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本实用新型涉及了一种自动清洁晶背的装置，包括载物台、清洁组件以及吸臂组件，所述载物台为开口朝上的壳状结构，所述载物台开口边沿设置有吸附部，所述吸附部用于将晶圆吸附在载物台开口处，所述清洁组件设置于载物台的开口内，所述吸臂组件设置于载物台的开...
该专利属于福建省福联集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建省福联集成电路有限公司授权不得商用。

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