本申请涉及钻石整理器生产技术领域，且公开了一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置，包括底座，底座的上方两侧均设有支撑侧板，且两个支撑侧板的侧壁共同固定插接有金属套，金属套的两端均固定设有封板，两个封板之间共同转动连接有转轴，转轴的轴壁固定设有一组推料板，金属套的内壁固定设有多个第一半球金刚石，各个推料板的侧壁均固定设有多个第二半球金刚石，其中一个封板的侧壁固定设有驱动电机。本申请可以有效提高对钻石整理器的金刚石的尖棱锐角的消除效率，也尽量避免了金刚石直接撞击金属套和推料板，有效可以防止金属套和推料板被过度磨损，同时排料的便捷性高。同时排料的便捷性高。同时排料的便捷性高。
【技术实现步骤摘要】
一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置
[0001]本申请涉及钻石整理器生产
，尤其涉及一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，其在生产的时候，需要通过如钻石整理器对其表面的杂质或不平坦处进行研磨整平处理，钻石整理器是指在研磨金属基材上嵌入金刚石，利用金刚石对晶圆表面进行研磨整平处理。
[0003]在实现本申请过程中，专利技术人发现该技术中至少存在如下问题，钻石整理器在进行生产的时候，需要对嵌入的金刚石尖棱进行一定的打磨，以控制金刚石锐角，起到控制金刚石切屑力的目的，通常的做法是将多个待处理的金刚石颗粒置于金属筒内部，通过金刚石之间的相互撞击，可以消除金刚石尖棱锐角，但是在实际的处理过程中，仅仅依靠金刚石相互撞击消除尖棱锐角，会导致整体效率偏低，同时，待处理的金刚石撞击容器内壁，也易造成容器内壁过度磨损，因此，提出一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置。
技术实现思路
[0004]本申请的目的是为了解决现有技术中仅仅依靠金刚石相互撞击消除尖棱锐角，会导致整体效率偏低，而且待处理的金刚石撞击容器内壁，也易造成容器内壁过度磨损的问题，而提出的一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置。
[0005]为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：
[0006]一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置，包括底座，所述底座的上方两侧均设有支撑侧板，且两个支撑侧板的侧壁共同固定插接有金属套，所述金属套的两端均固定设有封板，两个所述封板之间共同转动连接有转轴，所述转轴的轴壁固定设有一组推料板，所述金属套的内壁固定设有多个第一半球金刚石，各个所述推料板的侧壁均固定设有多个第二半球金刚石，其中一个所述封板的侧壁固定设有驱动电机，且驱动电机的输出端与转轴连接，所述金属套的顶部开设有开口，且开口的一侧边沿通过第一合页转动连接有顶盖。
[0007]优选的，其中一个所述封板的侧壁下端固定插接有出料管，且出料管的外侧壁螺纹连接有密封盖，所述底座与另一个封板共同连接有上顶排料机构。
[0008]优选的，所述顶盖的端面固定设有锁紧块，所述锁紧块的端面与金属套的侧壁共同螺纹连接有锁紧螺栓。
[0009]优选的，所述上顶排料机构包括固定设置于底座端面一侧的千斤顶，远离所述千斤顶一侧的支撑侧板的侧壁与底座的端面共同通过第二合页铰接，靠近所述千斤顶一侧的封板的侧壁下端固定设有顶升板。
[0010]优选的，一组所述推料板的数量为个设置。
[0011]优选的，所述顶升板的端部固定设有限位防脱板。
[0012]与现有技术相比，本申请提供了一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置，具备
以下有益效果：
[0013]1、该磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置，通过设有的底座、支撑侧板、金属套、封板、转轴、推料板、第一半球金刚石、第二半球金刚石、驱动电机和顶盖的相互配合，通过使多个金刚石在金属套内在推料板的推动作用下，相互翻转撞击，并配合第一半球金刚石和第二半球金刚石的作用，可以有效提高对钻石整理器的金刚石的尖棱锐角的消除效率，也尽量避免了金刚石直接撞击金属套和推料板，从而可以防止金属套、封板和推料板被过度磨损。
[0014]2、该磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置，通过设有的出料管、密封盖和上顶排料机构的相互配合，通过千斤顶将金属套的一侧顶升一定高度，可以使处理后的金刚石可以快速排出，提高排料的便捷性。
