【技术实现步骤摘要】
一种自动清洁晶背的装置
本技术涉及晶圆清洁领域，尤其涉及一种自动清洁晶背的装置。
技术介绍
在晶圆的制程中，机台腔体对于晶圆的晶背洁净度有一定的要求，若晶背的洁净度不高，直接影响制程的进行，还会把粉尘颗粒等杂质带入到制程的腔体里面，造成机台腔体污染。现有清洁晶背的技术为：首先用吸笔将晶圆放置在晶圆载台上，晶圆的背部朝上，然后用沾有异丙醇的无尘布对晶圆背部(蓝宝石一面)进行擦拭。这种清洁方法存在的问题有：人为操作效率低，对晶背各处施力不均，无法保证每个位置都被清洁，且不同的操作人员所达到的清洁效果也不同，每片晶圆的清洁度都不尽相同。
技术实现思路
为此，需要提供一种自动清洁晶背的装置，来解决人为清洁晶背清洁度不一致且效率低的问题。为实现上述目的，专利技术人提供了一种自动清洁晶背的装置，其特征在于：包括载物台、清洁组件以及吸臂组件，所述载物台为开口朝上的壳状结构，所述载物台开口边沿设置有吸附部，所述吸附部用于将晶圆吸附在载物台开口处，所述清洁组件设置于载物台的开口内，所述吸臂组件设置于载物台的开口...
【技术保护点】
1.一种自动清洁晶背的装置，其特征在于：包括载物台、清洁组件以及吸臂组件，所述载物台为开口朝上的壳状结构，所述载物台开口边沿设置有吸附部，所述吸附部用于将晶圆吸附在载物台开口处，所述清洁组件设置于载物台的开口内，所述吸臂组件设置于载物台的开口上方；/n所述清洁组件包括清洁部以及第一动力元件，所述清洁部的上端面为用于清洁晶背的材质，清洁部的下端面与第一动力元件的输出端旋转连接；/n所述吸臂组件包括吸臂以及第二动力元件，所述吸臂的一端与第二动力元件的输出端相连接，所述第二动力元件用于带动吸臂上下运动，吸臂的另一端为吸盘头，用于取放载物台上的晶圆。/n
【技术特征摘要】
1.一种自动清洁晶背的装置，其特征在于：包括载物台、清洁组件以及吸臂组件，所述载物台为开口朝上的壳状结构，所述载物台开口边沿设置有吸附部，所述吸附部用于将晶圆吸附在载物台开口处，所述清洁组件设置于载物台的开口内，所述吸臂组件设置于载物台的开口上方；
所述清洁组件包括清洁部以及第一动力元件，所述清洁部的上端面为用于清洁晶背的材质，清洁部的下端面与第一动力元件的输出端旋转连接；
所述吸臂组件包括吸臂以及第二动力元件，所述吸臂的一端与第二动力元件的输出端相连接，所述第二动力元件用于带动吸臂上下运动，吸臂的另一端为吸盘头，用于取放载物台上的晶圆。
2.根据权利要求1所述的自动清洁晶背的装置，其特征在于：所述吸附部为真空吸孔，所述吸附部的个数为两个以上。
3.根据权利要求1所述的自动清洁晶背的装置，其特征在于：所述清洁部的形状为叶片状。
4.根据权利要求1所述的自动清洁晶背的装置，其特征在于：所述清洁部为边缘设置有内...
【专利技术属性】
技术研发人员：温春兰，吴海达，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35
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