掩模盒对准设备和将掩模盒对准的方法技术

本公开涉及掩模盒对准设备和将掩模盒对准的方法，其中所述掩模盒对准设备包括：具有圆形形状的第一板；和与所述第一板的侧表面接合并被配置用以使所述第一板旋转的第一引导单元。

Mask box alignment equipment and method of aligning mask box

【技术实现步骤摘要】
掩模盒对准设备和将掩模盒对准的方法相关申请的交叉引用本申请要求2018年11月13日在韩国知识产权局(KIPO)递交的韩国专利申请第10-2018-0138905号的优先权和权益，该韩国专利申请的公开内容通过引用整体并入本文。
本专利技术的一些示例实施例的方面涉及掩模盒对准设备和将掩模盒对准的方法。
技术介绍
作为一种显示设备的有机发光二极管(“OLED”)显示设备通过有机材料的自发射来实现图像。大型OLED显示设备可利用掩模方法来制造，并且一种沉积方法可被利用，在该沉积方法中，基板和图案化的掩模被水平布置在室中以执行沉积。在这种情况下，在掩模被提供在室中以制造OLED之前或之后，掩模可被装载在掩模盒中。在这种情况下，可使用掩模盒对准设备将掩模盒对准，以便掩模可被装载在掩模盒中的正确位置。本
技术介绍
部分中公开的以上信息仅用于增强对本专利技术的背景的理解，因此本
技术介绍
中的信息不一定构成现有技术。
技术实现思路
本专利技术的一些示例实施例的方面涉及掩模盒对准设备和将掩模盒对准的方法，并且例如涉及能够更精确地将掩模盒对准的掩模盒对准设备和将掩模盒对准的方法。本专利技术的一些示例实施例的方面可针对能够精确地将掩模放置在掩模盒中的正确位置的掩模盒对准设备。根据一些示例实施例，一种掩模盒对准设备包括：具有圆形形状的第一板；和与所述第一板的侧表面接合并配置用以使所述第一板旋转的第一引导单元。根据一些示例实施例，所述第一引导单元可包括第一对准杆、蜗杆单元和第一驱动单元。所述第一板可包括设置在所述第一板的所述侧表面上的蜗轮单元。所述蜗轮单元可与所述蜗杆单元接合以使所述第一板旋转。根据一些示例实施例，所述第一板的旋转轴可垂直于所述第一对准杆和所述蜗杆单元的中心轴。根据一些示例实施例，所述掩模盒对准设备可进一步包括在所述第一板上与所述第一板的旋转轴间隔开的第二引导单元和第三引导单元。根据一些示例实施例，所述第一驱动单元可以是线性马达。根据一些示例实施例，所述掩模盒对准设备可进一步包括：设置在所述第一板上的第二板；设置在所述第一板上且能够使所述第二板沿着第一方向移动的第二引导单元；和设置在所述第一板上且能够使所述第二板沿着垂直于所述第一方向的第二方向移动的第三引导单元。根据一些示例实施例，所述第二引导单元可包括：沿着所述第一方向延伸的第二对准杆；能够使所述第二板沿所述第一方向移动的第二驱动单元；和支撑所述第二板的第一支撑单元。根据一些示例实施例，所述第二驱动单元可以是旋转马达。所述第二对准杆可通过滚珠丝杠连接到所述第一支撑单元。所述第一支撑单元可通过所述第二对准杆的旋转运动来进行直线运动。根据一些示例实施例，所述第二驱动单元可以是线性马达或气缸。所述第二对准杆可以以轨道的形式连接到所述第一支撑单元。根据一些示例实施例，所述第三引导单元可包括：沿着所述第二方向延伸的第三对准杆；能够使所述第二板沿所述第二方向移动的第三驱动单元；和支撑所述第二板的第二支撑单元。根据一些示例实施例，所述第三驱动单元可以是旋转马达。所述第三对准杆可通过滚珠丝杠连接到所述第二支撑单元。根据一些示例实施例，所述第三驱动单元可以是线性马达或气缸。所述第三对准杆可以以轨道的形式连接到所述第二支撑单元。根据一些示例实施例，所述掩模盒对准设备可进一步包括用于测量设置在所述第二板上的掩模盒的位置的多个位置传感器。根据一些示例实施例，在将掩模盒对准的方法中，所述方法包括：通过多个位置传感器测量掩模盒的位置；计算所述掩模盒相对于掩模旋转的角度；通过第一引导单元使第一板旋转以校正所述掩模盒旋转的所述角度；通过多个位置传感器测量所述掩模盒在第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向上的位置；和通过第二引导单元和第三引导单元使第二板沿所述第一方向和所述第二方向移动，以校正所述掩模盒在所述第一方向和所述第二方向上的所述位置。根据一些示例实施例，所述第一板可具有圆形形状。根据一些示例实施例，所述第一板可包括设置在所述第一板的侧表面上的蜗轮单元。根据一些示例实施例，所述第一引导单元可包括蜗杆单元。根据一些示例实施例，计算所述掩模盒相对于所述掩模旋转的所述角度可包括：使用通过所述多个位置传感器测量的所述掩模盒的所述位置、所述第一板的旋转轴和在由所述第一方向和所述第二方向限定的平面上垂直于所述掩模的侧表面且穿过所述第一板的所述旋转轴的虚拟中心线定义一直角三角形；和通过对所述直角三角形应用反正切函数计算所述第一板旋转的角度。根据一些示例实施例，当所述第一引导单元使所述第一板旋转以校正所述掩模盒旋转的所述角度时，所述第一板可以能旋转约0度或更大且约360度或更小。根据一些示例实施例，通过所述第一引导单元使所述第一板旋转以校正所述掩模盒旋转的所述角度可包括将所述掩模盒设置成平行于所述掩模。前述仅为说明性的，并且不旨在以任何方式限制。除了上面描述的说明性方面、实施例和特征之外，通过参考附图和以下详细描述，进一步的方面、实施例和特征将变得更加显而易见。附图说明通过参考附图更详细地描述本专利技术的示例实施例的方面，对本专利技术的更完整的了解将变得更加显而易见，其中：图1是示出根据一些示例实施例的使用掩模和掩模盒的路径(channel)的视图；图2是根据一些示例实施例的掩模盒对准设备；图3是根据一些示例实施例对准的掩模盒对准设备；图4是根据一些示例实施例的掩模盒对准算法；并且图5至图8是示出根据一些示例实施例的对准过程的视图。具体实施方式现在将参考附图在下文中更充分地描述一些示例实施例的方面。尽管本专利技术可以以各种方式修改并且具有若干实施例，但是实施例在附图中被示出并且将在说明书中被主要描述。然而，本专利技术的范围不限于该示例实施例，并且应被解释为包括本专利技术的精神和范围内包括的所有改变、等效物和替代物。在图中，为了清楚和易于其描述，多个层和区域的厚度以放大的方式被示出。当层、区域或板被称为在另一层、区域或板“上”时，它可直接在另一层、区域或板上，或者在它们之间可存在中间层、区域或板。相反，当层、区域或板被称为“直接”在另一层、区域或板“上”时，在它们之间可不存在中间层、区域或板。进一步，当层、区域或板被称为在另一层、区域或板“下方”时，它可直接在另一层、区域或板下方，或者在它们之间可存在中间层、区域或板。相反，当层、区域或板被称为“直接”在另一层、区域或板“下方”时，在它们之间可不存在中间层、区域或板。为了易于描述，空间相对术语“下方”、“之下”、“下部”、“上方”、“上部”等可在本文中用于描述如图中所示的一个元件或部件与另一元件或部件之间的关系。将理解，空间相对术语旨在包括除了图中示出的定向之外的设备在使用或操作中的不同定向。例如，在图中示出的设备被翻转的情况下，定位在另一设备“下方”或“之下”的设备可被放置在另一设备“上方”。相应地，说明性术语“下方”可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩模盒对准设备，包括：/n具有圆形形状的第一板；和/n与所述第一板的侧表面接合并配置用以使所述第一板旋转的第一引导单元。/n

