一种晶圆键合结构制造技术

本实用新型专利技术属于晶圆结构技术领域，尤其为一种晶圆键合结构，包括透明玻璃罩、控制屏、激光测距仪、夹具和工作台，其特征在于：所述透明玻璃罩安装在挡板上表面，且两个所述透明玻璃罩对称安装在所述工作台上表面，把手安装在所述透明玻璃罩首端外表面，所述控制屏安装在右侧所述挡板外表面中间位置，温度检测器安装在后面所述挡板右上角内表面，且所述温度检测器与温度调节器水平，所述温度调节器安装在后面所述挡板左上角内表面。本实用新型专利技术通过利用激光测距仪测量距离，采用这种方式能够准确的测量两个支撑柱之间的距离，且支撑柱可在平面上往返移动，定位精确，保证了加工质量。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆键合结构
本技术涉及晶圆结构领域，具体为一种晶圆键合结构。
技术介绍
晶圆键合技术可以将不同材料的晶圆结合在一起，常用的键合技术有：硅-硅直接键合、硅-玻璃直接键合、金属扩散键合、聚合物粘接键合等，该技术已经应用于多个半导体领域，比如3D-TSV(3D硅通孔技术)、HB-LED(白光高亮度发光二极管)、SOI(绝缘体硅技术)、MEMS(微机电系统)等，是未来半导体行业发展的重要技术之一。根据不同的应用领域，晶圆键合的工艺参数都不相同，但是基本原理相似，主要包括抽真空、升温、施加压力、降温和破真空等工艺。现有的一种晶圆键合结构存在以下不足：1、现有的一套完整的晶圆键合工艺主要由两类设备组成，这种传统的方法成本高，效率低；2、现有的晶圆键合机台在键合晶圆时需要对两片晶圆的间距进行控制，目前采用的方法对晶圆间距测量精度存在一定的差异。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种晶圆键合结构，解决了现有的成本高、效率低的问题。(二)技术方案为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆键合结构，包括透明玻璃罩、控制屏、激光测距仪、夹具和工作台，其特征在于：所述透明玻璃罩安装在挡板上表面，且两个所述透明玻璃罩对称安装在所述工作台上表面，把手安装在所述透明玻璃罩首端外表面，所述控制屏安装在右侧所述挡板外表面中间位置，温度检测器安装在后面所述挡板右上角内表面，且所述温度检测器与温度调节器水平，所述温度调节器安装在后面所述挡板左上角内表面，所述激光测距仪安装在支撑柱上表面右端中间位置，所述支撑柱下表面内部安装有滚筒电机，且所述滚筒电机安装在右侧所述支撑柱下端中间位置，所述滚筒电机外表面安装有齿轮牙，传动轴安装在所述滚筒电机内部，且所述传动轴贯穿所述滚筒电机位于所述支撑柱内壁圆孔内，所述夹具安装在所述支撑柱左侧端面上，冷却环安装在所述夹具外表面，加热环安装在所述冷却环与隔热盘之间，所述工作台上表面设置有凹槽，且所述凹槽设置在所述工作台中间位置，滑道安装在所述凹槽侧面表面，且所述滑道镶嵌在所述凹槽内表面，支撑腿安装在所述工作台下表面拐角位置。作为本技术的一种优选技术方案，传轴承安装在所述支撑柱外表面，且两个传轴承关于圆心对称安装在所述支撑柱下端。作为本技术的一种优选技术方案，所述温度调节器安装在挡板内表面，且所述温度调节器位于挡板左上角。作为本技术的一种优选技术方案，所述隔热盘安装在所述支撑柱左侧端面上，且所述隔热盘设置在所述支撑柱内部。作为本技术的一种优选技术方案，齿轮条安装在所述凹槽下表面，且所述齿轮条位置所述凹槽下表面中间位置。作为本技术的一种优选技术方案，防滑垫安装在所述支撑腿下表面。(三)有益效果与现有技术相比，本技术提供了一种晶圆键合结构，具备以下有益效果：1、该一种晶圆键合结构，利用激光测距仪测量距离，采用这种方式能够准确的测量两个支撑柱之间的距离，且支撑柱可在平面上往返移动，定位精确，保证了加工质量。2、该一种晶圆键合结构，在支撑柱加工装置内设置有冷却环、加热环和隔热盘，有效的对夹具进行加热和冷却，方便晶圆键合成结构，提高了工作效率。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术加工装置局部剖面结构示意图；图3为本技术支撑柱局部剖面结构示意图；图4为本技术工作台局部剖面结构示意图。图中：1、温度调节器；2、透明玻璃罩；3、激光测距仪；4、把手；5、温度检测器；6、挡板；7、控制屏；8、隔热盘；9、加热环；10、夹具；11、冷却环；12、齿轮牙；13、滚筒电机；14、传动轴；15、轴承；16、支撑柱；17、滑道；18、齿轮条；19、凹槽；20、工作台；21、支撑腿；22、防滑垫。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例请参阅图1-4，本技术提供以下技术方案：一种晶圆键合结构，包括透明玻璃罩2、控制屏7、激光测距仪3、夹具10和工作台20，透明玻璃罩2安装在挡板6上表面，且两个透明玻璃罩2对称安装在工作台20上表面，把手4安装在透明玻璃罩2首端外表面，控制屏7安装在右侧挡板6外表面中间位置，温度检测器5安装在后面挡板6右上角内表面，且温度检测器5与温度调节器1水平，温度调节器1安装在后面挡板6左上角内表面，激光测距仪3安装在支撑柱16上表面右端中间位置，支撑柱16下表面内部安装有滚筒电机13，且滚筒电机13安装在右侧支撑柱16下端中间位置，滚筒电机13外表面安装有齿轮牙12，传动轴14安装在滚筒电机13内部，且传动轴14贯穿滚筒电机13位于支撑柱16内壁圆孔内，夹具10安装在支撑柱16左侧端面上，冷却环11安装在夹具10外表面，加热环9安装在冷却环11与隔热盘8之间，工作台20上表面设置有凹槽19，且凹槽19设置在工作台20中间位置，滑道17安装在凹槽19侧面表面，且滑道17镶嵌在凹槽19内表面，支撑腿21安装在工作台20下表面拐角位置。