本实用新型提供一种用于检测晶舟放置到位的装置，包括载台，所述载台上设有供晶舟H型凸条移动的轨道，载台上设置第一转动轴和第二转动轴，第一转动轴和第二转动轴平行设置，第一转动轴和第二转动轴所在平面与载台平面平行，第一转动轴上转动设置有第一定...

本实用新型公开了一种晶舟夹取装置，固定座，第一夹具、第二夹具、往复运动机构、电机；所述第二夹具设置于固定座上，所述第一夹具包括两个平行设置的第一夹臂，第二夹具包含两个平行设置的第二夹臂，所述第一夹臂滑动连接于第二夹臂侧面上，并与所述往复...

本实用新型公开了一种防止晶圆反吸和斜插的装置，包括：背板、固定件、指示灯、轨道横条；所述轨道横条为两条，且相互平行设置，所述轨道横条垂直设置在背板底部的一侧，所述轨道横条上还设有指示灯，所述指示灯分别沿两条所述轨道横条远离背板方向阵列排...

本实用新型涉及了改善ICP腔体制程气体分布不均的结构及气体均匀组件，包括上分流板、下分流板以及外壳，外壳为上端设置有开口的壳状结构，且外壳底部均匀开设有外壳通孔，上分流板以及下分流板均设置于外壳内，且上分流板设置于下分流板的上方；上分流...

本实用新型涉及了一种自动清洁晶背的装置，包括载物台、清洁组件以及吸臂组件，所述载物台为开口朝上的壳状结构，所述载物台开口边沿设置有吸附部，所述吸附部用于将晶圆吸附在载物台开口处，所述清洁组件设置于载物台的开口内，所述吸臂组件设置于载物台...

本实用新型公布了一种自动转换台，所述自动转换台包括：工作平台、真空吸盘、真空装置、真空吸盘伸缩机构和抓取装置，所述工作平台的表面设置有真空口，所述真空口贯穿所述工作平台，所述真空口通过管道连接所述真空装置，所述工作平台的正上方设置有所述...

本实用新型公开一种自动倾斜晶圆载片装置，将晶圆置入装置中，将所述自动倾斜晶圆载片装置垂直置入清洗机中，进行清洗作业。作业时所述自动伸缩杆远离连接主轴的一侧超过所述载片装置的最底端，同时自动伸缩杆的长度长于其他垂直杆体。从而实现了自动倾斜...

本发明公开一种电感及其制作方法，其中方法包括如下步骤：沉积电感第一金属层，电感第一金属层包含多个分立的金属段；在电感第一金属层上沉积第一氮化物层；在第一氮化物层上沉积电感第二金属层，电感第二金属层横跨金属段中间位置；在电感第二金属层上沉...

本发明公开一种增加电感量的电感制程方法，其中方法包括如下步骤：沉积氮化物于晶圆正面，形成正面氮化物层蚀刻正面氮化物层并在被蚀刻部分制作正面金属层；在晶圆背面涂布第一光阻层，蚀刻晶圆，去除第一光阻层，并于晶圆背面进行溅镀金属；涂布第二光阻...

本发明公开了一种芯粒缺陷检测的方法和存储介质，所述方法包括：建立与产品相关的颜色检测模型；扫描待测晶圆，生成晶圆扫描图；根据颜色检测模式，将晶圆扫描图的颜色分量与样品颜色检测模型中的颜色分量值进行比对，根据两者的误差范围输出待测晶圆的检...

本发明公开了一种预判晶圆校准值的方法和存储介质，所述方法包括：设置晶圆校准图；获取晶圆扫描图，将所述晶圆扫描图和所述晶圆校准图进行比对，并输出比对结果；所述比对结果包括所述晶圆扫描图和所述晶圆校准图之间的校准值。当晶圆扫描图的位置调整时...

本发明公开了一种精准控制金属下沉的设备，包括：支撑架、加热装置、探针、和电性监控量测控制模块，所述支撑架设置在所述加热装置上，所述支撑架用于承接晶圆，所述热板加热控制单元控制连接于所述热板，所述探针具有三个针脚，分别为S端、D端和G端，...

本发明公开一种半导体台面及蚀刻方法，其中方法包括如下步骤：先分别对待蚀刻层、底层进行不同掺杂类型、不同浓度的掺杂，随后通过涂布、黄光微影第一光阻层。以第一光阻层为掩膜，蚀刻待蚀刻层，并去除第一光阻层。沉积氮化物层，经蚀刻半导体衬底上表面...

本发明公开了一种具有双层结构的无源器件及制作方法，其中制作方法包括如下步骤：在晶圆上制作电阻；涂布桥墩光阻，在待制作电感的桥墩处进行显影，待制作电感位于电阻的上方，桥墩处与电阻具有间隙；在桥墩处制作桥墩，桥墩用于支撑待制作电感；涂布桥面...

本发明公开一种用于大电流的空气桥及制作方法，其中方法包括如下步骤：在衬底上涂布桥墩光阻，在待做空气桥的桥墩处进行显影；在桥墩光阻上制作起始金属层；涂布桥面光阻，在桥墩和桥面处进行显影，并保留桥面上待做孔的位置上的桥面光阻；沉积空气桥金属...

本实用新型提供一种晶圆背面洁净的载台，包括载台、清洁机构和盖子，载台包括放置腔和清洁腔，放置腔与清洁腔之间设置有清洗通孔，放置腔远离清洁腔的载台侧壁设置有开口，盖子可密封或分离设置在开口上。通过载台的开口，将晶圆置于放置腔内，并且晶圆的...

一种基于制程腔体的吸盘结构及制程腔，基于制程腔体的吸盘结构包括转动机构、吸盘载台、控制器、机台。吸盘载台上沿中心阵列设置有多个吸盘，吸盘载台位于机台上方，转动机构位于吸盘载台下方与机台之间，转动机构与吸盘载台中心连接，转动机构用于带动吸...

本发明公开一种防止金属连接线断连的方法，其中方法包括如下步骤：在带有第一金属层的砷化镓衬底上沉积介质层；涂布第一光阻层，经对准、显影去除待蚀刻处的第一光阻层，并涂布微缩光阻，进行烘烤；蚀刻介质层，形成凹槽，并去除第一光阻层；涂布第二光阻...

本发明公布了一种具有支撑架的空气桥及制作方法，其中方法包括如下步骤：在衬底上涂布第一光阻；图形化第一光阻；在第一光阻上制作介电层；覆盖第二光阻，显影去除在第一光阻上面的第二光阻，保留第一光阻外侧的第二光阻；在第一光阻上面的区域制作空气桥...

本实用新型涉及一种简易检测气压的真空吸笔，包括空心笔体、压电检测模组及反馈模组；所述空心笔体的内部内设有气道，所述空心笔体的一端设有吸附笔头，另一端设有用于与真空胶管连接的笔体尾柱，所述吸附笔头设有吸附口，所述吸附口连接于空心笔体的气道...