一种防止晶圆反吸和斜插的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种防止晶圆反吸和斜插的装置，包括：背板、固定件、指示灯、轨道横条；所述轨道横条为两条，且相互平行设置，所述轨道横条垂直设置在背板底部的一侧，所述轨道横条上还设有指示灯，所述指示灯分别沿两条所述轨道横条远离背板方向阵列排列；所述固定件为两个且连接于所述背板上，且所述固定件与所述轨道横条同侧，用于固定晶舟的两侧壁，晶舟固定在装置上时指示灯正对晶舟的晶舟卡槽位置，单个晶舟卡槽对应的指示灯颜色相同。装置各处宽度、高度都略大于晶舟尺寸，从而避免了晶舟和装置之间应力的产生，也方便放置晶舟。同时通过固定U‑bar朝向，避免了U‑bar和H‑bar放反导致吸到晶圆正面，使晶圆划伤。

A device to prevent wafer from reverse suction and oblique insertion

【技术实现步骤摘要】
一种防止晶圆反吸和斜插的装置
本技术涉及晶圆制造领域，尤其涉及一种防止晶圆反吸和斜插的装置。
技术介绍
在半导体制造生产工艺中，常对砷化镓晶圆用吸笔进行转换时，载片晶舟和空晶舟相对放置，U-bar在左，H-bar在右，进行晶圆转换。当人为放置晶舟朝向，存在U-bar和H-bar放反的情况，导致晶圆吸反或放反，造成晶圆划伤。在晶舟朝向正确的情况下，因为晶舟卡槽间距一致，存在将晶圆斜插的情况。为此，业界一直在探寻一种防止晶圆反吸和斜插的装置。
技术实现思路
为此，需要提供一种防止晶圆反吸和斜插的装置，避免U-bar和H-bar放反、晶圆斜插的情况发生。为实现上述目的，专利技术人提供了一种防止晶圆反吸和斜插的装置，包括：背板、固定件、指示灯、轨道横条；所述轨道横条为两条，且相互平行设置，所述轨道横条垂直设置在背板底部的一侧，轨道横条的间距略大于晶舟底部宽度，用于放置晶舟底部；所述轨道横条上还设有指示灯，所述指示灯分别沿两条所述轨道横条远离背板方向阵列排列，两条轨道横条上的指示灯的设置方式相同，指示灯间距与晶舟的晶舟卡槽的间距相同；所述固定件为两个且连接于所述背板上，且所述固定件与所述轨道横条同侧，用于固定晶舟的两侧壁，晶舟固定在装置上时指示灯正对晶舟的晶舟卡槽位置，单个晶舟卡槽对应的指示灯颜色相同。进一步地，所述固定件为“L”型固定拴；所述“L”型固定拴包括：卡缝横条、连接件；所述卡缝横条与所述背板平行，且通过连接件与所述背板相连接，所述“L”型固定拴相对设置，用于卡住晶舟的两侧壁。进一步地，其特征在于，所述轨道横条上的指示灯的颜色为同一颜色或者不同颜色。进一步地，所述轨道横条的横截面为方形。进一步地，所述指示灯的光路与轨道横条平面垂直。进一步地，所述轨道横条底面与背板底面处在同一面上。区别于现有技术，上述技术方案在使用时，将晶舟放置于装置上，使晶舟底部位于两条所述轨道横条内，需要说明的是，两条所述轨道横条之间的距离略大于晶舟底部宽度，一般的晶舟正立放置时，晶舟脚宽度为a。在本技术中，晶舟脚宽度a比两条所述轨道横条宽度A小1-2mm。晶舟背部通过两个固定件固定于背板上，且所述固定件与所述轨道横条同侧，用于固定晶舟的两侧壁。同时相邻的晶舟卡槽有且只有一个晶舟卡槽可以看到位于所述轨道横条上的指示灯，使晶舟呈亮暗分布；当然也可以是每个卡槽上方均可以看到指示灯，亦或是其他的排列方式。需要说明的是，当放晶舟放置在装置上时，指示灯亮起，指示灯对应晶舟卡槽，且单个晶舟卡槽对应的指示灯颜色相同。装置各处宽度、高度都略大于晶舟尺寸，从而避免了晶舟和装置之间应力的产生，也方便放置晶舟。同时通过固定U-bar朝向，避免了U-bar和H-bar放反导致吸到晶圆正面，使晶圆划伤。附图说明图1为所述一种防止晶圆反吸和斜插的装置结构图；图2为所述晶舟放置于防止晶圆反吸和斜插的装置中的结构图；图3为具体实施方式所述指示灯与晶舟的结构图。附图标记说明：1、背板；2、轨道横条；3、指示灯；4、“L”型固定拴；401、卡缝横条；402、连接件；5、晶舟。具体实施方式为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。请参阅图1到图3，在本实施例中，请参阅图1，提供了一种防止晶圆反吸和斜插的装置，其特征在于，包括：背板1、固定件、指示灯3、轨道横条2；所述轨道横条2为两条，且相互平行设置，所述轨道横条2的横截面为方形。所述轨道横条2垂直设置在背板1底部的一侧，轨道横条2的间距略大于晶舟5底部宽度，用于放置晶舟5底部；所述轨道横条2上还设有指示灯3，所述指示灯3分别沿两条所述轨道横条2远离背板1方向阵列排列，两条轨道横条2上的指示灯3的设置方式相同，指示灯3间距与晶舟5的晶舟5卡槽的间距相同；所述固定件为两个且连接于所述背板1上，且所述固定件与所述轨道横条2同侧，用于固定晶舟5的两侧壁，晶舟5固定在装置上时指示灯3正对晶舟5的晶舟5卡槽位置，单个晶舟5卡槽对应的指示灯3颜色相同。