本实施方案中，透明玻璃罩2采用钢化玻璃，防止高低温使玻璃发生破碎，把手4设置在透明玻璃罩2首端外表面右侧中间位置，且另一个把手4设置在透明玻璃罩2左侧，这样方便打开透明玻璃罩2的作用。具体的，传轴承15安装在支撑柱16外表面，且两个传轴承15关于圆心对称安装在支撑柱16下端。本实施例中，轴承15设置在支撑柱16外表面的最下端，有利于滚筒电机13转动。具体的，温度调节器1安装在挡板6内表面，且温度调节器1位于挡板6左上角。本实施例中，加工装置内的冷却环11和加热环9，通过温度调节器1根据温度检测器5反馈的温度来控制。具体的，隔热盘8安装在支撑柱16左侧端面上，且隔热盘8设置在支撑柱16内部。本实施例中，隔热盘8安装在加热环9外表面，可以提高加热环9和冷却环11的工作效率。具体的，齿轮条18安装在凹槽19下表面，且齿轮条18位置凹槽19下表面中间位置。本实施例中，齿轮条18设置在凹槽19中间位置，可以保证滚筒电机13外表面上的齿轮牙12有效接触防止打滑。具体的，防滑垫22安装在支撑腿21下表面。本实施例中，防滑垫22安装在支撑腿21下表面通过粘合胶固定连接，防止工作台20晃动。本技术的工作原理及使用流程：工作时首先把右侧支撑柱16移动到右端，然后通过把手4打开透明玻璃罩2，然后把要晶圆固定到夹具10上，并且两个晶圆对齐，然后通过滚筒电机13外表面的齿轮牙12在凹槽19下表面的齿轮条18上移动，然后通过控制屏7控制右侧支撑柱16向左移动，然后通本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆键合结构，包括透明玻璃罩(2)、控制屏(7)、激光测距仪(3)、夹具(10)和工作台(20)，其特征在于：所述透明玻璃罩(2)安装在挡板(6)上表面，且两个所述透明玻璃罩(2)对称安装在所述工作台(20)上表面，把手(4)安装在所述透明玻璃罩(2)首端外表面，所述控制屏(7)安装在右侧所述挡板(6)外表面中间位置，温度检测器(5)安装在后面所述挡板(6)右上角内表面，且所述温度检测器(5)与温度调节器(1)水平，所述温度调节器(1)安装在后面所述挡板(6)左上角内表面，所述激光测距仪(3)安装在支撑柱(16)上表面右端中间位置，所述支撑柱(16)下表面内部安装有滚筒电机(13)，且所述滚筒电机(13)安装在右侧所述支撑柱(16)下端中间位置，所述滚筒电机(13)外表面安装有齿轮牙(12)，传动轴(14)安装在所述滚筒电机(13)内部，且所述传动轴(14)贯穿所述滚筒电机(13)位于所述支撑柱(16)内壁圆孔内，所述夹具(10)安装在所述支撑柱(16)左侧端面上，冷却环(11)安装在所述夹具(10)外表面，加热环(9)安装在所述冷却环(11)与隔热盘(8)之间，所述工作台(20)上表面设置有凹槽(19)，且所述凹槽(19)设置在所述工作台(20)中间位置，滑道(17)安装在所述凹槽(19)侧面表面，且所述滑道(17)镶嵌在所述凹槽(19)内表面，支撑腿(21)安装在所述工作台(20)下表面拐角位置。/n...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆键合结构，包括透明玻璃罩(2)、控制屏(7)、激光测距仪(3)、夹具(10)和工作台(20)，其特征在于：所述透明玻璃罩(2)安装在挡板(6)上表面，且两个所述透明玻璃罩(2)对称安装在所述工作台(20)上表面，把手(4)安装在所述透明玻璃罩(2)首端外表面，所述控制屏(7)安装在右侧所述挡板(6)外表面中间位置，温度检测器(5)安装在后面所述挡板(6)右上角内表面，且所述温度检测器(5)与温度调节器(1)水平，所述温度调节器(1)安装在后面所述挡板(6)左上角内表面，所述激光测距仪(3)安装在支撑柱(16)上表面右端中间位置，所述支撑柱(16)下表面内部安装有滚筒电机(13)，且所述滚筒电机(13)安装在右侧所述支撑柱(16)下端中间位置，所述滚筒电机(13)外表面安装有齿轮牙(12)，传动轴(14)安装在所述滚筒电机(13)内部，且所述传动轴(14)贯穿所述滚筒电机(13)位于所述支撑柱(16)内壁圆孔内，所述夹具(10)安装在所述支撑柱(16)左侧端面上，冷却环(11)安装在所述夹具(10)外表面，加热环(9)安装在所述冷却环(11)与隔热盘(8)之间，所述工作台(20)上表面设置有凹槽(19)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：何海洋，胡健峰，彭强，
申请(专利权)人：无锡市查奥微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32