一种基于制程腔体的吸盘结构及制程腔制造技术

一种基于制程腔体的吸盘结构及制程腔，基于制程腔体的吸盘结构包括转动机构、吸盘载台、控制器、机台。吸盘载台上沿中心阵列设置有多个吸盘，吸盘载台位于机台上方，转动机构位于吸盘载台下方与机台之间，转动机构与吸盘载台中心连接，转动机构用于带动吸盘载台转动，控制器与转动机构相连。利用机械手臂将晶舟内的多片晶圆依次传送至制程腔中，通过转动机构将空置的吸盘转动至相应的位置接受晶圆，直至所有吸盘中都具有晶圆时方可进行制程，制程结束后，机械手臂再将腔体内的晶圆依次取出，并重新传回晶舟原其所在的位置。在本实用新型专利技术中，对晶圆的单片制程进行改进，将大大提升晶圆制程的效率，同时极大程度减少了腔体中能量、气体的损失。

Suction cup structure and process cavity based on process cavity

【技术实现步骤摘要】
一种基于制程腔体的吸盘结构及制程腔
本技术涉及晶圆制程设备
，尤其涉及一种基于制程腔体的吸盘结构及制程腔。
技术介绍
在半导体制造生产工艺中，利用机械手臂将晶舟内的单片晶圆传送到制程腔中进行制程，制程结束后，机械手臂将腔体内的晶圆取出，并重新传回晶舟原其所在的位置。接着机械手臂会依次传送晶舟内其它未经制程的晶圆传至腔体进行制程。由于单个腔同一时间只能制程一片晶圆，其不但不能够充分利用腔体的能量、气体，而且也致使了晶圆制程效率低下等问题。因此，如何改变现有的吸盘结构，使得在制程作业时，减少腔体中能量、气体的损失，进而提高单位时间制程效率，是当前制程设备研究的方向。
技术实现思路
为此，需要提供一种基于制程腔体的吸盘结构及制程腔，解决制程作业时能量、气体的损失以及制程效率低等问题。为实现上述目的，专利技术人提供了一种基于制程腔体的吸盘结构，包括转动机构、吸盘载台、控制器、机台；所述吸盘载台上沿中心阵列设置有多个吸盘，所述吸盘载台位于机台上方，所述转动机构位于吸盘载台下方与机台之间，所述转动机构与吸盘载台中心连接，所述转动机构用于带动吸盘载台转动，所述控制器与转动机构相连。优选的，所述转动机构还包括圆环形的导轨、多个滑块、第一连接件和转动电机，所述导轨位于机台内，并与机台相连，所述滑块位于导轨上，并沿导轨移动，所述第一连接件位于滑块上，并与吸盘载台连接，所述转动电机的转动端与滑块连接，用于带动滑块沿导轨移动。优选的，所述转动机构还包括转盘，转盘固定在转动电机的转动端，所述转动电机的转动端通过转盘与滑块连接。优选的，所述基于制程腔体的吸盘结构还包括第二连接件，所述第二连接件连接导轨与机台。区别于现有技术，上述技术方案在使用时，利用机械手臂将晶舟内的多片晶圆依次传送至制程腔中，通过转动机构将空置的吸盘转动至相应的位置接受晶圆，多个吸盘可以接收多个晶圆，多个晶圆可以同时进行制程，制程结束后，机械手臂再将腔体内的晶圆依次取出，并重新传回晶舟原其所在的位置。在本技术中，对晶圆的单片制程进行改进，一次可以完成多个晶圆的制程，将大大提升晶圆制程的效率，同时极大程度减少了腔体中能量、气体的损失。专利技术人还提供了一种制程腔，包括：腔体盖、腔体外门、专利技术人上述提供的任意一项的基于制程腔体的吸盘结构；基于制程腔体的吸盘结构包括机台和吸盘载台，腔体盖置于机台上方盖住吸盘载台，所述腔体外门位于腔体盖上。区别于现有技术，上述技术方案在使用时，利用机械手臂将晶舟内的多片晶圆依次传送至制程腔中，通过转动机构将空置的吸盘转动至相应的位置接受晶圆，多个吸盘可以接收多个晶圆，多个晶圆可以同时进行制程，制程结束后，机械手臂再将腔体内的晶圆依次取出，并重新传回晶舟原其所在的位置。在本技术中，对晶圆的单片制程进行改进，一次可以完成多个晶圆的制程，将大大提升晶圆制程的效率，同时极大程度减少了腔体中能量、气体的损失。附图说明图1为一实施例所述吸盘结构剖视图；图2为一实施例转动机构结构示意图；图3为一实施例吸盘吸盘载台与吸盘立体结构示意图；图4为一实施例吸盘结构立体结构示意图；图5为一实施例制程腔剖面结构示意图；图6为一实施例制程腔结构示意图。附图标记说明：1、吸盘；2、吸盘载台；3、转动电机；4、第一连接件；5、滑块；6、第二连接件；7、导轨；8、转动端；9、控制器；10、腔体盖；11、腔体外门；12、机台；13、转盘；14、转动机构；15、机械手臂；16、晶舟；17、晶圆。具体实施方式为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。