【技术特征摘要】
20181113 KR 10-2018-01389051.一种掩模盒对准设备，包括：
具有圆形形状的第一板；和
与所述第一板的侧表面接合并配置用以使所述第一板旋转的第一引导单元。


2.如权利要求1所述的掩模盒对准设备，其中所述第一引导单元包括第一对准杆、蜗杆单元和第一驱动单元，
所述第一板包括在所述第一板的所述侧表面上的蜗轮单元，并且
所述蜗轮单元与所述蜗杆单元接合以使所述第一板旋转。


3.如权利要求2所述的掩模盒对准设备，其中所述第一板的旋转轴垂直于所述第一对准杆和所述蜗杆单元的中心轴。


4.如权利要求2所述的掩模盒对准设备，进一步包括在所述第一板上与所述第一板的旋转轴间隔开的第二引导单元和第三引导单元。


5.如权利要求2所述的掩模盒对准设备，其中所述第一驱动单元是旋转马达。


6.如权利要求1所述的掩模盒对准设备，进一步包括：
在所述第一板上的第二板；
在所述第一板上且能够使所述第二板沿着第一方向移动的第二引导单元；和
在所述第一板上且能够使所述第二板沿着垂直于所述第一方向的第二方向移动的第三引导单元。


7.如权利要求6所述的掩模盒对准设备，其中所述第二引导单元包括：
沿着所述第一方向延伸的第二对准杆；
能够使所述第二板沿所述第一方向移动的第二驱动单元；和
支撑所述第二板的第一支撑单元。


8.如权利要求7所述的掩模盒对准设备，其中所述第二驱动单元是旋转马达，
所述第二对准杆通过滚珠丝杠连接到所述第一支撑单元，并且
所述第一支撑单元通过所述第二对准杆的旋转运动来进行直线运动。


9.如权利要求7所述的掩模盒对准设备，其中所述第二驱动单元是线性马达或气缸，并且
所述第二对准杆以轨道的形式连接到所述第一支撑单元。


10.如权利要求6所述的掩模盒对准设备，其中所述第三引导单元包括：
沿着所述第二方向延伸的第三对准杆；
能够使所述第二板沿所述第二方向移动的第三驱动单元；和
支撑所述第二板...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴光福，申语珍，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR