一种用于检测晶舟放置到位的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于检测晶舟放置到位的装置，包括载台，所述载台上设有供晶舟H型凸条移动的轨道，载台上设置第一转动轴和第二转动轴，第一转动轴和第二转动轴平行设置，第一转动轴和第二转动轴所在平面与载台平面平行，第一转动轴上转动设置有第一定位栓，第二转动轴上转动设置有第二定位栓；第一定位栓上端和第二定位栓上端之间的距离略大于晶舟的横条宽度，第一定位栓和第二定位栓上端的间距小于下端的间距；第一定位栓和第二定位栓下方的载台上设有接触传感器；第一定位栓和第二定位栓具有让定位栓下端往靠近载台方向运动的恢复力；所述感应传感器设在定位栓之间的载台上，采用这种结构的载台装置可以检测晶舟有无在载台上放好。

A device for detecting the placement of crystal boat

【技术实现步骤摘要】
一种用于检测晶舟放置到位的装置
本技术涉及晶舟放置检测机械领域，尤其涉及一种用于检测晶舟放置到位的装置
技术介绍
随着时代的发展，半导体技术发展越来越快，作为半导体黄光区关键设备-TRACK(涂布机和显影机)显的越来越重要,其工作效率直接影响整个工艺流程的进度。TRACK(涂布机和显影机)机台操作流程步骤中关键的一步就是晶舟的放置，而用来感应晶舟有无放置好的顶针则成为了一个重要的部分。但是由于晶舟的类型尺寸不一致，导致HBar(晶舟底部H型条状凸起)高度也不尽相同。调节顶针的高度，使之适用于不同的晶舟则成为了重中之重。而调整顶针位置过程繁琐，影响生产效率。因此，如何提供一种用于检测晶舟放置到位的装置，可以检测晶舟有无在载台上放好是晶舟领域需要解决的问题。
技术实现思路
为此，需要提供一种用于检测晶舟放置到位的装置，解决晶舟是否到位的检测问题。为实现上述目的，专利技术人提供了一种用于检测晶舟放置到位的装置，包括载台，所述载台上设有供晶舟H型凸条移动的轨道，轨道间距离和晶舟H型凸条的外围凸条间距离相同；其特征在于，还本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于检测晶舟放置到位的装置，包括载台，所述载台上设有供晶舟H型凸条移动的轨道，轨道间距离和晶舟H型凸条的外围凸条间距离相同；其特征在于，还包括感应传感器，所述载台上设置第一转动轴和第二转动轴，第一转动轴和第二转动轴平行设置，且第一转动轴和第二转动轴所在平面与载台平面平行，第一转动轴上转动设置有第一定位栓，第二转动轴上转动设置有第二定位栓；第一定位栓上端和第二定位栓上端之间的距离略大于晶舟的横条宽度，第一定位栓和第二定位栓二者上端的间距小于二者下端的间距；所述第一定位栓和第二定位栓下方的载台上均设有接触传感器；所述第一定位栓和第二定位栓具有让定位栓下端往靠近载台方向运动的恢复力；所述感应...

【技术特征摘要】
1.一种用于检测晶舟放置到位的装置，包括载台，所述载台上设有供晶舟H型凸条移动的轨道，轨道间距离和晶舟H型凸条的外围凸条间距离相同；其特征在于，还包括感应传感器，所述载台上设置第一转动轴和第二转动轴，第一转动轴和第二转动轴平行设置，且第一转动轴和第二转动轴所在平面与载台平面平行，第一转动轴上转动设置有第一定位栓，第二转动轴上转动设置有第二定位栓；第一定位栓上端和第二定位栓上端之间的距离略大于晶舟的横条宽度，第一定位栓和第二定位栓二者上端的间距小于二者下端的间距；所述第一定位栓和第二定位栓下方的载台上均设有接触传感器；所述第一定位栓和第二定位栓具有让定位栓下端往靠...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄光伟，李立中，林伟铭，吴淑芳，陈智广，马跃辉，吴靖，庄永淳，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35