请参阅图1-6，在本实施例中，基于制程腔体的吸盘结构，包括转动机构14、吸盘载台2、控制器9、机台12。所述吸盘载台2上沿中心阵列设置有多个吸盘1，所述吸盘载台2位于机台12上方，所述转动机构14位于吸盘载台2下方与机台12之间，所述转动机构14与吸盘载台2中心连接，转动机构14内可以设置连接吸盘1与空压机的中空管道，中空管道与空压机用旋转接头连接，从而实现转动结构的转动和负压吸气连接。所述转动机构14用于带动吸盘载台2转动，所述控制器9与转动机构14相连用于控制转动机构。在放置晶圆17的时候，转动机构14直接与吸盘载台2相连接，通过利用机械手臂15将晶舟16内的多片晶圆17依次传送至制程腔中，通过控制器9控制转动机构14将空置的吸盘1转动至相应的位置接受晶圆17，直至多个吸盘可以接收多个晶圆，多个晶圆可以同时进行制程，实现一次完成多个晶圆的制程，其将大大提升晶圆制程的效率。制程结束后，机械手臂15再将腔体内的晶圆17依次取出，并重新传回晶舟16原其所在的位置，从而实现多片晶圆17同时制程，以达到降低能量、气体损失的目的。本技术的转动机构14可以是一个单独的转动电机，请参阅图1，而后带动吸盘载台转动即可。也可为本实施方式中的结构，请参阅图2-6，为了实现吸盘1始终处于水平状态且吸盘1能够稳定的运行从而提高制程精度以及制程效率。所述转动机构14还包括了圆环形的导轨7、多个滑块5、第一连接件4以及转动电机3。所述导轨7位于机台12内，并与机台12相连，所述转动电机3的转动端8通过连接杆与滑块5连接，所述滑块5位于导轨7上，并沿导轨7移动，通过控制器9驱动转动电机3从而带动滑块5沿圆环形的轨道上滑动，同时带动位于滑块5上的第一连接件4的转动，从而带动吸盘载台2与吸盘1的同步转动。在进行作业时，转动机构14不再将动力直接作用于吸盘载台2上，而通过转动端8、圆环形的导轨7、多个滑块5、第一连接件4共同作用，再将原先直接作用于载台上力间接作用于吸盘载台2上，使吸盘载台2可以带动吸盘1沿导轨7高效、平稳的运行。所述滑块5与第一连接件4分散的设置于导轨7上，所述第一连接件4可以为螺栓，可以是一个铁块，并与吸盘载台2相连，通过增设支撑位的方式，为吸盘1提供一个稳定的作业环境。当然所述的连接杆还可替换为转盘13，请参阅图3，在本实施例中，所述转动机构14还包括转盘13，转盘13固定在转动电机3的转动端8，所述转动电机3的转动端8通过转盘13与滑块5连接。转盘13将转动电机3的提供的动力稳定的传导至滑块5上并带动第一连接件4以及吸盘载台2、吸盘1的转动。请参阅图5，在本实施例中，所述基于制程腔体的吸盘结构还包括第二连接件6，所述第二连接件6连接导轨7与机台12，第二连接件可以是个铁块，一端与导轨连接，另一端与机台连接。第二连接件6将防止导轨7与机台12的相对位移，从而提高制程精度。请参阅图6，在本实施例中，一种制程腔，包括：腔体盖10、腔体外门11、本技术任意一项实施例所述的基于制程腔体的吸盘结构；基于制程腔体的吸盘结构包括机台12和吸盘载台2，腔体盖10置于机台12上方盖本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于制程腔体的吸盘结构，其特征在于，包括转动机构、吸盘载台、控制器、机台；所述吸盘载台上沿中心阵列设置有多个吸盘，所述吸盘载台位于机台上方，所述转动机构位于吸盘载台下方与机台之间，所述转动机构与吸盘载台中心连接，所述转动机构用于带动吸盘载台转动，所述控制器与转动机构相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于制程腔体的吸盘结构，其特征在于，包括转动机构、吸盘载台、控制器、机台；所述吸盘载台上沿中心阵列设置有多个吸盘，所述吸盘载台位于机台上方，所述转动机构位于吸盘载台下方与机台之间，所述转动机构与吸盘载台中心连接，所述转动机构用于带动吸盘载台转动，所述控制器与转动机构相连。


2.根据权利要求1所述的基于制程腔体的吸盘结构，其特征在于，所述转动机构还包括圆环形的导轨、多个滑块、第一连接件和转动电机，所述导轨位于机台内，并与机台相连，所述滑块位于导轨上，并沿导轨移动，所述第一连接件位于滑块上，并与吸盘载台连接，所述转动电机的转动端与滑块连接，用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：林茂春，翁智杰，黄建顺，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35