[0015]该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本申请可以有效提高对钻石整理器的金刚石的尖棱锐角的消除效率，也尽量避免了金刚石直接撞击金属套和推料板，有效防止金属套和推料板被过度磨损，同时排料的便捷性高。
附图说明
[0016]图1为本申请提出的一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置的结构示意图；
[0017]图2为图1中金属套的俯视结构示意图。
[0018]图中：1、底座；2、支撑侧板；3、金属套；4、封板；5、转轴；6、推料板；7、第一半球金刚石；8、第二半球金刚石；9、驱动电机；10、顶盖；11、出料管；12、锁紧块；13、锁紧螺栓；14、千斤顶；15、顶升板；16、限位防脱板。
具体实施方式
[0019]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]参照图1
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2，一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置，包括底座1，底座1的上方两侧均设有支撑侧板2，且两个支撑侧板2的侧壁共同固定插接有金属套3，金属套3的两端均固定设有封板4，两个封板4之间共同转动连接有转轴5，转轴5的轴壁固定设有一组推料板6，金属套3的内壁固定设有多个第一半球金刚石7，各个推料板6的侧壁均固定设有多个第二半球金刚石8，其中一个封板4的侧壁固定设有驱动电机9，且驱动电机9的输出端与转轴5连接，金属套3的顶部开设有开口，且开口的一侧边沿通过第一合页转动连接有顶盖10。
[0021]其中一个封板4的侧壁下端固定插接有出料管11，且出料管11的外侧壁螺纹连接有密封盖，底座1与另一个封板4共同连接有上顶排料机构，打开密封盖，可以使处理后的金刚石从出料管11排出。
[0022]顶盖10的端面固定设有锁紧块12，锁紧块12的端面与金属套3的侧壁共同螺纹连接有锁紧螺栓13，通过锁紧块12和锁紧螺栓13，可以便于将顶盖10与金属套3之间进行锁紧固定。
[0023]上顶排料机构包括固定设置于底座1端面一侧的千斤顶14，远离千斤顶14一侧的支撑侧板2的侧壁与底座1的端面共同通过第二合页铰接，靠近千斤顶14一侧的封板4的侧壁下端固定设有顶升板15，在排料时，通过千斤顶14的上移顶升作用，可以推动顶升板15向
上侧关于第二合页做上移旋转移动，从而可以带动金属套3向一侧倾斜一定角度，此时将密封盖打开，在重力作用下，处理好的金刚石可以自动从出料管11排出，从而可以提高排料的便捷性。
[0024]一组推料板6的数量为4个设置，通过此种设置，可以确保推动金刚石翻滚移动的同时，不会过度影响金刚石的放置量。
[0025]顶升板15的端部固定设有限位防脱板16，通过限位防脱板16可以对千斤顶14的输出端进行一定的阻挡，从而可以防止顶升板15倍顶升过度，从而可以避免顶升板15顶升过程中脱离千斤顶14的现象。
[0026]本申请中，使用时，打开顶盖10，将适量的金刚石从开口处置于景树涛3的内部，然后启动驱动电机9，可以使转轴5转动，从而可以带动一组推料板6转动，推料板6可以带动金刚石在金属套3内不断翻滚，从而可以利用金刚石翻滚时的相互撞击磨损消除金刚石的尖棱锐角，同时金刚石在翻滚的的过程中，会与金属套3内壁的第一半球金刚石7撞击，以及与封板4上的第二半球金刚石8撞击，从而可以进一步提高对金刚石尖棱锐角的消除效率，且由于第一半球金刚石7和第二半球本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的上方两侧均设有支撑侧板（2），且两个支撑侧板（2）的侧壁共同固定插接有金属套（3），所述金属套（3）的两端均固定设有封板（4），两个所述封板（4）之间共同转动连接有转轴（5），所述转轴（5）的轴壁固定设有一组推料板（6），所述金属套（3）的内壁固定设有多个第一半球金刚石（7），各个所述推料板（6）的侧壁均固定设有多个第二半球金刚石（8），其中一个所述封板（4）的侧壁固定设有驱动电机（9），且驱动电机（9）的输出端与转轴（5）连接，所述金属套（3）的顶部开设有开口，且开口的一侧边沿通过第一合页转动连接有顶盖（10）。2.根据权利要求1所述的一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置，其特征在于，其中一个所述封板（4）的侧壁下端固定插接有出料管（11），且出料管（11）的外侧壁螺纹连接有密封盖，所述底座（1...
【专利技术属性】
技术研发人员：李文华，毛长虹，颜冠致，
申请(专利权)人：合肥铨得合半导体有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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