槽2内，且此时定位螺柱5的下端
贯穿伸入定位凹槽4内，再将锁接橡胶圈17套设在定位螺柱5外，将锁接螺帽6螺纹连接在定位螺柱5的下端，实现对毛刷头3的稳固卡接固定，再通过固定螺筒7和定位凹槽4的螺纹连接使得固定螺筒7快速连接在定位凹槽4内，此时固定螺筒7内的挡板8挡接在锁接螺帽6的下端，实现对锁接螺帽6的稳固卡接固定，能够实现对毛刷头3的快速拆装，便于更换使用，通过设有的卡紧机构，再拧入固定螺筒7时，通过卡紧拉板14外拉卡紧杆12，避免卡紧杆12阻挡固定螺筒7的拧入，且在拧入后，松开卡紧拉板14，卡紧弹簧15回拉卡紧拉板14，卡紧拉板14将卡紧杆12推进卡紧槽13内即可实现固定螺筒7和毛刷盘基体1的稳固卡接固定，保证了安装结构的稳固性。
[0028]以上所述，仅为本申请较佳的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本申请揭露的技术范围内，根据本申请的技术方案及其申请构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本申请的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可更换毛刷的钻石整理毛刷盘，包括毛刷盘基体（1），其特征在于，所述毛刷盘基体（1）的上表面均匀开设有多个卡放凹槽（2），且对应卡放凹槽（2）内固定卡嵌有毛刷头（3），所述毛刷盘基体（1）的下表面开设有多个与卡放凹槽（2）位置对应的定位凹槽（4），所述毛刷头（3）的下端固定连接有定位螺柱（5），所述定位螺柱（5）的下端通过卡放凹槽（2）槽底开设的通孔贯穿伸入定位凹槽（4）内，所述定位螺柱（5）位于定位凹槽（4）内的柱壁螺纹套接有锁接螺帽（6），所述定位凹槽（4）的下端内侧开设有内螺纹，且螺纹连接有固定螺筒（7），所述固定螺筒（7）的内侧固定连接有挡接在锁接螺帽（6）下端的挡板（8），所述固定螺筒（7）的下端内侧通过对称设置的两个卡紧机构与毛刷盘基体（1）固定卡接。2.根据权利要求1所述的一种可更换毛刷的钻石整理毛刷盘，其特征在于，所述毛刷头（3）的外侧对称固定连接有多个限位块（9），所述卡放凹槽（2）的侧壁开...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛长虹，李文华，颜冠致，
申请(专利权)人：合肥铨得合半导体有限责任公司，
类型：新型
国别省市：