上述技术方案在使用时，将晶舟5放置于装置上，使晶舟5底部位于两条所述轨道横条2内，需要说明的是，两条所述轨道横条2之间的距离略大于晶舟5底部宽度，一般的晶舟5正立放置时，晶舟5脚宽度为a。在本技术中，晶舟5脚宽度a比两条所述轨道横条2宽度A小1-2mm。晶舟5背部通过两个固定件固定于背板1上，且所述固定件与所述轨道横条2同侧，用于固定晶舟5的两侧壁。同时相邻的晶舟5卡槽有且只有一个晶舟5卡槽可以看到位于所述轨道横条2上的指示灯3，使晶舟5呈亮暗分布；当然也可以是每个卡槽上方均可以看到指示灯3，指示灯3还可以采用其他的排列方式。需要说明的是，当放晶舟5放置在装置上时，指示灯3亮起，指示灯3对应晶舟5卡槽，且单个晶舟5卡槽对应的指示灯3颜色相同。装置各处宽度、高度都略大于晶舟5尺寸，从而避免了晶舟5和装置之间应力的产生，也方便放置晶舟5。同时通过固定U-bar朝向，避免了U-bar和H-bar放反导致吸到晶圆正面，使晶圆划伤。请参阅图3，在本实施例中，所述固定件为“L”型固定拴4。所述“L”型固定拴4包括：卡缝横条401、连接件402；所述卡缝横条401与所述背板1平行，且通过连接件402与所述背板1相连接，所述“L”型固定拴4相对设置，用于卡住晶舟5的两侧壁。当然所述“L”型固定拴4也可以为其他可以使晶舟5与装置相连的部件，用于卡住晶舟5的两侧壁。固定U-bar的朝向，避免了U-bar和H-bar放反导致吸到晶圆正面，使晶圆划伤。在本实施例中，所述轨道横条2上的指示灯3的颜色为同一颜色或者不同颜色，但指示灯3对应亮灯颜色应相同，具体的，在同一晶舟5卡槽下的两个相对的指示灯3，所亮起的颜色为同种样色。请参阅图3，当指示灯3颜色一样时，指示灯3的分布使晶舟5呈现亮暗分布。当指示灯3颜色为不同种的时候，则就不需要采用间隔排列的方式。对应颜色一致或不一致的指示灯3，在晶舟5放置时有效的避免了视觉误差带来的晶圆斜插问题。请参阅图3，在本实施例中，所述指示灯3的光路与轨道横条2平面垂直。垂直于轨道横条2平面的光路将使作业人员可以轻易的看到晶圆的插入情况，避免了斜插、反插情况的发生。在某些实施例中所述轨道横条2底面与背板1底面处在同一面上。轨道横条2底面与背板1底面处在同一面上将使装置处于一个相对稳定的作业环境中。需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本技术的专利保护范围。因此，基于本技术的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的
，均包括在本技术的专利保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防止晶圆反吸和斜插的装置，其特征在于，包括：背板、固定件、指示灯、轨道横条；/n所述轨道横条为两条，且相互平行设置，所述轨道横条垂直设置在背板底部的一侧，轨道横条的间距略大于晶舟底部宽度，用于放置晶舟底部；/n所述轨道横条上还设有指示灯，所述指示灯分别沿两条所述轨道横条远离背板方向阵列排列，两条轨道横条上的指示灯的设置方式相同，指示灯间距与晶舟的晶舟卡槽的间距相同；/n所述固定件为两个且连接于所述背板上，且所述固定件与所述轨道横条同侧，用于固定晶舟的两侧壁，晶舟固定在装置上时指示灯正对晶舟的晶舟卡槽位置，单个晶舟卡槽对应的指示灯颜色相同。/n

【技术特征摘要】
1.一种防止晶圆反吸和斜插的装置，其特征在于，包括：背板、固定件、指示灯、轨道横条；
所述轨道横条为两条，且相互平行设置，所述轨道横条垂直设置在背板底部的一侧，轨道横条的间距略大于晶舟底部宽度，用于放置晶舟底部；
所述轨道横条上还设有指示灯，所述指示灯分别沿两条所述轨道横条远离背板方向阵列排列，两条轨道横条上的指示灯的设置方式相同，指示灯间距与晶舟的晶舟卡槽的间距相同；
所述固定件为两个且连接于所述背板上，且所述固定件与所述轨道横条同侧，用于固定晶舟的两侧壁，晶舟固定在装置上时指示灯正对晶舟的晶舟卡槽位置，单个晶舟卡槽对应的指示灯颜色相同。


2.根据权利要求1所述一种防止晶圆反吸和斜插的装置，其特征在于，所述固定件为“L”型...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄光伟，李立中，吴淑芳，陈智广，马跃辉，庄永淳，吴靖，林伟铭，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35