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本实用新型公开了一种防止晶圆反吸和斜插的装置，包括：背板、固定件、指示灯、轨道横条；所述轨道横条为两条，且相互平行设置，所述轨道横条垂直设置在背板底部的一侧，所述轨道横条上还设有指示灯，所述指示灯分别沿两条所述轨道横条远离背板方向阵列排列；...
该专利属于福建省福联集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建省福联集成电路有限公司授权不得商用。

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