一种用于金刚石碟的金刚石定位用网板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于金刚石碟的金刚石定位用网板，网板上设有网孔，网孔使得金刚石卡在网孔上，利用不同的长宽比大小，调整金刚石竖立的方向。本实用新型专利技术使用时，将需要固定在金刚石碟上的金刚石放在网板上，震动过筛，或者推平金刚石，这样有部分金刚石正好落入到网孔上卡住，这样设计不同的网孔形状，调整不同的网孔长宽比，可以实现金刚石的棱线朝上、尖点朝上、或者平面朝上。再在网板的金刚石下底铺上一层粘纸，粘纸将各金刚石尖点粘住，翻转过来，将金刚石放在预先设定的粘胶上，这样金刚石就整齐有规则排列在粘胶上，或者不同排列方式相互有规律掺杂排列。这样能明显提高金刚石碟的修整支撑垫的平整度与质量。金刚石碟的修整支撑垫的平整度与质量。金刚石碟的修整支撑垫的平整度与质量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于金刚石碟的金刚石定位用网板


[0001]本技术涉及一种半导体生产工艺领域，具体是一种芯片加工抛光工艺中用到的支撑垫修整器金刚石碟的金刚石定位用网板。

技术介绍

[0002]芯片加工制造中，随着制程技术的升级、导线与栅极尺寸的缩小，光刻技术对芯片表面的平坦程度要求越来越高，而化学机械抛光工艺便是目前最有效、最成熟的平坦化技术。在对芯片抛光过程中，芯片研磨支撑垫会不断磨损，进而影响芯片的表面平坦程度。为了保证芯片抛光质量精度，需使用修整器对支撑垫的表面进行梳理调整，现有的修整器采用金刚石碟结构，包括有基体，基体上连接有金刚石作为刷齿。现有技术中金刚石碟上金刚石一般采用无规则排列布置，导致金刚石的刷尖面参差不齐，影响到金刚石碟对支撑垫表面的修整效果。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于金刚石碟的金刚石定位用网板，通过网板的设置，使得金刚石有规则的排布在网板上，通过调整网孔的大小、形状、长宽比等，可以使得金刚石卡在网孔内，并使得金刚石有规则排列，并能使得金刚石排列成尖点朝上、棱线朝上、平面朝上等不同的方式。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于金刚石碟的金刚石定位用网板，其特征在于，所述的网板上设有网孔，所述的网孔使得金刚石卡在网孔上，利用不同的长宽比大小，调整金刚石竖立的方向。2.根据权利要求1所述的用于金刚石碟的金刚石定位用网板，其特征在于，所述的网孔为三角形、五边形、圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜冠致，毛长虹，李文华，朱咏民，
申请(专利权)人：合肥铨得合半导体有限责任公司，
类型：新型
国别省市：