一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置制造方法及图纸

本申请涉及钻石整理器生产技术领域，且公开了一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置，包括底座，底座的上方两侧均设有支撑侧板，且两个支撑侧板的侧壁共同固定插接有金属套，金属套的两端均固定设有封板，两个封板之间共同转动连接有转轴，转轴的轴壁固定设有一组推料板，金属套的内壁固定设有多个第一半球金刚石，各个推料板的侧壁均固定设有多个第二半球金刚石，其中一个封板的侧壁固定设有驱动电机。本申请可以有效提高对钻石整理器的金刚石的尖棱锐角的消除效率，也尽量避免了金刚石直接撞击金属套和推料板，有效可以防止金属套和推料板被过度磨损，同时排料的便捷性高。同时排料的便捷性高。同时排料的便捷性高。

【技术实现步骤摘要】
一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置


[0001]本申请涉及钻石整理器生产
，尤其涉及一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，其在生产的时候，需要通过如钻石整理器对其表面的杂质或不平坦处进行研磨整平处理，钻石整理器是指在研磨金属基材上嵌入金刚石，利用金刚石对晶圆表面进行研磨整平处理。
[0003]在实现本申请过程中，专利技术人发现该技术中至少存在如下问题，钻石整理器在进行生产的时候，需要对嵌入的金刚石尖棱进行一定的打磨，以控制金刚石锐角，起到控制金刚石切屑力的目的，通常的做法是将多个待处理的金刚石颗粒置于金属筒内部，通过金刚石之间的相互撞击，可以消除金刚石尖棱锐角，但是在实际的处理过程中，仅仅依靠金刚石相互撞击消除尖棱锐角，会导致整体效率偏低，同时，待处理的金刚石撞击容器内壁，也易造成容器内壁过度磨损，因此，提出一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置。

技术实现思路

[0004]本申请的目的是为了解决现有技术中仅仅依靠金刚石相互撞击消除尖棱锐角，会导致整体效本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的上方两侧均设有支撑侧板（2），且两个支撑侧板（2）的侧壁共同固定插接有金属套（3），所述金属套（3）的两端均固定设有封板（4），两个所述封板（4）之间共同转动连接有转轴（5），所述转轴（5）的轴壁固定设有一组推料板（6），所述金属套（3）的内壁固定设有多个第一半球金刚石（7），各个所述推料板（6）的侧壁均固定设有多个第二半球金刚石（8），其中一个所述封板（4）的侧壁固定设有驱动电机（9），且驱动电机（9）的输出端与转轴（5）连接，所述金属套（3）的顶部开设有开口，且开口的一侧边沿通过第一合页转动连接有顶盖（10）。2.根据权利要求1所述的一种磨圆晶圆钻石整理器钻石棱角的装置，其特征在于，其中一个所述封板（4）的侧壁下端固定插接有出料管（11），且出料管（11）的外侧壁螺纹连接有密封盖，所述底座（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文华，毛长虹，颜冠致，
申请(专利权)人：合肥铨得合半导体有限责任公司，
类型：新型
国别省市：