一种防止晶圆反吸和斜插的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种防止晶圆反吸和斜插的装置，包括：背板、固定件、指示灯、轨道横条；所述轨道横条为两条，且相互平行设置，所述轨道横条垂直设置在背板底部的一侧，所述轨道横条上还设有指示灯，所述指示灯分别沿两条所述轨道横条远离背板方向阵列排列；所述固定件为两个且连接于所述背板上，且所述固定件与所述轨道横条同侧，用于固定晶舟的两侧壁，晶舟固定在装置上时指示灯正对晶舟的晶舟卡槽位置，单个晶舟卡槽对应的指示灯颜色相同。装置各处宽度、高度都略大于晶舟尺寸，从而避免了晶舟和装置之间应力的产生，也方便放置晶舟。同时通过固定U‑bar朝向，避免了U‑bar和H‑bar放反导致吸到晶圆正面，使晶圆划伤。

A device to prevent wafer from reverse suction and oblique insertion

【技术实现步骤摘要】
一种防止晶圆反吸和斜插的装置
本技术涉及晶圆制造领域，尤其涉及一种防止晶圆反吸和斜插的装置。
技术介绍
在半导体制造生产工艺中，常对砷化镓晶圆用吸笔进行转换时，载片晶舟和空晶舟相对放置，U-bar在左，H-bar在右，进行晶圆转换。当人为放置晶舟朝向，存在U-bar和H-bar放反的情况，导致晶圆吸反或放反，造成晶圆划伤。在晶舟朝向正确的情况下，因为晶舟卡槽间距一致，存在将晶圆斜插的情况。为此，业界一直在探寻一种防止晶圆反吸和斜插的装置。
技术实现思路
为此，需要提供一种防止晶圆反吸和斜插的装置，避免U-bar和H-bar放反、晶圆斜插的情况发生。为实现上述目的，专利技术人提供了一种防止晶圆反吸和斜插的装置，包括：背板、固定件、指示灯、轨道横条；所述轨道横条为两条，且相互平行设置，所述轨道横条垂直设置在背板底部的一侧，轨道横条的间距略大于晶舟底部宽度，用于放置晶舟底部；所述轨道横条上还设有指示灯，所述指示灯分别沿两条所述轨道横条远离背板方向阵列排列，两条轨道横条上的指示灯的设置方式相同，指示灯间距与晶舟的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防止晶圆反吸和斜插的装置，其特征在于，包括：背板、固定件、指示灯、轨道横条；/n所述轨道横条为两条，且相互平行设置，所述轨道横条垂直设置在背板底部的一侧，轨道横条的间距略大于晶舟底部宽度，用于放置晶舟底部；/n所述轨道横条上还设有指示灯，所述指示灯分别沿两条所述轨道横条远离背板方向阵列排列，两条轨道横条上的指示灯的设置方式相同，指示灯间距与晶舟的晶舟卡槽的间距相同；/n所述固定件为两个且连接于所述背板上，且所述固定件与所述轨道横条同侧，用于固定晶舟的两侧壁，晶舟固定在装置上时指示灯正对晶舟的晶舟卡槽位置，单个晶舟卡槽对应的指示灯颜色相同。/n

【技术特征摘要】
1.一种防止晶圆反吸和斜插的装置，其特征在于，包括：背板、固定件、指示灯、轨道横条；
所述轨道横条为两条，且相互平行设置，所述轨道横条垂直设置在背板底部的一侧，轨道横条的间距略大于晶舟底部宽度，用于放置晶舟底部；
所述轨道横条上还设有指示灯，所述指示灯分别沿两条所述轨道横条远离背板方向阵列排列，两条轨道横条上的指示灯的设置方式相同，指示灯间距与晶舟的晶舟卡槽的间距相同；
所述固定件为两个且连接于所述背板上，且所述固定件与所述轨道横条同侧，用于固定晶舟的两侧壁，晶舟固定在装置上时指示灯正对晶舟的晶舟卡槽位置，单个晶舟卡槽对应的指示灯颜色相同。


2.根据权利要求1所述一种防止晶圆反吸和斜插的装置，其特征在于，所述固定件为“L”型...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄光伟，李立中，吴淑芳，陈智广，马跃辉，庄永淳，吴靖，林伟铭，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35